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公开(公告)号：WO2015102409A1
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：PCT/KR2014/013119
申请日：2014-12-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445
CPC classification number: H01L31/0463 , H01L31/046 , H01L31/0465 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 집적형 박막 태양전지의 제조 장치는 진공 상태에서 복수의 단위 셀들이 전기적으로 직렬연결되는 집적형 박막 태양전지의 제조 장치로서, 기판에 형성된 복수의 트렌치들 각각의 내부의 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 일측면 및 상기 일측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제1 도전층이 형성된 상기 기판상에 광전변환 물질을 방출하여 광전변환부를 형성하는 광전변환부 형성 공정챔버; 및 상기 트렌치들 각각의 내부의 또 다른 일기선으로부터 상기 각각의 트렌치의 바닥면과 상기 바닥면에 이어진 타측면 및 상기 타측면에 이어진 상기 기판의 돌출면 영역상에 제2 도전층을 형성하는 제2 도전층 형성 공정챔버를 포함하고, 상기 광전변환부 형성 공정챔버 및 상기 제2 도전층 형성 공정챔버는 진공 상태에서 상기 각각의 공정을 수행할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的用于制造集成薄膜太阳能电池的装置是一种用于制造集成薄膜太阳能电池的装置，其中多个单电池在真空状态下串联电连接， 制造装置包括：光电转换单元形成处理室，其形成光电转换单元，该光电转换单元通过将光电转换材料发射到具有第一导电层的基板上，所述基板由形成在所述第一导电层上的多个沟槽的每一个内的一个基线形成 衬底到每个沟槽的底表面的区域，连接到底表面的一个侧表面和连接到一个侧表面的衬底的突出表面; 以及第二导电层形成处理室，其从每个沟槽内的另一条基线形成第二导电层，到每个沟槽的底表面的区域，连接到底表面的另一侧表面，以及突出的 连接到另一侧表面的基板的表面，其中光电转换单元形成处理室和第二导电层形成处理室能够以真空状态执行每个处理。
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公开(公告)号：KR101188278B1
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020090045802
申请日：2009-05-26
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명의 몰드 제조 방법은 특정 파장을 지닌 레이저에 의하여 제거되지 않는 재질을 포함하는 몰드 제조용 기판이 준비되는 단계, 상기 몰드 제조용 기판 상에 상기 레이저에 의하여 제거되는 물질을 포함하는 몰드 제조용 레이어를 형성하는 단계, 상기 몰드 제조용 레이어에 상기 레이저를 조사하여 상기 몰드 제조용 레이어에 몰드 제조용 홈을 형성하는 단계, 몰드용 레이어가 상기 몰드 제조용 홈을 덮는 단계 및 상기 몰드 제조용 기판 및 상기 몰드 제조용 레이어를 제거하여 몰드를 형성하는 단계를 포함한다.
몰드, 광기전력 장치, 트렌치-
公开(公告)号：KR1020090038100A
公开(公告)日：2009-04-20
申请号：KR1020070103410
申请日：2007-10-15
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/04 , G02B17/002 , G02B26/105
Abstract: A micro mirror of an electrostatic driving mode and a micro mirror array using the same are provided to obtain a maximum rotation angle although a predetermined voltage is supplied between a first address electrode and a reflector. A micro mirror(200) includes an insulation substrate(210), an address electrode(220a), an electric charge part(240a), and a reflector(250). The address electrode, a stop electrode(280a), and supporting parts(270a,270b) are formed on the insulation substrate. The insulation substrate supports the reflector in order to separate the address electrode from the address electrode and the electric charge part. The address electrode is formed on the insulation substrate, and is made of conductive material. The electric charge part is insulated with a first address electrode and a second address electrode by a first insulation layer and a second insulation layer. A discharge-preventing layer is formed on a surface of the electric charge part.
Abstract translation: 提供静电驱动模式的微反射镜和使用其的微反射镜阵列以获得最大旋转角度，尽管在第一寻址电极和反射器之间提供预定电压。 微反射镜（200）包括绝缘基板（210），寻址电极（220a），电荷部分（240a）和反射器（250）。 寻址电极，停止电极（280a）和支撑部分（270a，270b）形成在绝缘基板上。 绝缘基板支撑反射器，以便将地址电极与地址电极和电荷部分分开。 寻址电极形成在绝缘基板上，并由导电材料制成。 电荷部分通过第一绝缘层和第二绝缘层与第一寻址电极和第二寻址电极绝缘。 在电荷部的表面上形成防放电层。
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公开(公告)号：KR100834415B1
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：KR1020060033214
申请日：2006-04-12
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H04N3/08 , H04N5/7458 , H04N9/3152
Abstract: 본 발명은 마이크로미러 또는 화상표시소자를 이용한 디스플레이 장치에서 화소 구분이나 블랙매트릭스 등의 사용에 의해 발생하는 어두운 영역을 제거하고, 빛의 이용 효율을 높여 고품질의 영상을 표시할 뿐만 아니라 소비전력을 개선시키기 위한 것으로, 일 실시예로, 광원과, 광원으로부터 입사되는 입사광을 반사시키도록 복수 개의 마이크로미러들이 배열된 마이크로미러 어레이, 및 광원과 마이크로미러 어레이 사이에 복수 개의 마이크로렌즈들이 배열되어 광원으로부터 입사되는 입사광을 하나의 마이크로미러로 집속시키고, 마이크로미러 어레이로부터 반사되는 반사광을 평행광으로 출사시켜 상기 반사광의 진행경로를 보정하는 마이크로렌즈 어레이를 포함한 디스플레이 장치를 제공한다.
마이크로렌즈, 마이크로미러, 디스플레이 장치-
公开(公告)号：KR100398310B1
公开(公告)日：2003-09-19
申请号：KR1020010056449
申请日：2001-09-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0051 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , Y10S359/904
Abstract: Disclosed are a micromirror device made in a simple structure using interdigitated cantilevers and having two stable rotational states, and applications thereof. The micromirror device comprises: (a) a substrate; (b) at least two protruded support posts arranged protrudedly in two columns of left and right sides on the substrate and apart by a predetermined interval from each other; (c) multiple cantilevers formed in parallel with the substrate, each having one end attached at the upper end portion of the respective protruded support posts and made in a thin strip having an elastic restoring force, wherein the cantilevers adjacent to each other are arranged to be parallel and interdigitated; (d) mirror support posts coupled to upper portions of the other ends of the cantilevers; (e) a mirror attached on upper portions of the whole mirror support posts and supported by the mirror support posts; and (f) two electrodes formed at left and right sides on the substrate, for providing an electrostatic force to the mirror, wherein the micromirror device reflects light incident into the mirror in different directions from each other by using an electrostatic force due to a voltage applied between the electrodes and the mirror, and the elastic restoring force of the cantilevers. The micromirror device can drive the mirror in two directions and adjust a rotational angle of the mirror using the electrostatic force due to a potential difference between the electrodes and the mirror for reflecting incident light, and the elastic restoring force of the cantilevers.
Abstract translation: 公开了一种使用交叉指型悬臂并且具有两个稳定的旋转状态的简单结构制造的微镜装置及其应用。 微镜装置包括：（a）基板; （b）至少两个突出的支柱，所述支柱突出地设置在所述基板上的左右两列中，并彼此隔开预定间隔; （c）与衬底平行形成的多个悬臂，每个悬臂的一端连接在各个突出的支柱的上端部分，并制成具有弹性恢复力的薄条，其中彼此相邻的悬臂设置成 平行交叉; （d）与悬臂另一端的上部连接的反射镜支柱; （e）安装在整个镜支撑柱的上部并由镜支撑柱支撑的镜子; 和（f）在基板的左右两侧形成的两个电极，用于向反射镜提供静电力，其中，微反射镜装置通过利用由于电压产生的静电力将入射到反射镜中的光以彼此不同的方向反射 施加在电极和镜子之间，以及悬臂的弹性恢复力。 微反射镜装置可以在两个方向上驱动反射镜，并且利用由于电极和用于反射入射光的反射镜之间的电势差以及悬臂的弹性恢复力所引起的静电力来调整反射镜的旋转角度。 ＆lt;图像＆GT;
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101028971B1
公开(公告)日：2011-04-19
申请号：KR1020090045804
申请日：2009-05-26
IPC: H01L31/0445
CPC classification number: H01L31/0392 , H01L31/022425 , H01L31/035281 , H01L31/046 , H01L31/0465 , Y02E10/50
Abstract: 본 발명의 집적형 박막 태양전지의 제조 방법은 소정간격 이격된 트렌치들과, 상기 인접한 트렌치들 사이에 위치한 홈이 형성된 기판을 준비하는 단계, 상기 트렌치들 각각의 밑면 일부 및 일측면에 제1 도전성 물질을 일측으로부터 비스듬히 증착하여 제1 전극층을 형성하는 단계, 상기 기판 및 상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계, 상기 태양전지층상에 제2 도전성물질을 상기 일측의 맞은 편 타측으로부터 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극층이 노출되도록 상기 트렌치들에 형성된 태양전지층을 식각하고, 상기 홈들에 형성된 태양전지층을 식각하는 단계 및 상기 노출된 제1 전극층과 상기 제2 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다.
트렌치, 집적화, 박막 태양전지, 투명전극, 증착-
7.发明授权폴리머 또는 레지스트 패턴 및 이를 이용한 금속 박막패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드 및 이들의 형성방법 失效聚合物或抗蚀剂图案以及使用该图案的金属薄膜图案，金属图案，塑料模具及其形成方法
公开(公告)号：KR100643684B1
公开(公告)日：2006-11-10
申请号：KR1020050105551
申请日：2005-11-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
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公开(公告)号：KR100368795B1
公开(公告)日：2003-01-24
申请号：KR1020010015921
申请日：2001-03-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
Abstract: PURPOSE: A flat display device using a metal thin film rotator is provided to increase the light efficiency by blocking or passing light by the rotation motion of a thin film rotator but not using any polarization plate or orientation film. CONSTITUTION: A flat display device using a metal thin film rotator includes horizontal electrodes(42) for keeping or driving the metal thin film rotator(44) in the closed horizontal state, vertical electrodes(54,34) for keeping or driving the metal thin film rotator in the opened vertical state, and rotator electrodes for applying a voltage to the metal thin film rotator, and the horizontal and vertical electrodes, wherein the horizontal or vertical state of the metal thin film rotator is kept by the electrostatic force due to the voltage applied between the horizontal or the vertical electrodes and the rotator electrodes, so that the incident light from a light source to light paths formed by a pair of upper and lower partition walls(52,32) and inserted by the metal thin film rotator is completely shielded or transmitted in the pixel arrangement.
Abstract translation: 目的：提供一种使用金属薄膜旋转器的平板显示装置，以通过薄膜旋转器的旋转运动阻挡或通过光而不使用任何偏振板或取向膜来提高光效率。 一种使用金属薄膜旋转器的平面显示装置，包括用于保持或驱动处于闭合水平状态的金属薄膜旋转器（44）的水平电极（42），用于保持或驱动金属薄的垂直电极（54,34） 以及用于向金属薄膜旋转器以及水平和垂直电极施加电压的旋转器电极，其中金属薄膜旋转器的水平或垂直状态由于 施加在水平电极或垂直电极与转子电极之间的电压，使得从光源入射到由上下一对分隔壁（52,32）形成的光路的入射光并被金属薄膜转子插入 完全屏蔽或透过像素排列。
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公开(公告)号：KR101112487B1
公开(公告)日：2012-03-09
申请号：KR1020090072353
申请日：2009-08-06
IPC: H01L31/042
CPC classification number: H01L31/03923 , H01L31/022425 , H01L31/0392 , H01L31/03925 , H01L31/0463 , H01L31/0465 , H01L31/076 , Y02E10/541 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 본발명의광기전력장치의제조방법은트렌치들이형성된기판을준비하는단계, 상기기판상에제1 전극층과, 상기제1 전극층보다작은전기저항을지니고상기제1 전극층의일부영역과접촉하며상기제1 전극층의위 또는밑에위치하도록보조전극층을형성하되, 상기제1 전극층및 상기보조전극층이상기트렌치들내부에서단절되게형성하는단계, 상기제1 전극층또는상기보조전극층상에광전변환층을형성하는단계, 상기광전변환층상에제2 도전성물질을비스듬히증착하여제2 전극층을형성하는단계, 상기제1 전극층또는상기보조전극층이노출되도록상기트렌치들내부에형성된광전변환층을식각하는단계및 상기영역들중 빛에의하여전기가생성되는하나의영역에형성된상기제1 전극층또는상기보조전극층과, 빛에의하여전기가생성되는다른하나의영역에형성된상기제2 전극층이상기트렌치내부에서전기적으로연결되도록제3 도전성물질을상기제2 전극층상에비스듬히증착하여도전층을형성하는단계를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种用于制造光伏器件的方法。 制造光伏器件的方法包括提供在其中形成有沟槽（101,102,103,104）的衬底，形成第一电极层（110），以及在沟槽之间的区域中形成辅助电极层（120），使得辅助电极层位于 或者在第一电极层的下方，辅助电极层的电阻小于第一电极层的电阻，并与第一电极层的一部分区域接触，在第一电极层上形成光伏层（130），或者 所述辅助电极层通过在所述光伏层上倾斜地沉积第二导电材料形成第二电极层（140），蚀刻形成在所述沟槽中的所述光电层，使得所述第一电极层或所述辅助电极层电弧暴露并形成导电 （160），通过在第二电极层上倾斜地沉积第三导电材料， 所述第一电极层或所述辅助电极层在所述沟槽内彼此电连接，所述第一电极层或所述辅助电极层形成在从光产生电的一个区域中，所述第二电极层形成在另一个区域中 区域发光从光。
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公开(公告)号：KR1020110104840A
公开(公告)日：2011-09-23
申请号：KR1020100023967
申请日：2010-03-17
IPC: H01L31/04
Abstract: 본 발명의 광기전력 장치의 제조 방법은 제1 전극 및 제2 전극 사이에 위치하는 활성층을 챔버 내에서 형성하며, 미리 혼합된 수소 가스와 실리콘 포함 원료 가스가 상기 챔버 내로 유입되며, 상기 혼합된 수소 가스와 실리콘 포함 원료 가스의 수소 희석비는 주기적으로 증감하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 根据本发明的光伏装置的制造方法的特征在于，在腔室中形成位于第一电极和第二电极之间的活性层，并且将预先混合的氢气和含硅源气体引入腔室中， 并且，含有硅和含硅原料气体的气体的氢稀释率周期性地增加或减少。
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