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公开(公告)号：KR1020100111908A
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020090030379
申请日：2009-04-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01B9/0201 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02076 , G01B9/02084 , G01B2290/35 , G01B2290/70
Abstract: PURPOSE: A vibration-insensitive interferometer using a high-speed camera and a continuous phase scanning method is provided to enable direct detection of vibration components which may generate in general weather measurement environment. CONSTITUTION: A vibration-insensitive interferometer comprises a light source(100), a light transmission part(200), a continuous phase scanning part(300), and a high speed camera(400). The light transmission part irradiates the light coming out from the light source to a measurement object, and creates an interference pattern by splitting the light reflected off the object into a reference beam and a measurement beam and making them interfere. The continuous phase scanning part scans the reference beam split by the light transmission part with a continuous phase scanning method. The high speed camera acquires the interference pattern created by the measurement beam irradiated by the light transmission part and the reference beam irradiated by the continuous phase scanning part.
Abstract translation: 目的：提供使用高速摄像机和连续相位扫描方法的无振动干涉仪，以便直接检测在一般气象测量环境中可能产生的振动成分。 构成：无振动干涉仪包括光源（100），光透射部分（200），连续相位扫描部分（300）和高速相机（400）。 光传输部分将从光源出射的光照射到测量对象，并通过将从物体反射的光分成参考光束和测量光束并使其干涉而产生干涉图案。 连续相位扫描部以连续相位扫描法扫描由透光部分分割的参照光束。 高速摄像机获取由透光部照射的测量光和由连续相位扫描部照射的基准光束产生的干涉图。
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公开(公告)号：KR100675566B1
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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公开(公告)号：KR100593783B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020040065700
申请日：2004-08-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다.
간섭계, 광섬유, 공간위상천이,Abstract translation: 本发明涉及一种干涉仪对振动，因此能够测量对象的振动可靠地测量该移动物体的通过通常存在于参考波阵面，并且为了该测量的波前，单模的形状，以消除由所述基准表面中产生的错误 通过直接使用从光纤照射的球面波作为参考波阵面，可以使系统误差最小化。 因此，本发明的装置配备有用于精确测量的空间相移装置，并且可以实时测量待测物体的任意形状。
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公开(公告)号：KR102204189B1
公开(公告)日：2021-01-18
申请号：KR1020190009589
申请日：2019-01-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/20 , G01N23/2204
Abstract: 본발명은하부칩, 상부칩 및액상시료공급을위한수로공간부를포함하는전자현미경용액상칩에관한것으로, 수로공간부에형성된복수의홀에팽창저항성이우수한그래핀소재의투과박막부를부착함으로써, 투과창역할을수행하지않게된 지지체두께를종래보다더 증가시킬수 있어액상시료를보다안정적으로공급하면서동시에공간분해능손실을최소화하고투과창의팽창현상도억제할수 있는효과가있다. 이를위하여본 발명은상기하부칩은하부공동이형성된하부기판; 상기하부기판의상면에배치되고, 상기하부공동영역에복수의하부홀이형성된하부지지체; 상기하부홀 하부지지체양 단에위치하는스페이서; 및상기하부지지체위에하부홀을덮도록부착시킨하부투과박막부;을포함하며, 상기상부칩은상부공동이형성된상부기판; 상기상부기판의상면에배치되고, 상기상부공동영역에복수의상부홀이형성된상부지지체; 및상기상부지지체위에상기복수의상부홀을덮도록부착시킨일정한팽창저항성을갖는상부투과박막부를포함하며, 상기수로공간부는상기하부칩의스페이서위에상기상부기판의상면에배치된상부지지체가적층되어형성되고, 상기투과박막부은상기수로공간부내측에위치하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101085061B1
公开(公告)日：2011-11-18
申请号：KR1020090030379
申请日：2009-04-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01B9/0201 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02076 , G01B9/02084 , G01B2290/35 , G01B2290/70
Abstract: 본 발명은 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계에 관한 것으로, 외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부, 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시스템 구성측면이나 해석 알고리즘 측면에서 매우 간소화할 수 있으며, step형태의 위상천이 방법에서 나타나는 비선형오차 및 측정 속도의 문제점을 해소할 수 있다.
진동둔감, 연속 위상 주사, 공통 경로, 고속 카메라, 간섭계-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100602915B1
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：KR1020040051788
申请日：2004-07-03
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점조절장치에 관한 것으로, 전통적인 공초점 현미경 구조에서 사용된 핀홀을 단일모드 광섬유로 대체함으로써 시스템 구성을 단순화하면서, 광원과 검출기의 역할이 하나의 광섬유로 통합되는 상반구성을 적용함으로써 광축 정렬의 어려움을 크게 해소함과 동시에, 광원변조 방법을 이용한 초점오차신호 획득을 통해 초점위치 검출을 위한 광축 주사과정을 제거하면서 대물렌즈 변조 방법에 비해 시스템에 미치는 물리적 영향을 최소화한 초점조절을 수행하는 것을 그 특징으로 한다.
공초점 현미경, 초점조절, 단일모드 광섬유, 광원변조-
公开(公告)号：KR1020060017143A
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：KR1020040065700
申请日：2004-08-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다.
간섭계, 광섬유, 공간위상천이,-
公开(公告)号：KR1020040108144A
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：KR1020030038893
申请日：2003-06-16
IPC: G02B7/28
Abstract: PURPOSE: An auto focus control unit of a microscope is provided to perform an automatic focus control function within a short period of time by converting directly displacement of slit beams to distance information of a probe by using resultants obtained from a single image recognition unit. CONSTITUTION: An objective lens(11), an optical division tube(12), a zoom lens having a zoom motor, an image forming lens(14), and a light receiving element array(15) are arranged on the same optical axis. A light source(16) is installed at one side of the optical division tube. A slit beam generator(17) is installed on a focal length of the objective lens. A driving sensor(3) is used for sensing a driving motor(18) and a moving distance. An image/control unit(2) includes an image receiver(21) for receiving and processing digital signals of the light receiving element array, a drive controller(22) for controlling a driving state of a probe, a zoom drive controller(23) for controlling a zoom motor, a slit beam controller(24) for controlling intensity of the slit beam generator, and a coaxial illumination controller(25) for controlling intensity of coaxial illumination.
Abstract translation: 目的：提供显微镜的自动聚焦控制单元，通过使用从单个图像识别单元获得的结果直接将狭缝光束的位移直接转换为探针的距离信息，在短时间内执行自动聚焦控制功能。 构成：物镜（11），光分配管（12），具有变焦电机的变焦透镜，成像透镜（14）和光接收元件阵列（15）被布置在相同的光轴上。 光源（16）安装在光分配管的一侧。 狭缝梁发生器（17）安装在物镜的焦距上。 驱动传感器（3）用于感测驱动电机（18）和移动距离。 图像/控制单元（2）包括用于接收和处理光接收元件阵列的数字信号的图像接收器（21），用于控制探头的驱动状态的驱动控制器（22），变焦驱动控制器（23） 用于控制变焦电动机，用于控制狭缝光束发生器的强度的狭缝光束控制器（24）和用于控制同轴照明强度的同轴照明控制器（25）。
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公开(公告)号：KR1020060074780A
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1309 , G01N21/95 , G01N2021/9513
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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公开(公告)号：KR1020060002653A
公开(公告)日：2006-01-09
申请号：KR1020040051788
申请日：2004-07-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B7/28 , G02B21/006 , G02B21/26 , G02B21/365
Abstract: 본 발명은 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점조절장치에 관한 것으로, 전통적인 공초점 현미경 구조에서 사용된 핀홀을 단일모드 광섬유로 대체함으로써 시스템 구성을 단순화하면서, 광원과 검출기의 역할이 하나의 광섬유로 통합되는 상반구성을 적용함으로써 광축 정렬의 어려움을 크게 해소함과 동시에, 광원변조 방법을 이용한 초점오차신호 획득을 통해 초점위치 검출을 위한 광축 주사과정을 제거하면서 대물렌즈 변조 방법에 비해 시스템에 미치는 물리적 영향을 최소화한 초점조절을 수행하는 것을 그 특징으로 한다.
공초점 현미경, 초점조절, 단일모드 광섬유, 광원변조
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