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公开(公告)号:KR101722460B1
公开(公告)日:2017-04-04
申请号:KR1020140194802
申请日:2014-12-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/414 , G01N27/12 , H01L41/39
Abstract: 본발명은가스를검출하는가스센서에관한것으로, 더욱상세하게는센서소자에흡착된가스를표면탄성파소자를이용하여탈착시키는표면탄성파를이용한그래핀가스센서에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种气体传感器,其用于使用与SAW器件除去表面声波在石墨烯中的气体传感器检测气体,更特别地,涉及一种吸入气体传感器元件。
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公开(公告)号:KR1020160081256A
公开(公告)日:2016-07-08
申请号:KR1020140194802
申请日:2014-12-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/414 , G01N27/12 , H01L41/39
CPC classification number: G01N27/4146 , G01N27/12 , G01N27/127 , H01L41/39
Abstract: 본발명은가스를검출하는가스센서에관한것으로, 더욱상세하게는센서소자에흡착된가스를표면탄성파소자를이용하여탈착시키는표면탄성파를이용한그래핀가스센서에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及气体传感器检测气体。 更具体地,本发明涉及使用表面声波的石墨烯气体传感器,其使得能够使用波声波装置将由传感器装置吸附的气体附着到传感器装置并从传感器装置分离。 使用表面声波的石墨烯气体传感器包括:基板; 感测单元; 以及附件和拆卸单元。
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