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公开(公告)号：KR1020010103298A
公开(公告)日：2001-11-23
申请号：KR1020000024654
申请日：2000-05-09
IPC: G11B21/02
Abstract: 본 발명은 하드 디스크 드라이브 슬라이더의 6자유도 동적특성을 정확하게 측정하기 위해 2단 스윙암 광학계를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 레이저광선 주사장치(120)로부터 주사된 레이저광선을 이용하여 하드 디스크 드라이브의 슬라이더(20)의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계에 있어서, 상기 슬라이더(20)의 상면에 고정되는 삼각뿔 형상의 삼면반사체(110)와, 상기 레이저광선이 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 레이저광선의 광로를 형성하는 적어도 한 개 이상의 반사체(151, 152)와, 상기 삼면반사체(110)로부터 반사된 3갈래의 레이저광선의 진행방향에 각각 설치되는 3개의 위치검출기(131, 132, 133)와, 상기 3개의 위치검출기(131, 132, 133)로부터 검출된 레이저광선의 강도분포의 무게중심 및 상기 삼면반사체(110)의 6자유도를 분석하는 제어부(160) 및, 하단의 선단부에 상기 슬라이더(20)가 고정되고 상단의 상부에 형성된 상기 레이저광선의 광로� �� 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 형성된 2단 스윙암(140)을 포함하는 슬라이더의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계가 제공된다.-
公开(公告)号：KR1020010103297A
公开(公告)日：2001-11-23
申请号：KR1020000024653
申请日：2000-05-09
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 6자유도 운동을 측정하는 장치에 있어서, 삼면반사체를 이용하여 측정대상물의 6자유도 변위를 쉽고 정밀하게 측정할 수 있고 고속운동을 하는 작은 측정대상물의 변위를 용이하게 측정할 수 있으며, 측정정밀도가 우수한 6자유도 운동측정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 광원(130)으로부터 진행하는 레이저광선을 이용하여 측정대상물(1)의 6자유도 운동을 측정하는 장치에 있어서, 상기 측정대상물(1)에 고정되며, 상기 레이저광선을 3방향으로 반사시키는 삼각뿔 형상의 삼면반사체(110)와, 상기 삼면반사체(110)로부터 반사되는 레이저광선을 수광하는 3개의 위치검출기(121, 122, 123)와, 상기 3개의 위치검출기(121, 122, 123)에서 검출된 레이저광선의 강도분포의 무게중심을 이용하여 상기 삼면반사체(110)의 6자유도를 분석하는 제어부(138)를 포함하는 6자유도 운동측정장치가 제공된다.-
公开(公告)号：KR1019970003272B1
公开(公告)日：1997-03-17
申请号：KR1019930022378
申请日：1993-10-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/24
Abstract: Disclosed is an optical measuring instrument for 3-D shape of mirror-like object. The instrument is composed of the reflection body(16) of semi-circle type retroreflective, the laser scanning mirror(16), the beam splitter(14) and the sensing elements. The reflection body(16) prevents from coming through of the reflected rays, reflected regularly from the sloping surface's measuring object that arranged in the inside. Moreover, it gives off a similar intensity regression beam in regard to a reflected ray of every direction. In addition, its ceiling part is punched so that it can let out the reflected rays. The scanning mirror(15), scans closely by angle division for using the source of laser, is located on the upper side of the punching. The laser beam projects according to the order the beam splitter, the laser mirror, and the punching part from the source of laser to the point(A) of the measuring object. At this point, the laser beam is reflected regularly and the first reflected rays projects to the reflection body's one point (B). Then, it reflects to the projected direction for the optical reflection characteristic of the retroreflective quality. The laser beam projects to the C point near the A point of the measuring object's surface. The regression beam projected at the C point is reflected regularly and projects to the sensing elements through the laser scanning mirror and the beam splitter. It measures the information of the C point by the information A and the picture of the C that imagined by the sensing elements, and projects the laser beam to the C point again.By repeat the described process, it can measure the 3-D shape over the mirror-like object.
Abstract translation: 公开了一种用于镜面物体的3D形状的光学测量仪器。 仪器由半圆型回射反射体的反射体（16），激光扫描镜（16），分束器（14）和传感元件构成。 反射体（16）防止反射光线穿过反射光线，从布置在内部的倾斜表面的测量物体规则地反射。 此外，它对于每个方向的反射光线发出类似的强度回归光束。 此外，其顶部被冲压，以便它可以放出反射的光线。 扫描反射镜（15）位于冲孔的上侧，通过用角度分割来扫描激光源。 激光束根据分束器，激光反射镜和从激光源的冲孔部分到测量对象的点（A）的顺序投影。 此时，激光束被规则地反射，第一反射光线突出到反射体的一点（B）。 然后，其反射到逆向反射质量的光学反射特性的投射方向。 激光束投射到测量对象表面的A点附近的C点。 在C点处投射的回归光束被定期反射，并通过激光扫描镜和分束器投影到感测元件。 它通过信息A和感测元件想象的C的图像来测量C点的信息，并将激光束再次投射到C点。通过重复描述的过程，可以测量3-D形状 在镜像的对象上。
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公开(公告)号：KR100421428B1
公开(公告)日：2004-03-09
申请号：KR1020010022140
申请日：2001-04-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01P3/36
Abstract: An apparatus for measuring six-degree-of-freedom motions by using three-facet reflector, the six-degree-of-freedom motions of an object being measured by using the laser beam proceeding from a laser light source, comprising: a multiple facet reflector in the form of a trigonal pyramid, the multiple facet reflector being fixed on the object for measurement and able to reflect the laser beam in three directions; three position-sensitive detectors for measuring the position and intensity of the laser light points formed on their surfaces, with the movement of the multiple facet reflector, and then providing output signals; and a controlling section for analyzing six-degree-of-freedom motions of the multiple facet reflector by using the position and intensity of the laser light points output from the three position-sensitive detectors. (FIG. 4).
Abstract translation: 1。一种使用三面反射器测量六自由度运动的装置，所述六面自由度运动通过使用从激光源发出的激光束来测量物体的所述六自由度运动，所述装置包括：多面面 所述多面反射器固定在所述物体上进行测量，并能够在三个方向上反射所述激光束; 三个位置敏感探测器，用于测量在其表面上形成的激光点的位置和强度，随着多面反射器的移动，然后提供输出信号; 以及控制部分，用于通过使用从三个位置敏感检测器输出的激光点的位置和强度来分析多刻面反射器的六自由度运动。 （图4）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100381816B1
公开(公告)日：2003-04-26
申请号：KR1020000024653
申请日：2000-05-09
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 6자유도 운동을 측정하는 장치에 있어서, 삼면반사체를 이용하여 측정대상물의 6자유도 변위를 쉽고 정밀하게 측정할 수 있고 고속운동을 하는 작은 측정대상물의 변위를 용이하게 측정할 수 있으며, 측정정밀도가 우수한 6자유도 운동측정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 광원(130)으로부터 진행하는 레이저광선을 이용하여 측정대상물(1)의 6자유도 운동을 측정하는 장치에 있어서, 상기 측정대상물(1)에 고정되며, 상기 레이저광선을 3방향으로 반사시키는 삼각뿔 형상의 삼면반사체(110)와, 상기 삼면반사체(110)로부터 반사되는 레이저광선을 수광하는 3개의 위치검출기(121, 122, 123)와, 상기 3개의 위치검출기(121, 122, 123)에서 검출된 레이저광선의 강도분포의 무게중심을 이용하여 상기 삼면반사체(110)의 6자유도를 분석하는 제어부(138)를 포함하는 6자유도 운동측정장치가 제공된다.-
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公开(公告)号：KR1020020082977A
公开(公告)日：2002-11-01
申请号：KR1020010022140
申请日：2001-04-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01P3/36
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring micro 6 degree of freedom movement using a reflector is provided, which is not influenced by a mechanical speed limit and thus is appropriate for measuring a high speed movement. CONSTITUTION: According to the apparatus for measuring a micro 6 degree of freedom movement of an object to be measured using a laser beam propagating from a laser beam source, a three sides reflector(110) in a triangular horn shape reflects the laser beam toward three directions by being fixed to the object to be measured. Three position detectors(PSD)(131,132,133) outputs an output signal by measuring a position and the intensity of a laser beam spot focused on a surface of the three sides reflector. And a control part(135) analyzes the 6 degree of freedom of the three sides reflector using the position of the intensity of the laser beam spot being output from three position detectors.
Abstract translation: 目的：提供一种使用反射器测量微6自由度运动的装置，其不受机械速度限制的影响，因此适合于测量高速运动。 构成：根据用于使用从激光束源传播的激光束来测量待测物体的微6自由度运动的装置，三角形喇叭形状的三面反射器（110）将激光束朝向三 通过固定到要测量的对象的方向。 三位置检测器（PSD）（131,132,133）通过测量聚焦在三面反射器的表面上的激光束点的位置和强度来输出输出信号。 并且控制部件（135）使用从三个位置检测器输出的激光束点的强度的位置来分析三面反射器的6个自由度。
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公开(公告)号：KR100351671B1
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：KR1020000024654
申请日：2000-05-09
IPC: G11B21/02
Abstract: 본 발명은 하드 디스크 드라이브 슬라이더의 6자유도 동적특성을 정확하게 측정하기 위해 2단 스윙암 광학계를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 레이저광선 주사장치(120)로부터 주사된 레이저광선을 이용하여 하드 디스크 드라이브의 슬라이더(20)의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계에 있어서, 상기 슬라이더(20)의 상면에 고정되는 삼각뿔 형상의 삼면반사체(110)와, 상기 레이저광선이 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 레이저광선의 광로를 형성하는 적어도 한 개 이상의 반사체(151, 152)와, 상기 삼면반사체(110)로부터 반사된 3갈래의 레이저광선의 진행방향에 각각 설치되는 3개의 위치검출기(131, 132, 133)와, 상기 3개의 위치검출기(131, 132, 133)로부터 검출된 레이저광선의 강도분포의 무게중심 및 상기 삼면반사체(110)의 6자유도를 분석하는 제어부(160) 및, 하단의 선단부에 상기 슬라이더(20)가 고정되고 상단의 상부에 형성된 상기 레이저광선의 광로� �� 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 형성된 2단 스윙암(140)을 포함하는 슬라이더의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계가 제공된다.-
公开(公告)号：KR1019950012036A
公开(公告)日：1995-05-16
申请号：KR1019930022378
申请日：1993-10-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/24
Abstract: 되반사 재질의 반사광 회귀특성을을 이용하여 경면물체의 삼차원 형상을 물체표면의 전 영역에 걸쳐 측정해내는 장치를 제공하기 위한 본 발명은 광학적 측정장치는 되반사 재질의 반구형의 반사체,레이져 스캐닝미러,빔스플리터,레이져 광원,광센서를 적절히 구성하여 경면물체의 삼차원 형상을 측정하는 시각 측정장치로서,이와 같은 본 발명에 의하면 기존의 일반적인 광학적(시각적인)방법으로는 측정하기 어려운 경면물체의 3차원 형상을 측정할 수 있으며,또한 기존의 경면물체 측정방법보다 단순한 장치의 구성으로 고분해능의 측정을 수행할 수 있다.
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