公开(公告)号：KR1020090015742A

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：KR1020070080325

申请日：2007-08-09

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 김경택 ,  김현우 ,  이시용 ,  최성운 ,  김상욱

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  H01L21/0274

Abstract: A method of forming fine pattern using block copolymer is provided to the density of pattern without an additional process for increasing a micro-pattern by increasing the density of pattern with self-assembled of the block copolymer. In a method of forming fine pattern using a block copolymer, an image pattern layer(124C) is formed on a substrate(100). The image pattern layer includes a first pattern in which the first part and the second part having different surface property alternately repetitively. The material layer including the block copolymer layer is formed on the image pattern. The components of the material layer are rearranged through the phase separation of the material layer, and the micro-pattern layer is formed on the image pattern layer. The second pattern is formed on the micro-pattern layer by arranging the first block(140A) and the second block(140B) having the different repeated unit by a second pitch smaller than a first pitch.

Abstract translation: 提供了使用嵌段共聚物形成精细图案的方法，而不需要通过自组装嵌段共聚物来提高图案密度来增加微图案的附加方法。 在使用嵌段共聚物形成精细图案的方法中，在基板（100）上形成图案图案层（124C）。 图像图案层包括第一图案，其中第一部分和第二部分具有不同的表面性质交替重复。 在图像图案上形成包含嵌段共聚物层的材料层。 通过材料层的相分离重排材料层的组分，并且在图案图案层上形成微图案层。 通过将具有不同重复单位的第一块（140A）和第二块（140B）布置成小于第一间距的第二间距，形成在微图案层上的第二图案。

公开(公告)号：KR101291223B1

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：KR1020070080325

申请日：2007-08-09

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 김경택 ,  김현우 ,  이시용 ,  최성운 ,  김상욱

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00

Abstract: 블록 공중합체를 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 미세 패턴 형성 방법에서는 기판상에 표면 특성이 서로 다른 제1 부분 및 제2 부분이 제1 피치(Px)로 교대로 반복 배치되는 제1 패턴이 형성된 이미지 패턴층을 형성한다. 이미지 패턴층 위에 블록 공중합체를 포함하는 물질층을 형성한다. 물질층의 상분리를 통해 물질층의 성분들을 재배열시켜, 이미지 패턴층 위에 제2 패턴이 형성된 미세 패턴층을 형성한다. 제2 패턴에서는 서로 다른 성분의 반복 단위를 가지는 복수의 제1 블록 및 제2 블록이 각각 제1 피치(Px) 보다 작은 제2 피치(P
BC )로 반복 배치된다.
블록 공중합체, 자기조립, 이미지층, 상분리, 피치, 친수성

公开(公告)号：KR1020130003938A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：KR1020110065593

申请日：2011-07-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이종원 ,  김경택 ,  김영수 ,  유근정 ,  이재철 ,  이동욱 ,  임재현 ,  정영훈

IPC: H05K7/20 ,  F28D15/02

Abstract: PURPOSE: A cooling device for a mobile electronic device and a mobile electronic device are provided to prevent a user from getting burned due to the heat generated from the mobile electronic device. CONSTITUTION: A heat sink(200) absorbs the heat generated from the mobile electronic device. If the temperature of the heat sink is higher than a melting point of a phase change material(300), the phase change material changes form a solid to a liquid. The phase change temperature of the phase change material is arbitrarily selected. The heat sink is attached and detached to/from the heating system of the mobile electronic device.

Abstract translation: 目的：提供一种用于移动电子设备和移动电子设备的冷却装置，以防止用户因移动电子设备产生的热量而被烧毁。 构成：散热器（200）吸收从移动电子设备产生的热量。 如果散热器的温度高于相变材料（300）的熔点，则相变材料从固体变为液体。 可以任意选择相变材料的相变温度。 散热器与移动电子设备的加热系统相连接和分离。