公开(公告)号：KR100700435B1

公开(公告)日：2007-03-27

申请号：KR1020050051011

申请日：2005-06-14

Applicant: 한국기계연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 최대근 ,  정준호 ,  이응숙 ,  한창수 ,  배병수 ,  김우수

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027 ,  B82B3/00

Abstract: 본 발명은 패턴 복제에 사용되는 몰드 제조용 불화 유기규소 화합물, 그를 이용하여 제조된 패턴 복제용 유기-무기 혼성 몰드, 그 몰드를 이용한 패턴 복제 방법 및 그 방법에 의하여 복제된 패턴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 이형제 처리와 같은 표면처리를 필요로 하지 않는 동시에 일정 수준 이상의 강도를 가지므로써, 나노 임프린트 공정 및 소프트 식각(soft lithography) 패터닝 공정에서 모두 사용가능한 새로운 몰드 제조용 불화 유기규소 화합물, 그를 이용하여 제조된 패턴 복제용 유기-무기 혼성 몰드, 그 몰드를 이용한 패턴 복제 방법 및 그 방법에 의하여 복제된 패턴에 관한 것이다.
불화 유기규소, 유기-무기, 혼성, 몰드, 패턴, 복제

公开(公告)号：KR100705759B1

公开(公告)日：2007-04-10

申请号：KR1020050004320

申请日：2005-01-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 배병수 ,  강동준 ,  김진기 ,  김우수

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/24 ,  G02B6/138

Abstract: 본 발명은 직접 광패터닝에 의한 평판형 멀티모드 광도파로 제조방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 굴절율의 조정이 가능하고, 다른 유전 영역 사이에서 매끄러운 굴절률 분포를 갖는 광도파로를 클래드층의 형성과정과 코어층의 식각과정이 불필요하여 공정을 단순화는 광도파로용 재료 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 광조사에 의하여 굴절률 또는 부피가 변화되는 광민감성 하이브리드재료를 10 마이크론 이상 두께로 코팅하는 단계와, 코팅된 광도파로의 소정영역에 광을 조사하여 광조사부위의 굴절률 변화로 인한 직접 멀티모드 광도파로를 형성하는 단계를 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 별도로 광도파로의 클래드층의 형성과정과 코어층의 식각 공정이 불필요하여 공정을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 광특성 및 안정성이 우수한 재료로 광손실이 적으면서 10 마이크론 이상 크기의 구조를 갖는 멀티모드 광도파로를 제조할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1020060084057A

公开(公告)日：2006-07-21

申请号：KR1020050004320

申请日：2005-01-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 배병수 ,  강동준 ,  김진기 ,  김우수

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/24 ,  G02B6/138 ,  B05D3/067 ,  G02B2006/12035

Abstract: Disclosed is a method of producing a planar multimode optical waveguide by direct photo-patterning and, more particularly, to an optical waveguide material and a method of producing the same. It is possible to control the refractive index of the optical waveguide, and the optical waveguide has a desirable refractive index distribution throughout different dielectric regions. In the method, it is unnecessary to conduct processes of forming a clad layer and of etching a core layer, thus a production process is simplified. The method comprises coating a photosensitive hybrid material having a refractive index or a volume changed by light radiation, in a thickness of 10 microns or more, and radiating light having a predetermined wavelength onto the coated photosensitive hybrid material to form the multimode optical waveguide due to a change in refractive index of a portion onto which light is radiated.

公开(公告)号：KR100705758B1

公开(公告)日：2007-04-10

申请号：KR1020050032474

申请日：2005-04-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 배병수 ,  김우수 ,  강동준

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/1221 ,  G02B6/138

Abstract: 본 발명은 유기-무기 혼성물질로 구성되는 상부 및 하부 클래드와, 상기 상부 및 하부 클래드의 사이에 형성되며 굴절율이 상기 상부 및 하부 클래드의 굴절율보다 높은 유기-무기 혼성물질로 구성되는 코아부를 가지고, 전체적으로 유연성을 가지는 필름형태인 플렉서블 필름 광도파로 및 그 제조방법을 제공한다.
유기-무기 혼성물질, 플렉서블 필름 광도파로, 엠보싱, 스탬핑, 광조사

公开(公告)号：KR1020060130372A

公开(公告)日：2006-12-19

申请号：KR1020050051011

申请日：2005-06-14

Applicant: 한국기계연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 최대근 ,  정준호 ,  이응숙 ,  한창수 ,  배병수 ,  김우수

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027 ,  B82B3/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C33/424 ,  B29C2033/426

Abstract: Fluorinated organosilane compound for pattern replicating mold and organic-inorganic hybrid mold for the pattern replication are provided to obtain the mold with desired level of strength without alternative surface treatment using a releasing agent, and be employed in nano-implanting process and soft lithography by adding fluorinated organosilane compound to the mold. The compound includes fluorinated linear or branched chain alkyl, phenyl, phenylalkoxy or amine group and is formed by using silicon compounds, as starting material, represented by specific formula, for example, the formula(1) of (OR^1)nSi-R^2m, wherein: R1 is hydrogen or linear or branched chain alkyl group having carbon atoms ranging from 1 to 15; R2 is fluorinated linear or branched chain alkyl, phenyl, phenylalkoxy or amine group having carbon atoms ranging from 1 to 15; n is natural number of 1 to 3, m is natural number of 1 to 3 and n + m is 4. The organic-inorganic hybrid mold comprises a layer containing the organosilane compound and has reverse-master patterns on surface of the organosilane compound containing layer.

Abstract translation: 提供用于图案复制的模板复制用氟化有机硅烷化合物和用于图案复制的有机 - 无机混合模具以获得具有期望水平的强度的模具，而不使用脱模剂进行替代的表面处理，并且用于纳米植入工艺和软光刻中，通过添加 氟化有机硅烷化合物。 该化合物包括氟化的直链或支链烷基，苯基，苯基烷氧基或胺基，并且通过使用由特定的化学式表示的硅化合物作为原料形成，例如（OR 1）n Si-R 2m，其中：R1是氢或碳原子数为1至15的直链或支链烷基; R2为碳原子数为1〜15的氟化直链或支链烷基，苯基，苯基烷氧基或胺基; n为1〜3的自然数，m为1〜3的自然数，n + m为4.有机 - 无机混合模具包含含有机硅烷化合物的层，在含有有机硅烷化合物的表面具有反向母体图案 层。

公开(公告)号：KR1020060110388A

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：KR1020050032474

申请日：2005-04-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 배병수 ,  김우수 ,  강동준

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/1221 ,  G02B6/138 ,  B05D1/005 ,  B05D3/067 ,  B29D11/00788

Abstract: A flexible film optical waveguide using an organic-inorganic hybrid material and a manufacturing method thereof are provided to enable mass production the flexible film optical waveguide at low cost by simplifying the manufacturing method. A flexible film optical waveguide includes upper and lower clads(6,4) and a core portion. The upper and lower clads are made from an organic-inorganic hybrid material. The core portion is formed between the upper and lower clads and is made from another organic-inorganic hybrid material(3), whose refractive index is greater than those of the upper and lower clads. The organic-inorganic hybrid material is a polymer having oxygen atoms coupled with silicon or a net-like structure made of organic monomers. A bending loss of the flexible film optical waveguide is smaller than 1dB/cm.

Abstract translation: 提供一种使用有机 - 无机混合材料的柔性膜光波导及其制造方法，通过简化制造方法，能够以低成本大量生产柔性膜光波导。 柔性膜光波导包括上和下包层（6,4）和芯部分。 上层和下层由有机 - 无机混合材料制成。 芯部形成在上下包层之间，并且由另一种有机 - 无机混合材料（3）制成，其折射率大于上层和下层的折射率。 有机 - 无机杂化材料是具有与硅偶联的氧原子或由有机单体制成的网状结构的聚合物。 柔性膜光波导的弯曲损耗小于1dB / cm。