Abstract:
The present invention relates to a modeling method which estimates delay time and output time of a gate when a body bias voltage is applied. A method of modeling the delay time or the output time of the gate according to the present invention includes a step of selecting a first gate among a plurality of gates; a step of determining the structure of the selected first gate; a step of generating the delay time ratio or the output time ratio of the selected first gate according to the determination result; and a step of calculating the delay time or the output time of a second gate when the body bias voltage is applied based on the delay time or the output time of the second gate among the generated delay time ratio or the output time ratio and the gates. [Reference numerals] (110) First delay time table; (120) Delay time ratio table; (130) Second delay time table
Abstract:
선택적으로 패터닝되는 타일 마스크 셋 및 마스킹 마스크를 이용하는 스트럭처드 ASIC의 레이어 리소그래피 방법이 개시된다. 스트럭처드 ASIC의 레이어를 리소그래피하기 위하여, N개의 마스크 쌍들을 결정하며, 상기 N개의 마스크 쌍 중 타겟 마스크 쌍을 선택한다. 상기 타겟 마스크 쌍의 마스킹 마스크를 통해 1차 노광하고, 상기 타겟 마스크 쌍의 타일 마스크 셋을 통해 2차 노광한다. 상기 1차 노광 및 2차 노광된 웨이퍼를 식각하여 레이어를 선택적으로 리소그래피한다. 따라서, 디자인의 특성에 맞게 복수의 타일들을 적절히 배치하여 종래의 스트럭처드 ASIC의 비용 절감 효과를 유지하면서 성능을 향상시킬 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A layer lithographic method of a structured application specific integrated circuit(ASIC), a design method, and a tile mask set used in the same are provided to improve performance while maintaining cost reduction effects of an ASIC using a selectively patterned tile mask set and a masking mask. CONSTITUTION: First to N-th mask pairs are determined(S110). A target mask pair is selected among the first to N-th mask pairs(S120). A second tile part is first exposed using a masking mask of the target mask pair(S130). A first tile part is second exposed using a tile mask set of the target mask pair(S140). The second exposed first tile part is etched(S150). A lithography state of a pattern with respect to all titles is determined(S160).