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公开(公告)号：KR101064672B1
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020090076324
申请日：2009-08-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/256
Abstract: 본 발명은 레이저빔을 조사하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 레이저빔을 수평 및 수직편광 빔으로 분리하는 제1 편광 빔분리기와, 상기 제1 편광 빔분리기로부터 각각 분리된 수평 및 수직편광 빔을 원형편광 빔으로 변환하는 제1 및 제2 위상차판과, 상기 제1 및 제2 위상차판으로부터 각각 변환된 원형편광 빔을 서로 직각인 2방향의 서로 다른 선초점 형태의 빔으로 출력하는 제1 및 제2 렌즈와, 상기 제1 및 제2 렌즈로부터 각각 출력된 선초점 형태의 빔을 수직방향으로 경로를 변경시켜 주사하는 제1 및 제2 스캐너와, 상기 제1 및 제2 스캐너로부터 각각 주사된 빔이 샘플 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 빔분리기와, 상기 빔분리기와 상기 샘플 사이에 배치되어, 입사되는 빔을 집속시키는 대물렌즈와, 상기 제1 편광 빔분리기와 상기 제1 및 제2 위상차판 사이에 각각 배치되며, 상기 샘플에서 반사되어 최초 입사된 광 경로를 따라 되돌아오는 반사빔이 제1 및 제2 영상획득장치 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 제2 및 제3 편광 빔분리기를 포함함으로써, 초고속 영상 획득속도와 고해상도의 장점을 동시에 가질 수 있는 효과가 있다.
공초점 레이저 주사 현미경, 레이저빔, 편광 빔분리기, 대물렌즈-
公开(公告)号：KR1020180036038A
公开(公告)日：2018-04-09
申请号：KR1020160126073
申请日：2016-09-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01Q10/065 , G01N21/41 , G01Q20/02 , G01Q60/42
Abstract: 원자력현미경장치의온도측정방법은캔틸레버(cantilever)의일단에일체로연결된탐침을시료(sample)의목표지점에위치시키고, 캔틸레버에설정된반사면에레이저광을입사하여반사광을검출하며, 입사된레이저광인입사광의광량과반사광의광량에기초하여캔틸레버의측정반사율을산출하고, 기설정된상기캔틸레버의반사율과온도사이의관계및 측정반사율을이용하여시료의목표지점의온도를산출할수 있다.
Abstract translation: 原子力显微镜装置的温度测量方法是定位一体地连接到悬臂（悬臂）到样品（样品）的所述目标区域的一个端部的探针，但入射的激光的反射面被设置在悬臂和检测反射光，入射激光 疯狂的可被计算为测量的光量的光量和反射光，以及使用该反射率和测量反射率和悬臂的温度之间的关系被设定为计算样品的目标区域的温度的组的基础上，在悬臂的入射光的反射率。
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公开(公告)号：KR101855792B1
公开(公告)日：2018-06-20
申请号：KR1020160126073
申请日：2016-09-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 원자력현미경장치의온도측정방법은캔틸레버(cantilever)의일단에일체로연결된탐침을시료(sample)의목표지점에위치시키고, 캔틸레버에설정된반사면에레이저광을입사하여반사광을검출하며, 입사된레이저광인입사광의광량과반사광의광량에기초하여캔틸레버의측정반사율을산출하고, 기설정된상기캔틸레버의반사율과온도사이의관계및 측정반사율을이용하여시료의목표지점의온도를산출할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020110018718A
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：KR1020090076324
申请日：2009-08-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/256
Abstract: PURPOSE: A confocal laser scanning microscopy applying two direction line scanning way and image processing method using thereof are provided to implement high speed in collecting an image while supplying high resolution by complementarily matching two image through a deconvolution process. CONSTITUTION: A light source(100) projects a laser beam. A first polarizing beam splitter(200) divides a laser beam into horizontal and vertical polarizing beam. First and second phase difference plates(300a,300b) change horizontal and vertical polarizing beam into a round shape polarized light beam. First and the second lens outputs linear beams of different focus shapes which are perpendicular to each other. First and second scanners(500a,500b) changes the focus in vertical direction.
Abstract translation: 目的：提供一种应用双向扫描方式的共焦激光扫描显微镜及其图像处理方法，以通过反卷积处理互补匹配两个图像来提供高分辨率，实现高速收集图像。 构成：光源（100）投射激光束。 第一偏振分束器（200）将激光束分成水平和垂直偏振光束。 第一和第二相位差板300a，300b将水平和垂直偏振光束变成圆形偏振光束。 第一和第二透镜输出彼此垂直的不同焦点形状的线性光束。 第一和第二扫描仪（500a，500b）在垂直方向上改变焦点。
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