용량형 센서 및 이의 제조 방법
    1.
    发明申请
    용량형 센서 및 이의 제조 방법 审中-公开
    电容式传感器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2016032093A1

    公开(公告)日:2016-03-03

    申请号:PCT/KR2015/005222

    申请日:2015-05-26

    Inventor: 박정호 나대석

    CPC classification number: G01N27/22 G01N33/30 G01R27/26

    Abstract: 용량형 센서가 개시된다. 상기 용량형 센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 제1 전극과 제2 전극, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 형성된 상기 기판 상에 형성된 절연막, 및 상기 절연막 상에 형성되고 그래핀을 포함하는 감지막을 포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种电容传感器。 电容传感器包括:基板; 形成在基板上的第一和第二电极; 形成在其上形成有第一和第二电极的基板上的绝缘膜; 以及形成在绝缘膜上并包括石墨烯的感测膜。

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    2.
    发明公开
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造表面等离子体彩色滤光片的方法

    公开(公告)号:KR1020140086934A

    公开(公告)日:2014-07-08

    申请号:KR1020140059166

    申请日:2014-05-16

    Abstract: A manufacturing method of a surface plasmonic color filter includes the steps of: (a) forming a metal film on a substrate; (b) forming a photosensitive layer on the metal layer; (c) forming a periodical nono hole array on the photosensitive layer by emitting a laser interference pattern on the photosensitive layer; (d) etching the metal film by using the nano hole array on the photosensitive layer to form another nano hole array on the metal film; and (e) removing the photosensitive layer with the nano hole array from the metal film with the nano hole array and forming a dielectric layer on the metal layer with the nano hole array.

    Abstract translation: 表面等离子体激元彩色滤光器的制造方法包括以下步骤:(a)在基板上形成金属膜; (b)在金属层上形成感光层; (c)通过在感光层上发射激光干涉图案在感光层上形成周期性非孔阵列; (d)通过在感光层上使用纳米孔阵列来蚀刻金属膜,以在金属膜上形成另一纳米孔阵列; 和(e)用具有纳米孔阵列的具有纳米孔阵列的金属膜去除感光层,并在纳米孔阵列的金属层上形成电介质层。

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    3.
    发明授权
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造表面等离子体激光彩色滤光片的方法

    公开(公告)号:KR101445844B1

    公开(公告)日:2014-10-02

    申请号:KR1020120099268

    申请日:2012-09-07

    Abstract: 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, (b) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (c) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (d) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (e) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    4.
    发明公开
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造表面等离子体彩色滤光片的方法

    公开(公告)号:KR1020140033595A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:KR1020120099268

    申请日:2012-09-07

    Abstract: A method of manufacturing a surface plasmonic color filter using laser interference lithography comprises the steps of: (a) forming a metal film on a substrate; (b) forming a photosensitive layer on the metal film; (c) forming a nanohole array having periodicity on the photosensitive layer by irradiating the photosensitive layer with a laser interference patterns; (d) forming the nanohole array on the metal film by etching the metal film using the nanohole array of the photosensitive layer; and (e) removing the photosensitive layer having the nanohole array from the metal film having the nanohole array, and forming a dielectric layer on the metal film having the nanohole array.

    Abstract translation: 使用激光干涉光刻制造表面等离子体激元彩色滤光片的方法包括以下步骤:(a)在基片上形成金属膜; (b)在金属膜上形成感光层; (c)通过用激光干涉图案照射感光层,形成在感光层上具有周期性的纳米孔阵列; (d)通过使用感光层的纳米孔阵列蚀刻金属膜,在金属膜上形成纳米孔阵列; 和(e)从具有纳米孔阵列的金属膜去除具有纳米孔阵列的感光层,并在具有纳孔孔阵列的金属膜上形成电介质层。

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 광결정 구조가 결합된 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    5.
    发明授权
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 광결정 구조가 결합된 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造表面等离子体激元彩色滤光片与光子晶体结构的方法

    公开(公告)号:KR101455063B1

    公开(公告)日:2014-10-30

    申请号:KR1020120099270

    申请日:2012-09-07

    Abstract: 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 광결정 구조를 형성하는 단계와, (b) 광결정 구조 위에 제1 유전체층을 형성하는 단계; (c) 제1 유전체층 위에 금속막을 형성하는 단계와, (d) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (e) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (f) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (g) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 제1 유전체층에 포함된 유전물질과 동일한 유전물질을 포함하는 제2 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다. 광결정 구조의 차단 파장 대역과 나노 홀 어레이의 투과 파장 대역은 서로 다르다.

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 광결정 구조가 결합된 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    6.
    发明公开
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 광결정 구조가 결합된 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造光子晶体结构的表面等离子体彩色滤光片的制造方法

    公开(公告)号:KR1020140033596A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:KR1020120099270

    申请日:2012-09-07

    Abstract: A manufacturing method of a surface plasmonic color filter includes: a step (a) of forming a photonic crystal structure on a substrate; a step (b) of forming a first dielectric layer on the photonic crystal structure; a step (c) of forming a metal film on the first dielectric layer; a step (d) of forming a photosensitive layer on the metal film; a step (e) of forming a nano-hole array having periodicity on the photosensitive layer by irradiating laser interference patterns on the photosensitive layer; a step (f) of forming a nano-hole array on the metal film by etching the metal film using the nano-hole array of the photosensitive layer; and a step (g) of removing the photosensitive layer having the nano-hole array from the metal film on which the nano-hole array is formed and forming a second dielectric layer including the same dielectric substance as the dielectric substance included in the first dielectric layer on the metal film on which the nano-hole array is formed. The cutoff wavelength band of the photonic crystal structure is different from the pass wavelength band of the nano-hole array.

    Abstract translation: 表面等离子体激元彩色滤光片的制造方法包括:在基板上形成光子晶体结构的工序(a) 在所述光子晶体结构上形成第一介电层的步骤(b); 在所述第一电介质层上形成金属膜的步骤(c); 在所述金属膜上形成感光层的步骤(d); 通过在感光层上照射激光干涉图案来形成具有周期性的纳米孔阵列的步骤(e); 通过使用感光层的纳米孔阵列蚀刻金属膜,在金属膜上形成纳米孔阵列的步骤(f); 以及从形成有纳米孔阵列的金属膜除去具有纳米孔阵列的感光层的步骤(g),形成包含与包含在第一电介质中的电介质物质相同的电介质的第二介电层 在其上形成纳米孔阵列的金属膜上。 光子晶体结构的截止波长带与纳米孔阵列的通过波长带不同。

    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법
    7.
    发明授权
    레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 有权
    使用激光干涉光刻制造表面等离子体激光彩色滤光片的方法

    公开(公告)号:KR101550008B1

    公开(公告)日:2015-09-07

    申请号:KR1020140059166

    申请日:2014-05-16

    Abstract: 표면플라즈모닉컬러필터의제조방법은, (a) 기판위에금속막을형성하는단계와, (b) 금속막위에감광층을형성하는단계와, (c) 감광층에레이저간섭무늬를조사하여감광층에주기성을가지는나노홀 어레이(nano hole array)를형성하는단계와, (d) 감광층의나노홀 어레이를이용하여금속막을식각(etching)하여금속막에나노홀 어레이를형성하는단계와, (e) 나노홀 어레이를가지는감광층을나노홀 어레이가형성된금속막으로부터제거하고나노홀 어레이가형성된금속막위에유전체층을형성하는단계를포함한다.

    상지 재활을 위한 중력이 보상되는 어깨관절 추종 장치
    8.
    发明申请
    상지 재활을 위한 중력이 보상되는 어깨관절 추종 장치 审中-公开
    用于上肢修复的肩关节跟踪装置,用于重大补偿

    公开(公告)号:WO2015147584A1

    公开(公告)日:2015-10-01

    申请号:PCT/KR2015/003018

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 본 발명에 따른 상지 재활을 위한 중력이 보상되는 어깨관절 추종 장치는 수직하게 기립된 수직축, 수직축의 하부 말단에 형성되어, 휠체어에 장착되는 장착부, 수직축에 형성되어 중력을 보상하는 중력 보상부, 및 중력 보상부의 지지를 받아 일단이 수직축에 상하 직선운동 가능하게 결합되고, 타단에 각종 상지 재활 장치가 장착되는 재활장치 장착부를 포함하여, 뇌졸중, 척추손상, 근육병 환자를 비롯하여 어깨 근육이 약화된 환자들의 어깨 관절 아탈구(Subluxation)로 인한 통증을 줄이고 팔의 움직임을 보조하여 재활 운동의 효과를 높이고 및 일상생활의 만족도를 높이는 효과가 있다. (대표도) 도 2

    Abstract translation: 根据本发明的用于补偿重力的用于上肢康复的肩关节跟踪装置包括:垂直竖起竖起的轴; 安装部,其形成在所述竖直轴的下端并安装在轮椅上; 重力补偿部分,形成在垂直轴上并补偿重力; 以及康复装置安装部分,其具有从重力补偿部分接收支撑的一个端部并且连接到垂直轴线以能够线性运动,并且另一端能够安装有各种上肢康复装置的康复装置安装部分。 该装置具有增加康复练习的效果,通过减轻肩关节半脱位引起的疼痛,并通过协助将手臂移动到肩胛骨萎缩的患者中,包括中风患者,提高康复锻炼的效果,提高日常生活中的满意度, 脊柱损伤患者和肌肉疾病患者。

    과산화수소 측정 센서 및 과산화수소 측정 센서의 작업 전극 제조 방법
    9.
    发明公开
    과산화수소 측정 센서 및 과산화수소 측정 센서의 작업 전극 제조 방법 审中-实审
    氢过氧化物检测传感器及其工作电极的制造方法

    公开(公告)号:KR1020150012072A

    公开(公告)日:2015-02-03

    申请号:KR1020130087455

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 과산화수소 측정 센서 및 과산화수소 측정 센서의 작업 전극 제조 방법이 제공된다. 상기 과산화수소 측정 센서는, 기준 전극, 상대 전극 및 산화구리 나노플라워 전극을 포함하는 작업 전극을 포함하되, 산화구리 나노플라워 전극은, 산화구리 전극과 산화구리 전극의 일면에 형성된 폴리이미드 테이프(polyimide tape) 층을 포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种过氧化氢测定传感器及其工作电极的制造方法。 提供了过氧化氢测量传感器,其测量包含在没有酶的工业废水中的高浓度过氧化氢。 过氧化氢测量传感器包括:参比电极; 对电极 以及包括氧化铜纳米花极电极的工作电极。 氧化铜纳米过电极包括氧化铜电极和形成在氧化铜电极的一侧上的聚酰亚胺带层。

    유리비드 혼합몰드를 이용한 미세채널 제조방법 및 이 미세채널을 이용한 면역센서
    10.
    发明公开
    유리비드 혼합몰드를 이용한 미세채널 제조방법 및 이 미세채널을 이용한 면역센서 有权
    使用玻璃珠混合模具的微波通道制备方法和使用这种微通道制造的免疫传感器

    公开(公告)号:KR1020140089996A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:KR1020130002173

    申请日:2013-01-08

    Abstract: The present invention relates to a manufacturing method for a PDMS microchannel for an immunosensor, which uses a mixed mold of glass bead-SU8 instead of the existing SU8 mold. The manufacturing method for a microchannel is implemented by the same process as the existing SU8 mold manufacturing process except the use of a glass bead-SU8 mixture instead of SU8 and plasma processing on a wafer, and does not add any complex process for transforming the inner surface of a microchannel. In addition, the manufacturing method for an immunosensor can have a large surface area in order to efficiently fixate an antibody, and can obtain a PDMS microchannel having a surface with high hydrophobicity. The microchannel can be utilized as an immunosensor by effectively fixating protein particles therein.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于免疫传感器的PDMS微通道的制造方法,其使用玻璃珠SU8的混合模具代替现有的SU8模具。 微通道的制造方法通过与现有的SU8模具制造方法相同的方法实现,除了使用玻璃珠SU8混合物代替SU8和在晶片上进行等离子体处理,并且不添加用于转换内部的任何复杂的工艺 微通道表面。 此外,免疫传感器的制造方法可以具有大的表面积,以有效地固定抗体,并且可以获得具有高疏水性表面的PDMS微通道。 微通道可以通过有效地固定其中的蛋白质颗粒而用作免疫传感器。

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