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公开(公告)号：WO2012002717A3
公开(公告)日：2012-01-05
申请号：PCT/KR2011/004735
申请日：2011-06-29
Abstract: 본 발명은 3차원 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 패턴화된 고분자 구조체의 외주면에 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 적용하여 목적물질을 부착시킨 목적물질-고분자 복합구조체를 형성시킨 다음, 상기 목적물질-고분자 복합구조체의 고분자를 제거하여 나노구조체를 제조함으로써, 대면적으로 고 종횡비와 균일성을 가지는 다양한 형상의 3차원 나노 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3차원 나노구조체의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 종횡비와 균일성을 가지는 3차원 나노구조체를 제조할 수 있고, 고분자 구조체의 패턴 및 형상을 조절함으로써 다양한 형상의 구조체 제조가 용이한 동시에 대면적으로 두께가 10nm 이하인 균일한 미세 나노구조를 형성할 수 있어 나노전자소자, 광학소자, 바이오소자, 에너지소자 등과 같은 미래의 나노소자의 높은 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020120001694A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020110064090
申请日：2011-06-29
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B22F7/04 , B81C1/00031 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C03C17/006 , C03C2217/42 , C03C2218/34 , C23C14/221 , G03F7/0002 , G03F7/0037 , Y10T428/24479 , Y10T428/24612
Abstract: PURPOSE: A three dimensional nano-structure and a method for manufacturing the same are provided to improve the aspect ratio and the uniformity of the three dimensional nano-structure based on an ion bombardment phenomenon. CONSTITUTION: An object material layer(120) and a polymer layer(130) are successively formed on a substrate(110). A pattered polymer structure(135) is formed in the polymer layer through a lithography process. The object material layer is ion-etched to form an object material-polymer complex structure. Ion etched objected materials(125) are attached on the outer circumference of the polymer structure in the object material-polymer complex structure. The object material-polymer complex structure is eliminated.
Abstract translation: 目的：提供三维纳米结构及其制造方法，以改善基于离子轰击现象的三维纳米结构的纵横比和均匀性。 构成：在基板（110）上依次形成物体层（120）和聚合物层（130）。 通过光刻工艺在聚合物层中形成图案化聚合物结构（135）。 对象材料层被离子蚀刻以形成目标材料 - 聚合物复合结构。 离子蚀刻的被摄体材料（125）以目标材料 - 聚合物复合结构附着在聚合物结构的外圆周上。 消除了目标材料 - 聚合物复合结构。
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公开(公告)号：KR1020160061482A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020140163322
申请日：2014-11-21
CPC classification number: A61K49/226 , A61K9/16
Abstract: 본발명은선택적투과도를가지며, 타겟물질과의결합속도를높일수 있는표면증강라만산란표지용하이드로젤의제조방법및 이에의한하이드로젤미세입자에관한것이다. 본발명의표면증강라만산란표지용하이드로젤은타겟물질만선택적으로투과시켜시료의전처리과정을없앨수 있고, 내부의금속입자가오염되는것도방지할수 있다. 본발명의표면증강라만산란표지용하이드로젤은기판형태가아닌마이크로젤형태(입자형태)이기때문에주사(injection) 및혼합이가능하므로타겟물질과의결합속도를높일수 있다. 또한, 본발명의하이드로젤은내부에금속나노입자를담지하는간단한구조이므로제조가용이하고대량생산이용이하다. 본발명의하이드로젤미세입자는크기가수십내지수백마이크로미터로작아시료에직접적인분산이가능하며, 분리및 농축이용이하다. 또한, 하이드로젤에자성입자를도입하여자기장에의한분리도가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备表面增强拉曼散射标签的水凝胶的方法，其具有选择性渗透性并且可以增加与靶材料的结合速率，以及由此获得的水凝胶微粒。 用于表面增强拉曼散射标签的水凝胶仅允许目标材料的选择性渗透，以避免对样品进行预处理并防止内部金属颗粒的污染。 由于用于表面增强拉曼散射的标签的水凝胶不是晶片的形式，而是微凝胶（颗粒）的形式，因此可以注入和混合，从而增加与靶材料的结合速率。 此外，水凝胶具有简单的结构，其中包含金属纳米颗粒，因此可以容易地获得并且可以批量生产。 水凝胶微粒具有数十至几百微米的小尺寸以允许直接分散并促进分离和浓缩。 此外，将磁性颗粒引入到水凝胶中以允许基于磁场的分离。
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公开(公告)号：KR101249981B1
公开(公告)日：2013-04-05
申请号：KR1020110064090
申请日：2011-06-29
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B22F7/04 , B81C1/00031 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C03C17/006 , C03C2217/42 , C03C2218/34 , C23C14/221 , G03F7/0002 , G03F7/0037 , Y10T428/24479 , Y10T428/24612
Abstract: 본 발명은 3차원 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 패턴화된 고분자 구조체의 외주면에 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 적용하여 목적물질을 부착시킨 목적물질-고분자 복합구조체를 형성시킨 다음, 상기 목적물질-고분자 복합구조체의 고분자를 제거하여 나노구조체를 제조함으로써, 대면적으로 고 종횡비와 균일성을 가지는 다양한 형상의 3차원 나노 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 3차원 나노구조체의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 종횡비와 균일성을 가지는 3차원 나노구조체를 제조할 수 있고, 고분자 구조체의 패턴 및 형상을 조절함으로써 다양한 형상의 구조체 제조가 용이한 동시에 대면적으로 두께가 10nm 이하인 균일한 미세 나노구조를 형성할 수 있어 나노전자소자, 광학소자, 바이오소자, 에너지소자 등과 같은 미래의 나노소자의 높은 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.
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