公开(公告)号：WO2010055988A1

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：PCT/KR2009/004104

申请日：2009-07-23

Applicant: 한국과학기술원 ,  서중원 ,  임굉수 ,  박재우 ,  양지환 ,  강상정

Inventor： 서중원 ,  임굉수 ,  박재우 ,  양지환 ,  강상정

IPC: H01L27/115 ,  H01L21/8247

CPC classification number: H01L27/12 ,  G11C13/0007 ,  H01L21/84 ,  H01L27/1203 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1226 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1666

Abstract: 본 발명은 투명 전자소자용 투명 메모리에 관한 것으로서, 투명 기판 상에 순차적으로 형성된 하부 투명 전극층, 적어도 하나 이상의 투명 저항 변화 물질층으로 형성된 데이터 스토리지 영역 및 상부 투명 전극층을 포함하며, 상기 투명 저항 변화 물질층은, 상기 하부 투명 전극층과 상부 투명 전극층 사이에 소정의 전압 인가에 따른 저항 변화로 스위칭 특성을 가지고, 광학적 밴드갭(band-gap)이 3 eV 이상이며 가시광선 투과율이 80 %이상인 것을 특징으로 하는 투명 전자소자용 투명 메모리이며, 이와 같은 본 발명에 의해 투명도가 대단히 높고 낮은 스위칭 전압에서도 저항 변화에 따른 스위칭 특성을 가지며 또한 장기간이 경과한 후에도 저항 변화 메모리의 스위칭 특성을 유지할 수 있는 투명한 저항 변화 메모리를 제공할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及透明电子设备的透明存储器。 透明存储器包括：依次形成在透明基板上的下部透明电极层和由至少一个透明电阻变化材料层制成的数据存储区域和上部透明层。 透明电阻变化材料层由于在下部和上部透明电极层之间施加一定电压而引起的电阻变化的结果具有开关特性。 透明电阻变化材料层的光学带隙为3eV以上，可见光的材料层的透射率为80％以上。 本发明提供透明和电阻变化的存储器，其具有非常高的透明度和取决于低开关电压下的电阻变化的开关特性，并且可以在长时间经过之后保持其开关特性。

公开(公告)号：WO2015102409A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：PCT/KR2014/013119

申请日：2014-12-31

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완 ,  홍윤호

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0445

CPC classification number: H01L31/0463 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 집적형 박막 태양전지의 제조 장치는 진공 상태에서 복수의 단위 셀들이 전기적으로 직렬연결되는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치로서, 기판에 형성된 복수의 트렌치들 각각의 내부의 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 일측면 및 상기 일측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제1 도전층이 형성된 상기 기판상에 광전변환 물질을 방출하여 광전변환부를 형성하는 광전변환부 형성 공정챔버; 및 상기 트렌치들 각각의 내부의 또 다른 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 타측면 및 상기 타측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제2 도전층을 형성하는 제2 도전층 형성 공정챔버를 포함하고, 상기 광전변환부 형성 공정챔버 및 상기 제2 도전층 형성 공정챔버는 진공 상태에서 상기 각각의 공정을 수행할 수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的用于制造集成薄膜太阳能电池的装置是一种用于制造集成薄膜太阳能电池的装置，其中多个单电池在真空状态下串联电连接， 制造装置包括：光电转换单元形成处理室，其形成光电转换单元，该光电转换单元通过将光电转换材料发射到具有第一导电层的基板上，所述基板由形成在所述第一导电层上的多个沟槽的每一个内的一个基线形成 衬底到每个沟槽的底表面的区域，连接到底表面的一个侧表面和连接到一个侧表面的衬底的突出表面; 以及第二导电层形成处理室，其从每个沟槽内的另一条基线形成第二导电层，到每个沟槽的底表面的区域，连接到底表面的另一侧表面，以及突出的 连接到另一侧表面的基板的表面，其中光电转换单元形成处理室和第二导电层形成处理室能够以真空状态执行每个处理。

公开(公告)号：KR101028971B1

公开(公告)日：2011-04-19

申请号：KR1020090045804

申请日：2009-05-26

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: H01L31/0445

CPC classification number: H01L31/0392 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0465 ,  Y02E10/50

Abstract: 본 발명의 집적형 박막 태양전지의 제조 방법은 소정간격 이격된 트렌치들과, 상기 인접한 트렌치들 사이에 위치한 홈이 형성된 기판을 준비하는 단계, 상기 트렌치들 각각의 밑면 일부 및 일측면에 제1 도전성 물질을 일측으로부터 비스듬히 증착하여 제1 전극층을 형성하는 단계, 상기 기판 및 상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계, 상기 태양전지층상에 제2 도전성물질을 상기 일측의 맞은 편 타측으로부터 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극층이 노출되도록 상기 트렌치들에 형성된 태양전지층을 식각하고, 상기 홈들에 형성된 태양전지층을 식각하는 단계 및 상기 노출된 제1 전극층과 상기 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다.
트렌치, 집적화, 박막 태양전지, 투명전극, 증착

公开(公告)号：KR100655461B1

公开(公告)日：2006-12-11

申请号：KR1020040092885

申请日：2004-11-15

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 명승엽 ,  임굉수

IPC: C23C16/44

Abstract: 광 저압 금속 유기 화학 기상 증착 장치 및 이를 이용하는 산화아연의 형성 방법 및 산화아연의 도핑 방법이 제공된다. 광 저압 금속 유기 화학 기상 증착 장치는 반응실, 하부에 기판이 부착되는 기판 접시, 반응 가스들이 유입되는 반응 가스 노즐 및 기판의 수평 방향으로 자외광을 투과시키는 석영창을 포함한다. 산화아연의 형성 방법은 (a) 수소 가스를 소정의 온도로 유지되는 수은을 통과시킨 후에 버블링된 원료 물질과 함께 반응 가스 노즐을 통해서 반응실의 내부로 유입시키는 단계 및 (b) 석영창을 통하여 부착된 기판의 수평 방향으로 자외광을 투과시켜 기판의 표면에 수소 도핑된 산화아연을 증착시키는 단계를 포함한다. 산화아연의 도핑 방법은 (a) 소정의 온도로 유지되는 수은을 통과시킨 수소 가스와 도핑 물질을 반응 가스 노즐을 통해서 반응실의 내부로 유입시키는 단계 및 (b) 석영창을 통하여 산화아연이 형성된 기판의 수평 방향으로 자외광을 투과시켜 기판에 형성된 산화아연을 도핑시키는 단계를 포함한다.
광 저압 금속 유기 화학 기상 증착, 수은 증감 광분해, 투명 전극

公开(公告)号：KR100643684B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020050105551

申请日：2005-11-04

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전진완 ,  윤준보 ,  임굉수

IPC: H01L21/027

公开(公告)号：KR100368795B1

公开(公告)日：2003-01-24

申请号：KR1020010015921

申请日：2001-03-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A flat display device using a metal thin film rotator is provided to increase the light efficiency by blocking or passing light by the rotation motion of a thin film rotator but not using any polarization plate or orientation film. CONSTITUTION: A flat display device using a metal thin film rotator includes horizontal electrodes(42) for keeping or driving the metal thin film rotator(44) in the closed horizontal state, vertical electrodes(54,34) for keeping or driving the metal thin film rotator in the opened vertical state, and rotator electrodes for applying a voltage to the metal thin film rotator, and the horizontal and vertical electrodes, wherein the horizontal or vertical state of the metal thin film rotator is kept by the electrostatic force due to the voltage applied between the horizontal or the vertical electrodes and the rotator electrodes, so that the incident light from a light source to light paths formed by a pair of upper and lower partition walls(52,32) and inserted by the metal thin film rotator is completely shielded or transmitted in the pixel arrangement.

Abstract translation: 目的：提供一种使用金属薄膜旋转器的平板显示装置，以通过薄膜旋转器的旋转运动阻挡或通过光而不使用任何偏振板或取向膜来提高光效率。 一种使用金属薄膜旋转器的平面显示装置，包括用于保持或驱动处于闭合水平状态的金属薄膜旋转器（44）的水平电极（42），用于保持或驱动金属薄的垂直电极（54,34） 以及用于向金属薄膜旋转器以及水平和垂直电极施加电压的旋转器电极，其中金属薄膜旋转器的水平或垂直状态由于 施加在水平电极或垂直电极与转子电极之间的电压，使得从光源入射到由上下一对分隔壁（52,32）形成的光路的入射光并被金属薄膜转子插入 完全屏蔽或透过像素排列。

公开(公告)号：KR101112487B1

公开(公告)日：2012-03-09

申请号：KR1020090072353

申请日：2009-08-06

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: H01L31/042

CPC classification number: H01L31/03923 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/076 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 본발명의광기전력장치의제조방법은트렌치들이형성된기판을준비하는단계, 상기기판상에제1 전극층과, 상기제1 전극층보다작은전기저항을지니고상기제1 전극층의일부영역과접촉하며상기제1 전극층의위 또는밑에위치하도록보조전극층을형성하되, 상기제1 전극층및 상기보조전극층이상기트렌치들내부에서단절되게형성하는단계, 상기제1 전극층또는상기보조전극층상에광전변환층을형성하는단계, 상기광전변환층상에제2 도전성물질을비스듬히증착하여제2 전극층을형성하는단계, 상기제1 전극층또는상기보조전극층이노출되도록상기트렌치들내부에형성된광전변환층을식각하는단계및 상기영역들중 빛에의하여전기가생성되는하나의영역에형성된상기제1 전극층또는상기보조전극층과, 빛에의하여전기가생성되는다른하나의영역에형성된상기제2 전극층이상기트렌치내부에서전기적으로연결되도록제3 도전성물질을상기제2 전극층상에비스듬히증착하여도전층을형성하는단계를포함한다.

Abstract translation: 公开了一种用于制造光伏器件的方法。 制造光伏器件的方法包括提供在其中形成有沟槽（101,102,103,104）的衬底，形成第一电极层（110），以及在沟槽之间的区域中形成辅助电极层（120），使得辅助电极层位于 或者在第一电极层的下方，辅助电极层的电阻小于第一电极层的电阻，并与第一电极层的一部分区域接触，在第一电极层上形成光伏层（130），或者 所述辅助电极层通过在所述光伏层上倾斜地沉积第二导电材料形成第二电极层（140），蚀刻形成在所述沟槽中的所述光电层，使得所述第一电极层或所述辅助电极层电弧暴露并形成导电 （160），通过在第二电极层上倾斜地沉积第三导电材料， 所述第一电极层或所述辅助电极层在所述沟槽内彼此电连接，所述第一电极层或所述辅助电极层形成在从光产生电的一个区域中，所述第二电极层形成在另一个区域中 区域发光从光。

公开(公告)号：KR1020110104840A

公开(公告)日：2011-09-23

申请号：KR1020100023967

申请日：2010-03-17

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/04

Abstract: 본 발명의 광기전력 장치의 제조 방법은 제1 전극 및 제2 전극 사이에 위치하는 활성층을 챔버 내에서 형성하며, 미리 혼합된 수소 가스와 실리콘 포함 원료 가스가 상기 챔버 내로 유입되며, 상기 혼합된 수소 가스와 실리콘 포함 원료 가스의 수소 희석비는 주기적으로 증감하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 根据本发明的光伏装置的制造方法的特征在于，在腔室中形成位于第一电极和第二电极之间的活性层，并且将预先混合的氢气和含硅源气体引入腔室中， 并且，含有硅和含硅原料气体的气体的氢稀释率周期性地增加或减少。

公开(公告)号：KR101060239B1

公开(公告)日：2011-08-29

申请号：KR1020100083178

申请日：2010-08-26

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/06

CPC classification number: H01L31/1872 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/072 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: An integrated thin film photoelectromotive device and a manufacturing method thereof are provided to improve energy conversion efficiency by reducing the reactive area of a unit cell. CONSTITUTION: Trenches are formed on a substrate(200). A first extrinsic polycrystalline semiconductor material layer(210) is continuously formed on one side of the trench and a substrate which is adjacent to the trench. A second extrinsic polycrystalline semiconductor material layer(230) is entirely overlapped in a space between the trenches and is partially overlapped with the inside of the trenches.

Abstract translation: 目的：提供一种集成的薄膜光电装置及其制造方法，以通过减小单位电池的反应面积来提高能量转换效率。 构成：在衬底（200）上形成沟槽。 第一外部多晶半导体材料层（210）连续地形成在沟槽的一侧和与沟槽相邻的衬底。 第二非本征多晶半导体材料层（230）在沟槽之间的空间中完全重叠，并且与沟槽的内部部分地重叠。

公开(公告)号：KR1020110014811A

公开(公告)日：2011-02-14

申请号：KR1020090072353

申请日：2009-08-06

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  전진완

IPC: H01L31/042

CPC classification number: H01L31/03923 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/076 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: A photovoltaic device and a manufacturing method thereof are provided to supply output voltage which vary in size by easily setting the number of unit cells formed on a substrate. CONSTITUTION: A trench(301,303,305) and a groove(302,304) are formed on a substrate(300). A first electrode layer(310) and a secondary electrode layer(320) are formed between the trenches. A photoelectric conversion layer(330) is formed on the first electrode layer or the secondary electrode layer. A second electrode layer(340) is formed by diagonally depositing a second conductive material on the photoelectric conversion layer. A conductive layer(350) is formed by depositing a third conductive material on the second electrode layer.

Abstract translation: 目的：提供一种光电器件及其制造方法，通过容易地设定在基板上形成的单元电池的数量来提供尺寸变化的输出电压。 构成：在衬底（300）上形成沟槽（301,303,305）和沟槽（302,304）。 在沟槽之间形成第一电极层（310）和次级电极层（320）。 在第一电极层或次电极层上形成光电转换层330。 通过在光电转换层上对角地沉积第二导电材料形成第二电极层（340）。 通过在第二电极层上沉积第三导电材料形成导电层（350）。