公开(公告)号：KR102263385B1

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：KR1020190158390

申请日：2019-12-02

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 정승준 ,  홍용택 ,  이병문 ,  조현 ,  김희숙 ,  손정곤 ,  이상수 ,  김태안

IPC: H01L35/02 ,  H01L35/32 ,  H01L35/22 ,  H01L35/24 ,  H01L35/16 ,  H01L35/18 ,  H01L35/34

公开(公告)号：KR1020210068849A

公开(公告)日：2021-06-10

申请号：KR1020190158390

申请日：2019-12-02

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 정승준 ,  홍용택 ,  이병문 ,  조현 ,  김희숙 ,  손정곤 ,  이상수 ,  김태안

IPC: H01L35/02 ,  H01L35/32 ,  H01L35/22 ,  H01L35/24 ,  H01L35/16 ,  H01L35/18 ,  H01L35/34