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公开(公告)号：KR1020180036038A
公开(公告)日：2018-04-09
申请号：KR1020160126073
申请日：2016-09-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01Q10/065 , G01N21/41 , G01Q20/02 , G01Q60/42
Abstract: 원자력현미경장치의온도측정방법은캔틸레버(cantilever)의일단에일체로연결된탐침을시료(sample)의목표지점에위치시키고, 캔틸레버에설정된반사면에레이저광을입사하여반사광을검출하며, 입사된레이저광인입사광의광량과반사광의광량에기초하여캔틸레버의측정반사율을산출하고, 기설정된상기캔틸레버의반사율과온도사이의관계및 측정반사율을이용하여시료의목표지점의온도를산출할수 있다.
Abstract translation: 原子力显微镜装置的温度测量方法是定位一体地连接到悬臂（悬臂）到样品（样品）的所述目标区域的一个端部的探针，但入射的激光的反射面被设置在悬臂和检测反射光，入射激光 疯狂的可被计算为测量的光量的光量和反射光，以及使用该反射率和测量反射率和悬臂的温度之间的关系被设定为计算样品的目标区域的温度的组的基础上，在悬臂的入射光的反射率。
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公开(公告)号：KR101855792B1
公开(公告)日：2018-06-20
申请号：KR1020160126073
申请日：2016-09-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 원자력현미경장치의온도측정방법은캔틸레버(cantilever)의일단에일체로연결된탐침을시료(sample)의목표지점에위치시키고, 캔틸레버에설정된반사면에레이저광을입사하여반사광을검출하며, 입사된레이저광인입사광의광량과반사광의광량에기초하여캔틸레버의측정반사율을산출하고, 기설정된상기캔틸레버의반사율과온도사이의관계및 측정반사율을이용하여시료의목표지점의온도를산출할수 있다.
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