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公开(公告)号：KR102222772B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190122140A
申请日：2019-10-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C14/20 , C23C14/3442 , B82B3/0009 , B01J23/8926 , B01J23/8966 , B01J35/02 , B01J37/0215 , B82B1/005 , C23C14/221 , C23C14/5833 , C23C14/5873 , G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 이차 스퍼터링 현상을 이용하여 고분자 패턴이 형성된 기판에 다성분 물질의 필름을 증착한 다음, 2회의 이온식각공정을 통해 규칙적인 배열을 가지며, 다양한 조성의 조합이 가능한 다성분계 나노패턴을 제작할 수 있으며, 규칙적으로 배열된 다성분계 나노구조체를 필요로 하는 트랜지스터, 유기광전자소자, 촉매, 가스 센서 등의 응용 분야에 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2009157739A2
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/KR2009/003482
申请日：2009-06-26
IPC: C01B31/02
CPC classification number: G01N33/5438 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/194 , C12Q1/004
Abstract: 본 발명은 전도성 그라핀(graphene)을 이용한 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학작용기를 이용하여 제조된 전도성 그라핀 또는 상기 전도성 그라핀을 기질상에 높은 표면 밀도를 가지도록 반복 적층시킨 전도성 그라핀 필름에 표적 바이오물질과 선택적으로 결합하는 바이오 리셉터가 부착되어 있는 전도성 그라핀을 이용하는 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전도성 그라핀 바이오센서는 표면적이 넓고, 전기전도도 성질이 우수하여 DNA와 같은 생물분자의 고정화 양을 높일 수 있고, 생물분자에 대한 검출 민감도를 증대시키는 것이 가능하다. 또한, 다양한 표적 바이오분자들을 직접 검출하거나, 전기화학적 신호를 측정함으로써, 바이오 물질과 바이오 리셉터의 반응을 정확히 한번에 대량으로 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 소량의 원료(source)만으로도 정확한 측정치를 얻을 수 있는 검출법을 도입하는 것이 가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用导电石墨烯的生物传感器及其制备方法，更具体地说，涉及一种生物传感器及其制备方法，该生物传感器及其制备方法使用使用化学官能团或连接有生物受体的导电石墨制备的导电石墨烯， 生物受体被选择性地组合到层叠的导电石墨烯膜上的目标生物材料上，所述层压导电石墨烯膜与导电石墨烯重复地重叠以在基底上具有高的表面密度。 根据本发明的导电石墨烯生物传感器具有大的表面积和优异的导电性，因此可以增加DNA等生物分子的固定化率，提高生物分子的检测灵敏度。 另外，通过直接检测各种目标生物分子或检测电化学信号，本发明可以一次性地大规模地精确地检测生物材料和生物感应器的反应，并且可以引入检测方法，通过该方法进行精确的测量，甚至少量 的来源，可以获得。
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公开(公告)号：WO2016114501A2
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：PCT/KR2015/013479
申请日：2015-12-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B82B3/00
CPC classification number: B32B3/18 , B32B3/26 , B32B37/02 , B32B37/06 , B32B37/08 , B32B37/144 , B32B38/10 , B32B2037/243 , B32B2255/24 , B32B2310/0831 , B32B2457/00 , C23C16/44 , H01L31/022466 , H01L31/1884 , H01L33/42 , H01L51/0035 , H01L51/0049 , H01L51/0076 , H01L51/0095 , H01L51/424 , H01L51/444 , H01L51/5206 , H01L51/5234 , H01L2933/0016 , Y02E10/549
Abstract: 본 발명은 대면적 단일 도메인으로 배열된 유기분자의 수직원기둥 또는 라멜라 구조체의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 여러 개의 도메인(domain)을 가지고 있어 배열방향이 일정하지 않은 유기분자를 바닥기판과 상부기판 사이에 배열한 다음, 등방성전이온도 이상으로 열처리하여 처음과는 다른, 새로운 배열을 가지게 하는 대면적 단일 도메인으로 배열된 유기분자의 수직원기둥 또는 라멜라 구조체의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 대면적 단일 도메인으로 배열된 유기분자의 수직원기둥 또는 라멜라 구조체는 대면적 단일 도메인으로 완벽하게 수직원기둥형상을 가지게 되며, 기판의 특성에 관계없이 평평한 기판 사이에서 공간적으로 제한되어 열처리과정을 거치게 되므로, 고온 또는 용제를 이용한 배열에 비하여 빠르고 효율적으로 나노 구조체를 형성하는 것에 유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制备排列成大尺寸单结构域的有机分子的垂直圆柱形或层状结构的方法，更具体地说，涉及制备布置成大尺度单结构的有机分子的垂直圆柱形或层状结构的方法， 尺寸单畴，在底部基板和上基板之间布置具有不规则排列方向的多个畴的有机分子的方法，然后在高于或等于各向同性的温度下对其进行热处理 转变温度，从而使有机分子具有与原始分子不同的新配置。 通过本发明的制备方法制备的排列成大尺寸单结构域的有机分子的垂直圆柱形或层状结构在大尺寸单结构域中具有完全垂直的圆柱形状并经过热处理工艺，同时 空间上限制在平面基板之间，而与基板特性无关，因此与通过使用高温或溶剂形成的布置相比，可以有效地快速有效地形成纳米结构。
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公开(公告)号：WO2013094804A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/KR2012/000248
申请日：2012-01-11
CPC classification number: G01N21/21 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/184 , G01N21/23
Abstract: 본 발명은 그래핀 결정면의 광학적 시각화 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 측정대상 그래핀 층을 기판상에 형성하고, 형성된 측정대상 그래핀 층상에 액정 층을 형성시킨 다음, 형성된 네마틱 액정 층의 광학적 특성을 측정함으로써, 그래핀의 도메인과 경계면을 광학적으로 시각화할 수 있는 그래핀 결정면의 광학적 시각화 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 결정면의 광학적 시각화 방법은 종래의 그래핀 결정면을 관찰하는 방법에 비해 간단하고, 손쉬운 액정 코팅방법을 사용함으로써 그 작업이 단순하고 시간과 비용이 줄어드는 동시에 편광현미경 등으로 관찰 가능한 범위의 매우 넓은 영역의 결정구조를 확인할 수 있어 그래핀 특성을 연구하는데 매우 유용하게 사용할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于光学可视化晶体石墨烯的表面的方法，更具体地说，涉及一种通过在衬底上形成待观察的石墨烯层来在晶体石墨烯的表面上光学可视化的方法，在其上形成液晶层 形成的石墨烯层; 并测量所形成的向列型液晶层的光学特性，从而光学可视化石墨烯的畴和边界表面。 与用于观察晶体石墨烯表面的现有方法相比，根据本发明的用于光学可视化晶体石墨烯的表面的方法比使用方便的液晶涂层法更简单并且需要更少的时间和成本的方法 ，并且通过偏光显微镜观察到在一定范围内的非常大的晶体结构区域，因此可以非常有用于研究石墨烯的特性。
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公开(公告)号：WO2012177040A3
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/KR2012/004863
申请日：2012-06-20
IPC: H01B13/00 , G02F1/1343 , H01B5/14
Abstract: 본 발명은 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 이용하여 투명전극상에 고 분해능(high resolution)과 고 종횡비(high aspcet ratio)를 가지는 나노구조 패턴을 형성시킴으로써, 투명전극의 전도성 및 광투과성의 저하 없이 우수한 액정 배향특성을 나타내는 나노구조 패턴이 형성된 투명전극 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노구조 패턴이 형성된 투명전극의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 다양한 종횡비와 균일성을 가지는 액정의 프리틸트가 형성된 투명전극을 제조할 수 있고, 투명전극으로 직접 액정을 배향시킴으로써 광 투과성이 높을 뿐만 아니라, 저항값 또한 낮아 액정 배향 특성 및 안정성을 향상시켜 제품 성능을 개선할 수 있을 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 투명전극이 형성된 두 개의 기판의 배열로 액정의 배향을 원하는 방향으로 정밀하게 조절할 수 있어 다양한 디스플레이 소자에 응용할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2012002717A3
公开(公告)日：2012-01-05
申请号：PCT/KR2011/004735
申请日：2011-06-29
Abstract: 본 발명은 3차원 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 패턴화된 고분자 구조체의 외주면에 물리적 이온 식각공정을 통한 이온 봄바드먼트(ion bombardment) 현상을 적용하여 목적물질을 부착시킨 목적물질-고분자 복합구조체를 형성시킨 다음, 상기 목적물질-고분자 복합구조체의 고분자를 제거하여 나노구조체를 제조함으로써, 대면적으로 고 종횡비와 균일성을 가지는 다양한 형상의 3차원 나노 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3차원 나노구조체의 제조방법은 물리적 이온 식각을 통한 이온 봄바드먼트 현상을 적용하여 제조됨으로써 간단한 공정과 저렴한 비용으로 높은 종횡비와 균일성을 가지는 3차원 나노구조체를 제조할 수 있고, 고분자 구조체의 패턴 및 형상을 조절함으로써 다양한 형상의 구조체 제조가 용이한 동시에 대면적으로 두께가 10nm 이하인 균일한 미세 나노구조를 형성할 수 있어 나노전자소자, 광학소자, 바이오소자, 에너지소자 등과 같은 미래의 나노소자의 높은 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2019124625A1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：PCT/KR2018/000733
申请日：2018-01-16
IPC: G01N27/12 , H01L21/285 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은 맥신을 이용한 케미레지스터 가스센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, Ti 3 C 2 T x 맥신 박막을 형성하여 이를 센서 기판상에 전사하는 방식을 통해 제조되는 반응성 및 민감도가 높은 케미레지스터 가스센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2012046896A1
公开(公告)日：2012-04-12
申请号：PCT/KR2010/006877
申请日：2010-10-07
IPC: G03F7/20 , B81B7/04 , G02F1/1337
CPC classification number: G02B1/10 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02B1/118 , G02B3/0037 , G02F1/1313 , G02F1/133723 , G02F2001/294 , G03F7/0002 , G03F7/165
Abstract: 본 발명은 액정(liquid crystal)의 다양한 상(phase) 또는 결함(defect) 구조를 이용하여 마이크로 또는 나노 크기 패턴을 형성하는 방법 및 이러한 방법으로 제조된 마이크로렌즈 어레이(microlens arrays)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기조립 가능 액정의 상 또는 결함을 규칙적인 구조로 형성시키고, 액정 배향에 따른 굴절률 변화 또는 표면 구조를 이용하여 광학 또는 연성 리소그래피를 위한 마스크로 활용할 수 있는 패턴 형성 방법 및 마이크로렌즈 어레이에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 액정분자의 상 또는 결함 구조를 이용한 패턴 형성 방법, 마이크로렌즈 어레이의 제조방법 및 연성 리소그래피 패턴 형성 방법은, 액정의 높은 유동성(mobility) 때문에 기존의 방식에 비하여 매우 빠르게 패턴을 형성하는 것이 가능하며, 제작공정이 간단하고 비용이 절감되는 장점이 있다. 한번 만들어진 액정 패턴은 반영구적으로 사용할 수 있다. 또한, 액정의 상 또는 결함을 외부 전기장 또는 자기장이나 액정분자층의 높이 등으로 간단하게 조절할 수 있기 때문에, 새로운 형태의 패턴으로 손쉽게 변화, 제어할 수 있는 장점이 있다. 또한, 직접적인 관찰이 매우 어려운 액정의 내부구조 및 배향에 대한 정보를 전사시킴으로써, 그 내부구조 해석에 대한 새로운 기법을 제시할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用各种液晶相或缺陷结构形成微米或纳米尺度图案的方法，以及使用该方法制备的微透镜阵列的方法，更具体地说，涉及用于形成图案的方法和微透镜阵列，其可以是 用于形成用于自组装液晶相或缺陷的规则结构，并且其可以通过使用表面结构或从液晶取向的折射率变化而用作光学或软光刻的掩模。 根据使用液晶相或缺陷结构形成图案的方法，微透镜阵列的制造方法以及本发明的软光刻图案的形成方法，由于高的移动性，可以进行更快速的图案形成 液晶，制造工序简单，能够降低成本。 一旦制成，液晶图案可以半永久地使用。 由于可以通过外部电场，磁场或液晶分子层的高度容易地调节液晶相或缺陷，因此可能容易地改变和控制新图案。 此外，由于液晶的内部结构和取向非常难以直接观察，因此可以将其上的信息转录为用于解释所述内部结构的新技术。
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公开(公告)号：WO2016129782A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/KR2015/012377
申请日：2015-11-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/1343
CPC classification number: G02F1/1343
Abstract: 본 발명은 매크로 프리패턴이 형성된 기판을 에칭하여 프리패턴의 측면에 전도성 물질을 증착한 다음, 매크로 프리패턴을 제거하여 생성되는 투명전극의 제조방법과 상기 투명전극을 이용하는 수직 배향형 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 수직배향형 액정표시소자는 검은색이 거의 완벽히 구현되며, 배향막 없이 간단한 물리적 방법만으로 액정의 수직배향이 가능하여 고성능의 디스플레이 제조에 유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造透明电极的方法，该方法是通过蚀刻形成有宏观预制图案的基板而产生的，在预图案的侧面上沉积导电材料，然后去除宏预制图案 以及使用该透明电极的垂直取向液晶显示装置的制造方法。 使用本发明的制造方法制造的垂直排列的液晶显示装置几乎完美地实现黑色，并且只能通过简单的物理方法使液晶垂直取向而不用取向膜，因此可用于生产 的高性能显示器。
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公开(公告)号：WO2016125996A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/012376
申请日：2015-11-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 매크로 프리패턴이 형성된 기판을 에칭하여 매크로 프리패턴의 측면에 편광물질을 증착한 다음, 매크로 프리패턴을 제거하여 수득하는 매크로 프리패턴을 이용한 편광 패널의 제조방법에 관한 것으로서, 대면적에 수십 나노미터 두께의 전도성 격벽을 매크로 프리패턴을 이용하여 이온 식각 공정을 통해 형성함으로써, 기존의 편광 패널에서 문제가 되었던 투명도를 획기적으로 개선할 수 있고, 편광도를 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 설계안과 같은 고정밀의 편광 패널을 손쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过使用宏观预制图来制造偏振片的方法，该偏振片是通过蚀刻具有宏观预制图案的基底而获得的，以便将偏振材料沉积在宏观预制片的侧表面上 模式，并通过删除宏预模式。 通过使用宏观预图案，通过离子蚀刻工艺在大面积上形成厚度为几十纳米的导电屏障，可以显着地减轻常规偏光板的有问题的透明度并且可以提高极化度 。 此外，本发明可以容易地制造设计图中的高精度偏光板等高精度偏光板。
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