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公开(公告)号：KR101903631B1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：KR1020160167340
申请日：2016-12-09
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은 3차원화학성분이미지측정시스템및 측정방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른 3차원화학성분이미지측정시스템은, 대상물질의표면이미지를측정하는표면이미지측정유닛, 대상물질의표면을스퍼터링하는스퍼터링부와스퍼터링전과후의대상물질의깊이방향에따른복수의 2차원이온이미지를측정하는이온이미지측정부를포함하는 2차원이미지측정유닛, 및상기표면이미지측정유닛에의해측정된표면이미지와상기이온이미지측정유닛에깊이방향에따른 2차원이온이미지에의하여 3차원화학성분이미지를산출하는 3차원이미지산출유닛을포함한다.
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