公开(公告)号：KR1020110024007A

公开(公告)日：2011-03-09

申请号：KR1020090081843

申请日：2009-09-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신하용 ,  신용철 ,  이일랑 ,  박세연 ,  정병덕

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/704 ,  G03F7/2051 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70625

Abstract: PURPOSE: A maskless exposure method using rasterization of massive polygons is provided to efficiently transmit data by transmitting only the information with an event to change the operation state of point light. CONSTITUTION: A substrate is exposed by using a lot of point light(12). A repeated pattern instance is extracted from an inputted pattern. Slabs are generated by dividing a polygon(20) of the pattern instance in parallel to a scan direction. Scan pieces that are sections for turning on the point light are calculated from the slabs every scan line(13) through which the point light passes in the pattern instance. Scan data with the position information of the scan pieces is generated.

Abstract translation: 目的：提供使用大面积多边形光栅化的无掩模曝光方法，通过仅发送信息来传输数据，改变点光源的运行状态。 构成：通过使用大量点光（12）暴露基板。 从输入的图案中提取重复图案实例。 通过将图案实例的多边形（20）与扫描方向平行地分割来生成平板。 作为点光源的部分的扫描片是从点阵光在图案实例中通过的每个扫描线（13）的平板计算的。 生成扫描件的位置信息的扫描数据。

公开(公告)号：KR101042195B1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：KR1020090081843

申请日：2009-09-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신하용 ,  신용철 ,  이일랑 ,  박세연 ,  정병덕

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키기 위해, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하고, 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하며, 패턴 인스턴스 내에서, 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하고, 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성한다. 마스크리스 노광 방법은 스캔 데이터 중에서 점등 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 이렇게 래스터화된 스캔 데이터에 따라 다수의 포인트 광들이 이동 및 점멸함으로써 기판을 노광시킨다.