公开(公告)号：KR101838277B1

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：KR1020160178058

申请日：2016-12-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이희철 ,  신영봉

IPC: G01J5/08 ,  C01G23/047

CPC classification number: G01J5/0853 ,  C01G23/047 ,  C01P2002/54

Abstract: 볼로미터용티타늄산화막및 그의제조방법, 티타늄산화막을이용한적외선감지소자가제공된다. 상기볼로미터용티타늄산화막은, M:TiO의조성비를갖는산화물로서, M은니오븀(niobium) 또는 n형도펀트(n-type dopant)이고, 상기 x는 0.005≤x≤0.2이고, 상기 y는 0≤y≤0.5이다.

Abstract translation: 一种用于辐射热测量计的氧化钛膜，其制造方法以及使用氧化钛膜的红外线感测装置。 对于辐射热测量计的氧化钛是，M：具有TiO的组成比的氧化物，M为铌（铌）或n型掺杂物（n型掺杂剂），其中x为0.005≤x≤0.2，其中y是0≤ y？0.5。