팽창저항성이 우수한 전자현미경용 액상 칩

    公开(公告)号:KR102204189B1

    公开(公告)日:2021-01-18

    申请号:KR1020190009589

    申请日:2019-01-25

    Abstract: 본발명은하부칩, 상부칩 및액상시료공급을위한수로공간부를포함하는전자현미경용액상칩에관한것으로, 수로공간부에형성된복수의홀에팽창저항성이우수한그래핀소재의투과박막부를부착함으로써, 투과창역할을수행하지않게된 지지체두께를종래보다더 증가시킬수 있어액상시료를보다안정적으로공급하면서동시에공간분해능손실을최소화하고투과창의팽창현상도억제할수 있는효과가있다. 이를위하여본 발명은상기하부칩은하부공동이형성된하부기판; 상기하부기판의상면에배치되고, 상기하부공동영역에복수의하부홀이형성된하부지지체; 상기하부홀 하부지지체양 단에위치하는스페이서; 및상기하부지지체위에하부홀을덮도록부착시킨하부투과박막부;을포함하며, 상기상부칩은상부공동이형성된상부기판; 상기상부기판의상면에배치되고, 상기상부공동영역에복수의상부홀이형성된상부지지체; 및상기상부지지체위에상기복수의상부홀을덮도록부착시킨일정한팽창저항성을갖는상부투과박막부를포함하며, 상기수로공간부는상기하부칩의스페이서위에상기상부기판의상면에배치된상부지지체가적층되어형성되고, 상기투과박막부은상기수로공간부내측에위치하는것을특징으로한다.

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