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公开(公告)号：KR1020060003686A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020040052670
申请日：2004-07-07
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/30
CPC classification number: H01J27/024
Abstract: The present invention relates to an apparatus for focusing particle beams using a radiation pressure capable of obtaining the same flow amount and a narrower particle beam width with respect to the particle size and a higher numeral density. It is possible to form the particle beams by applying the radiation pressure to the particles with respect to the flow condition that cannot form the particle beams with respect to the set particle sizes. There is provided an apparatus for focusing particle beams using a radiation pressure, comprising an orifice part that is provided at a predetermined portion of the flow tube, and a lens having a hole with a predetermined diameter for thereby focusing the particle flow into a particle beam and applying a radiation pressure to the flow particles; and a light source supply part (A) provided at a portion opposite to the discharge outlet of the mixing tube.
Abstract translation: 本发明涉及一种利用辐射压力聚焦粒子束的设备，该设备能够获得相对于粒径和较高数值密度的相同流量和较窄粒子束宽度。 关于不能形成粒子束的流动条件，相对于设定的粒径，可以通过对粒子施加辐射压力来形成粒子束。 提供一种利用辐射压力聚焦粒子束的设备，包括设置在流管的预定部分处的孔口部分和具有预定直径的孔的透镜，从而将粒子流聚焦成粒子束 并对流动粒子施加辐射压力; 和设置在混合管的排出口的相反侧的光源供给部（A）。
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公开(公告)号：KR1020050006848A
公开(公告)日：2005-01-17
申请号：KR1020030046820
申请日：2003-07-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B05B5/025
Abstract: PURPOSE: An electrospray device having a guard plate of an insulated electric potential and a method thereof are provided to produce a uniform charged microdroplet sprayed using an electrospray unit and control the spray angle of a uniform charge microdroplet sprayed via a capillary. CONSTITUTION: The electrospray device comprises: a metal capillary(10) into which a working fluid is supplied; a metal guard plate(40) which is penetrated by the capillary(10) so as to expose one region and vertically coupled thereto; an insulating member(20) coated on a penetrated region so that the capillary(10) is insulated with respect to the guard plate(40); a ground plate(50) located facing one face of the guard plate(40) at a predetermined gap; and an insulating holder(30) armored on the capillary(10) located at the top part of the guard plate(40).
Abstract translation: 目的：提供具有绝缘电位保护板的电喷装置及其方法，以产生使用电喷雾装置喷射的均匀带电微滴，并控制通过毛细管喷射的均匀电荷微滴的喷雾角度。 构成：电喷射装置包括：金属毛细管（10），供应工作流体; 金属防护板（40），其被毛细管（10）穿透以暴露一个区域并垂直耦合到其上; 涂覆在穿透区域上的绝缘构件（20），使得毛细管（10）相对于防护板（40）绝缘; 接地板（50），其以预定间隙面向所述防护板（40）的一个面; 以及位于所述防护板（40）的顶部的毛细管（10）上的铠装的绝缘支架（30）。
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公开(公告)号：KR100583768B1
公开(公告)日：2006-05-26
申请号：KR1020040052670
申请日：2004-07-07
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/30
CPC classification number: H01J27/024
Abstract: 본 발명은 같은 유량조건과 입자크기에 대해 보다 좁은 입자빔 폭을 얻을 수 있고 결과적으로 보다 높은 수농도를 얻을 수 있으며, 주어진 입자 크기에 대해 입자빔을 형성할 수 없는 유동조건에 대해서도 광압을 입자에 가하여 입자빔을 형성할 수 있고 반대로 주어진 유동조건에 대해 입자빔을 형성할 수 없는 입자의 크기에 대해서도 입자빔을 형성할 수 있도록 하는 광압을 이용한 입자빔 집속장치를 제공하는 것이다. 이를 위하여 본 발명은 입자발생기와 입자발생기에 연결된 믹싱관 및 믹싱관의 토출측에 결합된 튜브를 포함하는 입자빔 집속장치에 있어서, 튜브의 소정위치에 구비되어 입자흐름을 입자빔으로 결속시킴과 동시에 유동입자에 광압을 가할 수 있도록 중심에 소정 직경의 구멍이 형성된 렌즈로 구성된 오리피스부; 및 믹싱관의 토출측의 대향측부에 구비된 광원공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
입자빔, 집속장치, 오리피스부, 광압, 렌즈, 유동튜브-
公开(公告)号：KR1020060003450A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020040052336
申请日：2004-07-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성방법 및 생성장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성방법에 있어서, 금속을 가열하여 금속 증기를 발생시키는 단계, 코로나 방전을 통하여 아르곤 기체를 이온화시키는 단계 및 발생한 이온이 핵으로 작용하여 금속 증기가 응축함으로써 금속 나노 입자가 생성되는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성장치에 있어서 금속 증기를 발생시키기 위한 증발 챔버, 아르곤 기체를 이온화시키기 위한 코로나 방전장치 및 발생한 이온과 금속 증기가 응축하여 생성된 금속 나노 입자가 부착되는 부착 챔버로 구성된 것을 특징으로 하는 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노입자 생성방법 및 생성장치에 의하면 종래 동질 응축에 의한 나노 입자 기상합성법에 비해 나노 입자의 단분산도를 높일 수 있고 열역학적인 조건의 변화 없이 전기적인 제어를 통해 이온 핵의 농도를 조절함으로써 보다 효율적이고 경제적인 방법으로 입자 특성을 조절할 수 있으며, 이에 따라 금속 나노 입자의 대량 생산을 유리하게 할 수 있는 효과를 달성한다.
이온 핵, 노즐 빔, 나노 입자, 동질응축, 이질응축, 코로나 방전, 기상합성법, 금속 증기, 방출 전류, 패터닝, 에어로졸 에칭, 박막, 코팅.Abstract translation: 本发明涉及一种更特别地是通过使用离子核和产生装置的喷嘴光束纳米颗粒生成方法的喷嘴束汽相合成产生的金属纳米粒子，其包括以下步骤的方法：加热金属产生的金属蒸气，电晕放电 将氩气离子化通过金属离子，并使金属离子充当晶核以冷凝金属蒸气以生成金属纳米粒子。 在另一个方面，本发明是通过电晕放电装置和所述离子和金属蒸气产生的金属纳米粒子被冷凝用于电离蒸发室，用于产生在该装置中的金属蒸汽通过的喷嘴束汽相合成产生的金属纳米颗粒的氩气 并且附着有纳米颗粒的附着室。 根据喷嘴束产生纳米颗粒的方法使用离子核和产生根据本发明可以增加单分散纳米颗粒系统根据传统的均质缩合和电气控制，而不改变热力学条件也相比于纳米粒子气相合成 通过控制离子核浓度，可以通过更有效和经济的方法来控制颗粒特性，从而达到有利于大规模生产金属纳米颗粒的效果。
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公开(公告)号：KR100507838B1
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：KR1020030046820
申请日：2003-07-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B05B5/025
Abstract: 본 발명은 정전분무기를 이용하여 분무되는 대전된 균일한 미소 액적 생성 및 분무되는 대전된 균일한 미소 액적의 분무각도를 제어할 수 있는 독립전위 가드 판을 갖는 정전분무장치 및 그 방법에 관한 것으로, 내부를 통해 작동유체가 공급되는 모세관에 대하여 독립적인 전압이 인가된 가드판을 설치하여 모세관의 단부에 형성되는 콘젯-모드의 장점을 유지하면서 콘젯-모드를 안정화시키고 분무각을 자유롭게 조절할 수 있으며, 높은 하전량을 갖는 균일한 액적을 생성시킬 수 있는 특징이 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060117461A
公开(公告)日：2006-11-17
申请号：KR1020050039244
申请日：2005-05-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C23C16/453 , C23C16/00
Abstract: A thin film deposition system using a new electrostatic spray deposition method comprising a nozzle, a ring and a substrate to obtain a more optimized deposition method for improving demerits of existing combustion chemical vapor deposition method and electrostatic spray deposition method and using a plate-like premixed flame and a substrate heating heater as energy sources for evaporation and chemical reaction of a precursor is provided. A thin film deposition system using an electrospray-assisted combustion CVD(Chemical Vapor Deposition) method comprises: a honeycomb burner(10) through which a gas fuel such as methane or acetylene and an oxidizer such as oxygen pass to form a flame(100) in a lower portion of the honeycomb burner; an oxidizer feeder(90) for feeding an oxidizer to the honeycomb burner; a nozzle type capillary(20) which is installed by passing through one side of the honeycomb burner, and which transfers a precursor solution; an injector pump(30) for supplying a precursor solution through the capillary; and a substrate(50) spaced from an output end of the capillary so that the precursor is adhered to the substrate as a thin film form after a precursor outputted from an electrode of the capillary is evaporated and chemically reacted by a flame formed on an output end of the honeycomb burner.
Abstract translation: 一种使用新型静电喷雾沉积方法的薄膜沉积系统，其包括喷嘴，环和基底，以获得更优化的沉积方法，用于改善现有燃烧化学气相沉积方法和静电喷雾沉积方法的缺点，并使用板状预混合 火焰和作为前体蒸发和化学反应的能量源的基板加热加热器。 使用电喷雾辅助燃烧CVD（化学气相沉积）方法的薄膜沉积系统包括：蜂窝燃烧器（10），诸如甲烷或乙炔的气体燃料和氧气等氧化剂通过该蜂窝燃烧器（10）形成火焰（100） 在蜂窝式燃烧器的下部; 用于将氧化剂供给到蜂窝式燃烧器的氧化剂给料器（90） 喷嘴型毛细管（20），其通过穿过蜂窝式燃烧器的一侧而安装，并且转移前体溶液; 用于通过所述毛细管供应前体溶液的注射器泵（30） 以及与毛细管的输出端间隔开的基板（50），使得在从毛细管的电极输出的前体蒸发并通过形成在输出端上的火焰化学反应后，前体作为薄膜形式粘附到基板 蜂窝式燃烧器的端部。
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公开(公告)号：KR100730296B1
公开(公告)日：2007-06-19
申请号：KR1020050017494
申请日：2005-03-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 미세박막 코팅장치 및 방법에 있어서, 주로 LCD, PDP-TV 등 가정용 초대형 광학제품의 디스플레이 유리기판의 PR 코팅공정 및 반도체 웨이퍼의 PR 코팅공정, 그리고 다양한 기능을 갖는 마이크로-나노필름 공정에 활용이 가능한 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법에 관한 것으로,
내부에 소형슬릿으로 이루어진 용액공급라인을 형성하여 외부에서 공급되는 코팅 용액을 하부로 이송하는 판 형태의 금속슬릿 노즐과; 상기 금속슬릿 노즐의 상부 일단에 접속된 핀 형태로서 금속슬릿 노즐에 전원이 공급되도록 하여 금속슬릿 내부에 존재하는 용액에 전원을 공급하는 노즐 전극과; 상기 노즐 전극을 통해 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 1 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿 노즐의 하부 일단에 수평하게 연장된 금속 가드판과; 상기 금속 가드판 일단에 접속된 핀 형태로서 가드판에 전원을 인가하는 가드판 전극과; 상기 가드판 전극에 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 2 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿노즐의 출구 아래에 위치되는 기판과; 상기 기판을 장착하며 전기적으로 접지시키는 접지판을 포함하여 구성함이 특징이다.
슬릿노즐, 정전분사, 미소박막, 포토 레지스트 코팅-
公开(公告)号：KR100684275B1
公开(公告)日：2007-02-20
申请号：KR1020050039244
申请日：2005-05-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C23C16/453 , C23C16/00
Abstract: 본 발명은 세라믹 및 금속 폴리머 박막 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 세라믹 및 금속 폴리머 박막을 제공함에 있어서 기존의 졸-겔법, CVD/PVD법, 그리고 에어로졸 기술을 이용한 화염증착법이나 정전 스프레이 박막 제조법과 비교하여 보다 경제적이고 박막 미세구조 제어 성능이 우수하며 고품질의 다성분계 박막을 제공하는 것을 특징으로 하는 정전분무 화염증착법을 이용한 박막과 후막 제조장치에 관한 것으로,
메탄이나 아세틸렌등의 가스연료와 산소 등의 산화제를 통과시켜 하단에 화염을 형성시키는 벌집형태의 허니콤 버너와; 상기 허니콤 버너에 산화제를 공급하는 산화제 공급장치와; 상기 하니콤 버너의 일측에 관통하여 설치되며, 전구체 용액을 이송시키는 노즐 형태의 모세관과; 상기 모세관을 통해 전구체 용액을 공급하는 주사기 펌프와; 상기 모세관 출력단에 일정거리 이격되어 설치되며, 모세관 전극으로부터 출력되는 전구체가 허니콤 버너의 출력단에 형성되는 화염에 의해 증발 및 화학 반응이 유도된후 박막 형태로 고착되도록 하는 기판을 포함하여 구성함이 특징이다.
정전분무, 화염증착법, 박막, 제조-
公开(公告)号：KR1020060096759A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：KR1020050017494
申请日：2005-03-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1303 , H01L21/6715
Abstract: 본 발명은 미세박막 코팅장치 및 방법에 있어서, 주로 LCD, PDP-TV 등 가정용 초대형 광학제품의 디스플레이 유리기판의 PR 코팅공정 및 반도체 웨이퍼의 PR 코팅공정, 그리고 다양한 기능을 갖는 마이크로-나노필름 공정에 활용이 가능한 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법에 관한 것으로,
내부에 소형슬릿으로 이루어진 용액공급라인을 형성하여 외부에서 공급되는 코팅 용액을 하부로 이송하는 판 형태의 금속슬릿 노즐과; 상기 금속슬릿 노즐의 상부 일단에 접속된 핀 형태로서 금속슬릿 노즐에 전원이 공급되도록 하여 금속슬릿 내부에 존재하는 용액에 전원을 공급하는 노즐 전극과; 상기 노즐 전극을 통해 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 1 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿 노즐의 하부 일단에 수평하게 연장된 금속 가드판과; 상기 금속 가드판 일단에 접속된 핀 형태로서 가드판에 전원을 인가하는 가드판 전극과; 상기 가드판 전극에 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 2 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿노즐의 출구 아래에 위치되는 기판과; 상기 기판을 장착하며 전기적으로 접지시키는 접지판을 포함하여 구성함이 특징이다.
슬릿노즐, 정전분사, 미소박막, 포토 레지스트 코팅-
公开(公告)号：KR100566566B1
公开(公告)日：2006-03-31
申请号：KR1020040052336
申请日：2004-07-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성방법 및 생성장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성방법에 있어서, 금속을 가열하여 금속 증기를 발생시키는 단계, 코로나 방전을 통하여 아르곤 기체를 이온화시키는 단계 및 발생한 이온이 핵으로 작용하여 금속 증기가 응축함으로써 금속 나노 입자가 생성되는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성장치에 있어서 금속 증기를 발생시키기 위한 증발 챔버, 아르곤 기체를 이온화시키기 위한 코로나 방전장치 및 발생한 이온과 금속 증기가 응축하여 생성된 금속 나노 입자가 부착되는 부착 챔버로 구성된 것을 특징으로 하는 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노입자 생성방법 및 생성장치에 의하면 종래 동질 응축에 의한 나노 입자 기상합성법에 비해 나노 입자의 단분산도를 높일 수 있고 열역학적인 조건의 변화 없이 전기적인 제어를 통해 이온 핵의 농도를 조절함으로써 보다 효율적이고 경제적인 방법으로 입자 특성을 조절할 수 있으며, 이에 따라 금속 나노 입자의 대량 생산을 유리하게 할 수 있는 효과를 달성한다.
이온 핵, 노즐 빔, 나노 입자, 동질응축, 이질응축, 코로나 방전, 기상합성법, 금속 증기, 방출 전류, 패터닝, 에어로졸 에칭, 박막, 코팅.
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