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公开(公告)号：KR1020060117461A
公开(公告)日：2006-11-17
申请号：KR1020050039244
申请日：2005-05-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C23C16/453 , C23C16/00
Abstract: A thin film deposition system using a new electrostatic spray deposition method comprising a nozzle, a ring and a substrate to obtain a more optimized deposition method for improving demerits of existing combustion chemical vapor deposition method and electrostatic spray deposition method and using a plate-like premixed flame and a substrate heating heater as energy sources for evaporation and chemical reaction of a precursor is provided. A thin film deposition system using an electrospray-assisted combustion CVD(Chemical Vapor Deposition) method comprises: a honeycomb burner(10) through which a gas fuel such as methane or acetylene and an oxidizer such as oxygen pass to form a flame(100) in a lower portion of the honeycomb burner; an oxidizer feeder(90) for feeding an oxidizer to the honeycomb burner; a nozzle type capillary(20) which is installed by passing through one side of the honeycomb burner, and which transfers a precursor solution; an injector pump(30) for supplying a precursor solution through the capillary; and a substrate(50) spaced from an output end of the capillary so that the precursor is adhered to the substrate as a thin film form after a precursor outputted from an electrode of the capillary is evaporated and chemically reacted by a flame formed on an output end of the honeycomb burner.
Abstract translation: 一种使用新型静电喷雾沉积方法的薄膜沉积系统，其包括喷嘴，环和基底，以获得更优化的沉积方法，用于改善现有燃烧化学气相沉积方法和静电喷雾沉积方法的缺点，并使用板状预混合 火焰和作为前体蒸发和化学反应的能量源的基板加热加热器。 使用电喷雾辅助燃烧CVD（化学气相沉积）方法的薄膜沉积系统包括：蜂窝燃烧器（10），诸如甲烷或乙炔的气体燃料和氧气等氧化剂通过该蜂窝燃烧器（10）形成火焰（100） 在蜂窝式燃烧器的下部; 用于将氧化剂供给到蜂窝式燃烧器的氧化剂给料器（90） 喷嘴型毛细管（20），其通过穿过蜂窝式燃烧器的一侧而安装，并且转移前体溶液; 用于通过所述毛细管供应前体溶液的注射器泵（30） 以及与毛细管的输出端间隔开的基板（50），使得在从毛细管的电极输出的前体蒸发并通过形成在输出端上的火焰化学反应后，前体作为薄膜形式粘附到基板 蜂窝式燃烧器的端部。
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公开(公告)号：KR1020120095550A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：KR1020110014930
申请日：2011-02-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: An apparatus for removing foreign materials is provided to immediately remove ores stuck on a bucket during an unloading process and to obtain high working efficiency by reducing the generation of the stuck ores. CONSTITUTION: An apparatus for removing foreign materials comprises a scraping member(10) and a driving arm. The scraping member is mounted on a bucket(20) used in a continuous unloader and removes foreign materials(200) formed on the bucket. The driving arm is arranged in the outside of the bucket and allows the scraping member to generate a slip motion according to the movement of the bucket.
Abstract translation: 目的：提供一种去除异物的设备，用于在卸载过程中立即清除卡在铲斗上的矿石，并通过减少产生的矿石来获得高工作效率。 构成：用于除去异物的装置包括刮削构件（10）和驱动臂。 刮铲构件安装在连续卸载机中使用的铲斗（20）上，并且除去形成在铲斗上的异物（200）。 驱动臂布置在铲斗的外部，并且允许刮削构件根据铲斗的移动产生滑动。
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公开(公告)号：KR101238611B1
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：KR1020110014930
申请日：2011-02-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 버켓의 이물질 제거 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 버켓에 형성되는 이물질로 인한 작업 효율 저하를 방지하기 위해 안출된 것으로서, 특히 하역 작업을 하는 과정에서 버켓에 발생하는 이물질의 양을 획기적으로 감소시키고, 발생한 이물질도 하역 과정을 진행하는 도중에 제거할 수 있는 버켓의 이물질 제거 장치에 관한 것이다. 특히 별도의 세척 공정을 거치지 않고 이물질을 제거할 수 있으므로, 경제성을 높이는 친환경적인 이물질 제거 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR100684275B1
公开(公告)日：2007-02-20
申请号：KR1020050039244
申请日：2005-05-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C23C16/453 , C23C16/00
Abstract: 본 발명은 세라믹 및 금속 폴리머 박막 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 세라믹 및 금속 폴리머 박막을 제공함에 있어서 기존의 졸-겔법, CVD/PVD법, 그리고 에어로졸 기술을 이용한 화염증착법이나 정전 스프레이 박막 제조법과 비교하여 보다 경제적이고 박막 미세구조 제어 성능이 우수하며 고품질의 다성분계 박막을 제공하는 것을 특징으로 하는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막과 후막 제조장치에 관한 것으로,
메탄이나 아세틸렌등의 가스연료와 산소 등의 산화제를 통과시켜 하단에 화염을 형성시키는 벌집형태의 허니콤 버너와; 상기 허니콤 버너에 산화제를 공급하는 산화제 공급장치와; 상기 하니콤 버너의 일측에 관통하여 설치되며, 전구체 용액을 이송시키는 노즐 형태의 모세관과; 상기 모세관을 통해 전구체 용액을 공급하는 주사기 펌프와; 상기 모세관 출력단에 일정거리 이격되어 설치되며, 모세관 전극으로부터 출력되는 전구체가 허니콤 버너의 출력단에 형성되는 화염에 의해 증발 및 화학 반응이 유도된후 박막 형태로 고착되도록 하는 기판을 포함하여 구성함이 특징이다.
정전분무, 화염증착법, 박막, 제조
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