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公开(公告)号：WO2018221753A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：PCT/KR2017/005569
申请日：2017-05-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 비정질탄소막을 희생층으로 이용한 멤스 디바이스 및 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 구조체; 상기 하부 구조체의 상부로 이격되어 배치된 멤스 구조체; 상기 하부 구조체와 상기 멤스 구조체를 전기적으로 연결하는 전기적 연결 구조체; 및 상기 멤스 구조체의 상부로 이격되어 배치되는 플레이트부와 상기 플레이트부로부터 상기 멤스 구조체로 연장되는 비어 연결부를 구비하는 광흡수 구조체;를 포함하는, 멤스 디바이스를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101804564B1
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：KR1020150169042
申请日：2015-11-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02 , G01J5/20 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
Abstract: 비정질탄소막을희생층으로이용한멤스디바이스및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따르면, 하부구조체; 상기하부구조체의상부로이격되어배치된멤스구조체; 상기하부구조체와상기멤스구조체를전기적으로연결하는전기적연결구조체; 및상기멤스구조체의상부로이격되어배치되는플레이트부와상기플레이트부로부터상기멤스구조체로연장되는비어연결부를구비하는광흡수구조체;를포함하는, 멤스디바이스를제공한다.
Abstract translation: 提供了一种使用非晶碳膜作为牺牲层的MEMS器件及其制造方法。 根据本发明的一个实施例， MEMS结构，设置在下部结构的上部; 一种用于电连接下部结构和MEMS结构的电连接结构; 并且光吸收结构具有设置成与MEMS结构的上部分隔开的板部分和从板部分延伸到MEMS结构的通孔连接部分。
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公开(公告)号：KR1020170063079A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020150169042
申请日：2015-11-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02 , G01J5/20 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
Abstract: 비정질탄소막을희생층으로이용한멤스디바이스및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따르면, 하부구조체; 상기하부구조체의상부로이격되어배치된멤스구조체; 상기하부구조체와상기멤스구조체를전기적으로연결하는전기적연결구조체; 및상기멤스구조체의상부로이격되어배치되는플레이트부와상기플레이트부로부터상기멤스구조체로연장되는비어연결부를구비하는광흡수구조체;를포함하는, 멤스디바이스를제공한다.
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公开(公告)号：KR101383918B1
公开(公告)日：2014-04-08
申请号：KR1020130027122
申请日：2013-03-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J5/02
CPC classification number: G01J5/0853 , G01J1/0219 , G01J5/0285 , G01L21/14
Abstract: The present invention relates to a microbolometer type vacuum sensor and an infrared sensor including the same and, more specifically, to a microbolometer type long-range vacuum sensor capable of accurately measuring a vacuum level in a wide vacuum level range and an infrared sensor including the same. The microbolometer type long-range vacuum sensor according to the present invention includes a substrate, and at least one first cell and at least one second cell which are arranged on the substrate and transfers electrical signals according to vacuum levels to the substrate. The microbolometer type long-range vacuum sensor according to the present invention can accurately measure a vacuum level in a wide range using together the first cell which has improved sensitivity at a low vacuum level and the second cell which has improved sensitivity at a high vacuum level.
Abstract translation: 本发明涉及一种微热辐射热计式真空传感器及其红外线传感器，更具体地说，涉及一种能够精确地测量宽真空度范围内的真空度的微测辐射热计型长距离真空传感器，以及包括 相同。 根据本发明的微温度计型远距离真空传感器包括基板，以及布置在基板上的至少一个第一单元和至少一个第二单元，并且根据真空水平将电信号传送到基板。 根据本发明的微热辐射计型远距离真空传感器可以在较低范围内精确地测量在低真空度下具有改进的灵敏度的第一单元和在高真空度下具有改进的灵敏度的第二单元的宽范围内的真空度 。
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公开(公告)号：KR101722460B1
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020140194802
申请日：2014-12-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/414 , G01N27/12 , H01L41/39
Abstract: 본발명은가스를검출하는가스센서에관한것으로, 더욱상세하게는센서소자에흡착된가스를표면탄성파소자를이용하여탈착시키는표면탄성파를이용한그래핀가스센서에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种气体传感器，其用于使用与SAW器件除去表面声波在石墨烯中的气体传感器检测气体，更特别地，涉及一种吸入气体传感器元件。
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Patent Agency Ranking6.发明公开차등 두께를 가지는 캡핑 부재를 포함하는 멤스 패키지, 멤스 웨이퍼 레벨 패키지 및 캡핑 부재를 포함하는 멤스 패키지의 제조 방법 有权具有具有不同厚度的封装构件的MEMS封装，具有该封装的MEMS封装，具有该MEMS封装的MEMS包覆层及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140101597A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：KR1020130014957
申请日：2013-02-12
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L2924/16153
Abstract: Provided in the present invention is a MEMS package including a capping member which has a thin portion to provide a cavity having light transmittance and a deep depth useful to vacuum form and maintain, which has a thick portion useful to provide easy handling. According to an embodiment of the present invention, the MEMS package includes: a capping member including a basal portion, a window portion recessed from the top surface of the basal portion and a protrusion portion protruded from the top surface of the basal portion while surrounding the window portion; and a MEMS element member including a MEMS substrate attached with the capping member, and a MEMS element covered by the window portion while being surrounded by the protrusion portion.
Abstract translation: 在本发明中提供了一种MEMS封装，其包括封盖构件，该封盖构件具有薄的部分，以提供具有透光率的空腔和对真空形式和维护有用的深度深度，其具有用于提供容易处理的厚部。 根据本发明的实施例，MEMS封装包括：封盖构件，其包括基部，从基部的顶表面凹陷的窗口部分和从基部的顶表面突出的突出部分， 窗口部分 以及包括附接有封盖构件的MEMS基板的MEMS元件构件，以及被所述突起部包围的由所述窗口部分覆盖的MEMS元件。
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公开(公告)号：KR101408905B1
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：KR1020130045874
申请日：2013-04-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: For a high response MEMS device which is thermally isolated while bending of a pixel is not induced but resistance uniformity is evenly maintained and a method for fabricating the same, the present invention provides a MEMS device comprising a lower structural body comprising a read channel integrated circuit; an upper structural body spaced apart from the lower structural body and having an infrared light detecting unit of which electric resistance changes if absorbing infrared light; and a leg unit for electrically connecting the infrared light detecting unit and the read channel integrated circuit, wherein at least one penetrating hole is provided on the leg unit in order to control thermal time constant and responsiveness.
Abstract translation: 对于不诱导像素的弯曲而被热隔离但是均匀地保持电阻均匀性的高响应MEMS器件及其制造方法，本发明提供一种MEMS器件，其包括下部结构体，该下部结构体包括读取通道集成电路 ; 与下部结构体间隔开的上部结构体，并具有红外光检测单元，其中如果吸收红外光，电阻发生变化; 以及用于电连接红外光检测单元和读通道集成电路的支腿单元，其中至少一个贯穿孔设置在支腿单元上，以便控制热时间常数和响应性。
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公开(公告)号：KR1020100035275A
公开(公告)日：2010-04-05
申请号：KR1020080094546
申请日：2008-09-26
IPC: G01N35/00
Abstract: PURPOSE: A disposable surface plasmon resonance chip having multi-channel is provided to measure surface plasmon resonance using a transparent polymer material capable of mass production and to inject and discharge the other kind of a bio sample. CONSTITUTION: A disposable surface plasmon resonance chip(100) comprises a lower substrate(30), an upper substrate(10), and a metallic thin film layer(20) interposed between the upper plate and the lower plate. The upper plate includes a plurality of inlets(11) in which a bio sample and a buffer solution are inserted, a recover unit(14), and a plurality of independent channels(12,13).
Abstract translation: 目的：提供具有多通道的一次性表面等离子体共振芯片，以使用能够批量生产的透明聚合物材料测量表面等离子体共振并注入和排出另一种生物样品。 构成：一次性表面等离子体共振芯片（100）包括下基板（30），上基板（10）和介于上板和下板之间的金属薄膜层（20）。 上板包括多个入口（11），其中插入生物样品和缓冲溶液，回收单元（14）和多个独立通道（12,13）。
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公开(公告)号：KR1020160081256A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140194802
申请日：2014-12-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/414 , G01N27/12 , H01L41/39
CPC classification number: G01N27/4146 , G01N27/12 , G01N27/127 , H01L41/39
Abstract: 본발명은가스를검출하는가스센서에관한것으로, 더욱상세하게는센서소자에흡착된가스를표면탄성파소자를이용하여탈착시키는표면탄성파를이용한그래핀가스센서에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及气体传感器检测气体。 更具体地，本发明涉及使用表面声波的石墨烯气体传感器，其使得能够使用波声波装置将由传感器装置吸附的气体附着到传感器装置并从传感器装置分离。 使用表面声波的石墨烯气体传感器包括：基板; 感测单元; 以及附件和拆卸单元。
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公开(公告)号：KR101439081B1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：KR1020130020606
申请日：2013-02-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H04N5/33
Abstract: 본 발명은 메모리를 사용하지 않고 아날로그 회로단에서 자동으로 적외선 이미지 보정이 가능한 적외선 영상데이터 취득용 신호처리 회로 및 방법을 위하여, 적외선을 흡수하면 전기저항이 변화하는 적외선 감지부; 일단이 상기 적외선 감지부의 타단에 전기적으로 연결되고, 적외선을 흡수하기 전에 상기 적외선 감지부의 전기저항이 소정의 기준저항값을 가지도록, 상기 적외선 감지부에 줄열(Joule heat)을 인가할 수 있는, 셀프 히팅부; 상기 셀프 히팅부의 타단의 전압과 기준전압의 차이를 적분하여 적분된 값을 적외선 신호로 출력하는 적분기; 및 일단이 상기 적분기에 전기적으로 연결되고, 상기 적외선 감지부의 전기저항을 상기 소정의 기준저항값으로 유지하도록 상기 적외선 감지부를 히팅 또는 냉각시키기 위하여 상기 적분기의 실시간 출력신호를 비교 및 제어할 수 있는, 피드백 제어부;를 포함하는, 적외선 영상데이터 취득용 신호처리 회로 및 방법을 제공한다.
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