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公开(公告)号：KR101632622B1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：KR1020140172028
申请日：2014-12-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B23K1/20 , B23K1/0056 , C23C18/1216 , C23C18/14
Abstract: 본발명은기능성금속산화물솔더링방법및 이에의해제조된전자소자에관한것으로, 더욱상세하게는펄스레이저를이용한수열합성방법으로솔더구조물을성장시킬수 있으며자외선센서에이용가능한기능성금속산화물솔더링방법및 이에의해제조된전자소자에관한것이다. 본발명에따르면, 펄스레이저를사용함으로인해레이저에서발생되는열확산을제한하여, 펄스레이저에의해수열합성의방법으로밀도가높으며, 형태를정밀하게조절할수 있는나노솔더를제조할수 있어나노구조물의접합을더욱용이하게할 수있으며, 또한, 이를나노구조물사이에형성함으로써기능성이구비된금속산화물구조로사용가능하다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130132033A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：KR1020120056093
申请日：2012-05-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: The present invention relates to a method for preparing a zinc oxide nanorod pattern and a zinc oxide nanorod pattern prepared thereby. The present invention provides the method for preparing the zinc oxide nanorod pattern, which comprises: a step of forming a zinc oxide seed layer on a substrate (step 1); a step of preparing a precursor solution for hydrothermal synthesis by mixing a zinc precursor solution with an amine compound solution (step 2); a step of dropping the precursor solution manufactured at step 2 to the substrate in which the seed layer is formed at step 1 (step 3); and a step of concurrently growing and patterning the nanorod by irradiating the substrate of step 3 with laser (step 4). The zinc oxide nanorod pattern according to the present invention can be used in concurrently growing and patterning the nanorod using hydrothermal synthesis and laser irradiation and can be easily used for manufacturing microelectronic devices, photoelectric elements, optical storages, chemical sensors, biosensors, and the like by manufacturing patterns using the zinc oxide nanorod with desired size and density by adjusting laser irradiation time. [Reference numerals] (AA) Zinc oxide seed layer;(BB) Zinc oxide nanorod;(CC) Objective lens;(DD) Transparent substrate;(EE) Metal thin film
Abstract translation: 本发明涉及一种制备由此制备的氧化锌纳米棒图案和氧化锌纳米棒图案的方法。 本发明提供了制备氧化锌纳米棒图案的方法，其包括：在基材上形成氧化锌种子层的步骤（步骤1）; 通过将锌前体溶液与胺化合物溶液混合来制备用于水热合成的前体溶液的步骤（步骤2）; 在步骤2中将步骤2制备的前体溶液滴加到其中形成种子层的基底上的步骤（步骤3）; 以及通过用激光照射步骤3的基板同时生长和图案化纳米棒的步骤（步骤4）。 根据本发明的氧化锌纳米棒图案可用于使用水热合成和激光照射同时生长和图案化纳米棒，并且可以容易地用于制造微电子器件，光电元件，光学存储器，化学传感器，生物传感器等 通过调整激光照射时间，通过制造具有所需尺寸和密度的氧化锌纳米棒的图案。 （附图标记）（AA）氧化锌种子层;（BB）氧化锌纳米棒;（CC）物镜;（DD）透明基板;（EE）金属薄膜
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公开(公告)号：KR1020160067258A
公开(公告)日：2016-06-14
申请号：KR1020140172028
申请日：2014-12-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B23K1/20 , B23K1/0056 , C23C18/1216 , C23C18/14 , H01L21/00 , B82B3/00 , H01L21/64 , H01L21/67126 , H01L2021/60007
Abstract: 본발명은기능성금속산화물솔더링방법및 이에의해제조된전자소자에관한것으로, 더욱상세하게는펄스레이저를이용한수열합성방법으로솔더구조물을성장시킬수 있으며자외선센서에이용가능한기능성금속산화물솔더링방법및 이에의해제조된전자소자에관한것이다. 본발명에따르면, 펄스레이저를사용함으로인해레이저에서발생되는열확산을제한하여, 펄스레이저에의해수열합성의방법으로밀도가높으며, 형태를정밀하게조절할수 있는나노솔더를제조할수 있어나노구조물의접합을더욱용이하게할 수있으며, 또한, 이를나노구조물사이에형성함으로써기능성이구비된금속산화물구조로사용가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种功能金属氧化物焊接方法及其制造的电子器件，更具体地，涉及一种功能性金属氧化物焊接方法，其可以通过使用脉冲激光器的水热合成来生长焊料结构，并且可以用于 紫外线传感器，以及由其制造的电子设备。 根据本发明，功能性金属氧化物焊接方法可以通过脉冲激光的水热合成来制造高密度的纳米焊料并能够精确地调整其形状，同时限制由激光产生的激光产生的热扩散 使用脉冲激光。 因此，可以更容易地进行纳米结构的结合。 此外，纳米焊料可以用作具有在纳米结构之间形成的官能团的金属氧化物结构。
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公开(公告)号：KR101340953B1
公开(公告)日：2013-12-13
申请号：KR1020120056093
申请日：2012-05-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 산화아연 나노로드 패턴의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 산화아연 나노로드 패턴에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 기판상에 산화아연 씨앗층을 형성하는 단계(단계 1); 아연 전구체 수용액 및 아민류 화합물 수용액을 혼합하여 수열합성용 전구용액을 제조하는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 제조된 전구용액을 상기 단계 1에서 씨앗층이 형성된 기판 위에 적가하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3의 기판에 레이저를 조사하여 나노로드의 성장 및 패터닝을 동시에 수행하는 단계(단계 4)를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노로드 패턴의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 산화아연 나노로드 패턴은 수열합성법 및 레이저 조사를 이용하여 산화아연 나노로드의 성장 및 패터닝을 동시에 수행할 수 있고, 레이저 조사시간을 조절하여 원하는 크기 및 밀도의 산화아연 나노로드 무리로 패턴을 제조하여 마이크로 전자장치, 광전소자, 광학기억장치, 화학센서 및 바이오센서 등을 제작하는 데 용이하게 사용될 수 있다.
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公开(公告)号：KR101437769B1
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：KR1020130025535
申请日：2013-03-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01P7/10
CPC classification number: H01P7/10 , H01P1/163 , H01P7/105 , H01P11/008
Abstract: A flat resonator according to an embodiment comprises a metal layer, a dielectric layer formed on the metal layer, having optical gain properties, and focusing an electromagnetic field on the surface by the metal layer; and multiple nanowires formed on the dielectric layer and interacting with the electromagnetic field on the surface of the dielectric layer to form the resonator.
Abstract translation: 根据实施例的平坦谐振器包括金属层，形成在金属层上的电介质层，具有光学增益特性，并且通过金属层将电磁场聚焦在表面上; 和多个纳米线形成在电介质层上并与电介质层表面上的电磁场相互作用以形成谐振器。
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