公开(公告)号：KR101042195B1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：KR1020090081843

申请日：2009-09-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신하용 ,  신용철 ,  이일랑 ,  박세연 ,  정병덕

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키기 위해, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하고, 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하며, 패턴 인스턴스 내에서, 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하고, 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성한다. 마스크리스 노광 방법은 스캔 데이터 중에서 점등 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 이렇게 래스터화된 스캔 데이터에 따라 다수의 포인트 광들이 이동 및 점멸함으로써 기판을 노광시킨다.

公开(公告)号：KR1020110024007A

公开(公告)日：2011-03-09

申请号：KR1020090081843

申请日：2009-09-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신하용 ,  신용철 ,  이일랑 ,  박세연 ,  정병덕

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/704 ,  G03F7/2051 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70625

Abstract: PURPOSE: A maskless exposure method using rasterization of massive polygons is provided to efficiently transmit data by transmitting only the information with an event to change the operation state of point light. CONSTITUTION: A substrate is exposed by using a lot of point light(12). A repeated pattern instance is extracted from an inputted pattern. Slabs are generated by dividing a polygon(20) of the pattern instance in parallel to a scan direction. Scan pieces that are sections for turning on the point light are calculated from the slabs every scan line(13) through which the point light passes in the pattern instance. Scan data with the position information of the scan pieces is generated.

Abstract translation: 目的：提供使用大面积多边形光栅化的无掩模曝光方法，通过仅发送信息来传输数据，改变点光源的运行状态。 构成：通过使用大量点光（12）暴露基板。 从输入的图案中提取重复图案实例。 通过将图案实例的多边形（20）与扫描方向平行地分割来生成平板。 作为点光源的部分的扫描片是从点阵光在图案实例中通过的每个扫描线（13）的平板计算的。 生成扫描件的位置信息的扫描数据。

公开(公告)号：KR100639065B1

公开(公告)日：2006-10-30

申请号：KR1020050055690

申请日：2005-06-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 양동열 ,  신하용 ,  김효찬 ,  이상호

IPC: B26F3/06 ,  B26F3/12 ,  B44B1/00

Abstract: A rotary thermal tool and a machining apparatus using the rotary thermal tool are provided to easily remove a polymer melt by a heat emitting body by thermally decomposing or storing the melt polymer. A rotary thermal tool includes a motor(110), a body(120) of revolution, an electrode terminal(130), a heat emitting body(180), and a polymer storing container. The body of revolution is engaged with the motor to be rotated. The electrode terminal is connected to an external power source and makes contact with an electrode of the body of revolution. The heat emitting body is engaged with the body of revolution. A spiral groove is formed on the peripheral surface of the heat emitting body. The heat emitting body emits heat by the current supplied through the electrode terminal. The polymer storing container is installed on the upper peripheral surface of the heat emitting body. The melt material moved along the groove is stored in the polymer storing container.

Abstract translation: 提供旋转式热工具和使用该旋转式热工具的加工设备，以通过热分解或储存熔融聚合物而容易地通过发热体去除聚合物熔体。 一种旋转式热敏工具，包括电动机（110），回转体（120），电极端子（130），发热体（180）和聚合物储存容器。 旋转体与电机旋转。 电极端子连接到外部电源并与旋转体的电极接触。 发热体与旋转体接合。 螺旋槽形成在发热体的外周表面上。 发热体通过由电极端子供给的电流而发热。 聚合物储存容器安装在发热体的上部周边表面上。 沿着凹槽移动的熔融材料被储存在聚合物储存容器中。