公开(公告)号：KR1020140033596A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：KR1020120099270

申请日：2012-09-07

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 최경철 ,  도윤선 ,  주병권 ,  박정호 ,  황보연

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B5/201 ,  B29D11/00634 ,  B82Y40/00 ,  G02B1/005 ,  G02B5/207 ,  H01L21/0275

Abstract: A manufacturing method of a surface plasmonic color filter includes: a step (a) of forming a photonic crystal structure on a substrate; a step (b) of forming a first dielectric layer on the photonic crystal structure; a step (c) of forming a metal film on the first dielectric layer; a step (d) of forming a photosensitive layer on the metal film; a step (e) of forming a nano-hole array having periodicity on the photosensitive layer by irradiating laser interference patterns on the photosensitive layer; a step (f) of forming a nano-hole array on the metal film by etching the metal film using the nano-hole array of the photosensitive layer; and a step (g) of removing the photosensitive layer having the nano-hole array from the metal film on which the nano-hole array is formed and forming a second dielectric layer including the same dielectric substance as the dielectric substance included in the first dielectric layer on the metal film on which the nano-hole array is formed. The cutoff wavelength band of the photonic crystal structure is different from the pass wavelength band of the nano-hole array.

Abstract translation: 表面等离子体激元彩色滤光片的制造方法包括：在基板上形成光子晶体结构的工序（a） 在所述光子晶体结构上形成第一介电层的步骤（b）; 在所述第一电介质层上形成金属膜的步骤（c）; 在所述金属膜上形成感光层的步骤（d）; 通过在感光层上照射激光干涉图案来形成具有周期性的纳米孔阵列的步骤（e）; 通过使用感光层的纳米孔阵列蚀刻金属膜，在金属膜上形成纳米孔阵列的步骤（f）; 以及从形成有纳米孔阵列的金属膜除去具有纳米孔阵列的感光层的步骤（g），形成包含与包含在第一电介质中的电介质物质相同的电介质的第二介电层 在其上形成纳米孔阵列的金属膜上。 光子晶体结构的截止波长带与纳米孔阵列的通过波长带不同。

公开(公告)号：KR1020130131913A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：KR1020120055868

申请日：2012-05-25

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최경철 ,  도윤선

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335

Abstract: The present invention relates to a surface plasmon color filter comprising: a substrate, a photonic crystal structure on the substrate, a metal thin film having a plurality of nanosized holes arranged at regular intervals formed on the photonic crystal structure, and a first dielectric layer formed on the metal thin film. A transmission wavelength band of photonic crystal structure and a transmission wavelength band of a hole array pattern having holes of metal thin films are different from each other.

Abstract translation: 表面等离子体激元滤色片技术领域本发明涉及一种表面等离子体激元彩色滤光片，其特征在于，包括：基板，基板上的光子晶体结构，具有以规则间隔排列形成在所述光子晶体结构上的多个纳米尺寸孔的金属薄膜，形成有第一介电层 在金属薄膜上。 光子晶体结构的透射波长带和具有金属薄膜孔的孔阵列图案的透射波长带彼此不同。

公开(公告)号：KR101455063B1

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：KR1020120099270

申请日：2012-09-07

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 최경철 ,  도윤선 ,  주병권 ,  박정호 ,  황보연

IPC: G02B5/20

Abstract: 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 광결정 구조를 형성하는 단계와, (b) 광결정 구조 위에 제1 유전체층을 형성하는 단계; (c) 제1 유전체층 위에 금속막을 형성하는 단계와, (d) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (e) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (f) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (g) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 제1 유전체층에 포함된 유전물질과 동일한 유전물질을 포함하는 제2 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다. 광결정 구조의 차단 파장 대역과 나노 홀 어레이의 투과 파장 대역은 서로 다르다.

公开(公告)号：KR1020140069879A

公开(公告)日：2014-06-10

申请号：KR1020120137698

申请日：2012-11-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최경철 ,  도윤선

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/13357

Abstract: An active surface plasmonic color filter comprises: a substrate; a metal thin film formed on the substrate including a plurality of holes disposed periodically with each having a nanosize; and a first dielectric layer formed on the metal thin film. The holes included in the metal thin film are disposed periodically along a first direction axis and a second direction axis perpendicular to each other, such that a color adjustment is possible in accordance to a polarization direction of linear polarization provided from the outside. The interval between holes disposed along the first direction axis is different from the interval between holes disposed along the second direction axis. The active surface plasmonic color filter capable of expressing a gray scale comprises: a substrate; a metal thin film formed on the substrate and includes a plurality of holes disposed periodically each having an anisotropic pattern having a nanosize, such that the strength of linear polarization is adjustable according to the polarization direction of the linear polarization provided from the outside; and a first dielectric layer formed on the metal thin film. The holes included in the metal thin film are disposed in a repeated manner according to a square-type unit hole array pattern or a hexagonal-type unit hole array pattern.

Abstract translation: 活性表面等离子体激元彩色滤光片包括：基底; 形成在所述基板上的金属薄膜，具有周期性地配置的各自具有纳米尺寸的多个孔; 以及形成在所述金属薄膜上的第一电介质层。 包括在金属薄膜中的孔沿着彼此垂直的第一方向轴和第二方向轴周期性地设置，使得根据从外部提供的线性极化的偏振方向可以进行颜色调整。 沿着第一方向轴设置的孔之间的间隔与沿着第二方向轴设置的孔之间的间隔不同。 能够表现灰度级的活性表面等离子体激元彩色滤光片包括：基片; 形成在基板上的金属薄膜，包括周期性地设置有多个具有纳米尺度的各向异性图案的多个孔，使得根据从外部提供的线性极化的偏振方向可以调节线偏振强度; 以及形成在所述金属薄膜上的第一电介质层。 包括在金属薄膜中的孔以方形单位孔阵列图案或六边形单位孔阵列图案重复设置。

公开(公告)号：KR101510725B1

公开(公告)日：2015-04-10

申请号：KR1020120137698

申请日：2012-11-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최경철 ,  도윤선

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/13357

Abstract: 능동형표면플라즈몬컬러필터는, 기판과, 기판위에형성되고, 주기적으로배치되고나노(nano) 크기를각각가지는다수의홀(hole)들을포함하는금속박막과, 금속박막위에형성되는제1 유전체층을포함한다. 금속박막에포함되는홀들은, 외부에서제공되는선형편광의편광방향에따라색상조정이가능하도록, 서로수직인제1 방향축및 제2 방향축에주기적으로배치되고제1 방향축에배치되는홀들의간격과제2 방향축에배치되는홀들의간격은서로다르다. 계조표현이가능한능동형표면플라즈몬컬러필터는, 기판과, 기판위에형성되고, 외부에서입사되는선형편광의편광방향에따라선형편광의세기가조정되도록, 주기적으로배치되고나노(nano) 크기의비등방성형태를각각가지는다수의홀(hole)들을포함하는금속박막과, 금속박막위에형성되는제1 유전체층을포함하며, 금속박막에포함되는홀들은, 정사각형의단위홀 어레이형태(unit hole array pattern) 또는정육각형의단위홀 어레이형태를가지고반복적으로배치된다.

公开(公告)号：KR101445844B1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：KR1020120099268

申请日：2012-09-07

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 최경철 ,  도윤선 ,  주병권 ,  박정호 ,  황보연

IPC: G02B5/20

Abstract: 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, (b) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (c) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (d) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (e) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR101427307B1

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：KR1020120063548

申请日：2012-06-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최경철 ,  이성민 ,  도윤선

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02

Abstract: 금속 나노 입자의 표면 플라즈몬 공명 특성을 이용하는 컬러 필터가 제공된다. 상기 컬러 필터는, 투명 기판과, 투명 기판 위에 형성되는 다수의 금속 나노 입자들을 포함한다.

公开(公告)号：KR1020140033595A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：KR1020120099268

申请日：2012-09-07

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 최경철 ,  도윤선 ,  주병권 ,  박정호 ,  황보연

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B5/201 ,  B29D11/00634 ,  B82Y40/00 ,  G02B5/207 ,  H01L21/0275

Abstract: A method of manufacturing a surface plasmonic color filter using laser interference lithography comprises the steps of: (a) forming a metal film on a substrate; (b) forming a photosensitive layer on the metal film; (c) forming a nanohole array having periodicity on the photosensitive layer by irradiating the photosensitive layer with a laser interference patterns; (d) forming the nanohole array on the metal film by etching the metal film using the nanohole array of the photosensitive layer; and (e) removing the photosensitive layer having the nanohole array from the metal film having the nanohole array, and forming a dielectric layer on the metal film having the nanohole array.

Abstract translation: 使用激光干涉光刻制造表面等离子体激元彩色滤光片的方法包括以下步骤：（a）在基片上形成金属膜; （b）在金属膜上形成感光层; （c）通过用激光干涉图案照射感光层，形成在感光层上具有周期性的纳米孔阵列; （d）通过使用感光层的纳米孔阵列蚀刻金属膜，在金属膜上形成纳米孔阵列; 和（e）从具有纳米孔阵列的金属膜去除具有纳米孔阵列的感光层，并在具有纳孔孔阵列的金属膜上形成电介质层。

公开(公告)号：KR1020140086934A

公开(公告)日：2014-07-08

申请号：KR1020140059166

申请日：2014-05-16

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 최경철 ,  도윤선 ,  주병권 ,  박정호 ,  황보연

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B5/201 ,  G02B5/008 ,  G02F1/133516 ,  G02F1/133621 ,  G03F7/0007

Abstract: A manufacturing method of a surface plasmonic color filter includes the steps of: (a) forming a metal film on a substrate; (b) forming a photosensitive layer on the metal layer; (c) forming a periodical nono hole array on the photosensitive layer by emitting a laser interference pattern on the photosensitive layer; (d) etching the metal film by using the nano hole array on the photosensitive layer to form another nano hole array on the metal film; and (e) removing the photosensitive layer with the nano hole array from the metal film with the nano hole array and forming a dielectric layer on the metal layer with the nano hole array.

Abstract translation: 表面等离子体激元彩色滤光器的制造方法包括以下步骤：（a）在基板上形成金属膜; （b）在金属层上形成感光层; （c）通过在感光层上发射激光干涉图案在感光层上形成周期性非孔阵列; （d）通过在感光层上使用纳米孔阵列来蚀刻金属膜，以在金属膜上形成另一纳米孔阵列; 和（e）用具有纳米孔阵列的具有纳米孔阵列的金属膜去除感光层，并在纳米孔阵列的金属层上形成电介质层。

公开(公告)号：KR101374551B1

公开(公告)日：2014-03-17

申请号：KR1020120055868

申请日：2012-05-25

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최경철 ,  도윤선

IPC: G02B5/20 ,  G02F1/1335

Abstract: 표면 플라즈몬 컬러필터는, 기판과, 기판 위에 형성되는 광 결정 구조와, 광 결정 구조 위에 형성되고, 주기적으로 배치되고 나노(nano) 크기를 각각 가지는 다수의 구멍(hole)들을 포함하는 금속 박막과, 금속 박막 위에 형성되는 제1 유전체층을 포함한다. 광 결정 구조의 차단 파장 대역과 금속 박막의 구멍(hole)들로 구성되는 홀 어레이 패턴(hole array pattern)의 투과 파장 대역은 서로 다르다.