公开(公告)号：KR1020110038210A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：KR1020090095404

申请日：2009-10-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이건재 ,  강석중 ,  장재명 ,  박귀일 ,  이상용 ,  김승준

IPC: H01L41/02

CPC classification number: H01L41/0815 ,  C04B35/491 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/311 ,  H01L41/39

Abstract: PURPOSE: A flexible piezoelectric device and a manufacturing method thereof are provided to stably rectify a current property by electrically connecting a plurality of unit piezoelectric devices and a capacitor to the same flexible substrate. CONSTITUTION: A piezoelectric device layer is laminated on a sacrificial substrate. The piezoelectric device layer is processed on the sacrificial substrate at a high temperature. A piezoelectric device(551) is formed by patterning the piezoelectric device layer. The piezoelectric device is separated from the sacrificial substrate by etching the sacrificial substrate. After the piezoelectric device is connected to a transfer layer, the piezoelectric device is transferred to the flexible substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种柔性压电器件及其制造方法，以通过将多个单元压电器件和电容器电连接到相同的柔性衬底来稳定地校正电流特性。 构成：在牺牲基板上层压压电器件层。 压电器件层在高温下在牺牲基片上进行处理。 通过图案化压电元件层形成压电元件（551）。 通过蚀刻牺牲衬底将压电器件与牺牲衬底分离。 在将压电元件连接到转印层之后，将压电元件转印到柔性基板上。

公开(公告)号：KR101048423B1

公开(公告)日：2011-07-11

申请号：KR1020090095404

申请日：2009-10-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이건재 ,  강석중 ,  장재명 ,  박귀일 ,  이상용 ,  김승준

IPC: H01L41/02

Abstract: 플렉서블 압전 소자 제조방법, 이에 의하여 제조된 플렉서블 압전 소자가 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 소자 제조방법은 희생기판 상에 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 희생기판 상의 압전소자층을 고온처리 하는 단계; 상기 압전소자층을 패터닝하여, 압전소자를 형성하는 단계; 상기 희생기판을 식각하여, 상기 압전소자를 상기 희생 기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 압전소자에 전사층을 접촉시킨 후, 이를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 압전 소자 제조방법은 플렉서블 기판상에 압전 소자 뿐만 아니라, 압전 소자에 의하여 발생한 전류를 안정적으로 정류할 수 있는 커패시터를 모두 구현한, 플렉서블 압전 소자를 가능하게 한다. 또한, 복수의 단위 압전 소자와 커패시터를 동일 플렉서블 기판에 전기적으로 상호 연결시키므로, 대면적 압전소자 구현이 가능하며, 본 발명에 따른 플렉서블 압전소자는 플렉서블한 기판의 휘는 특성에 따라 전기를 발생시킬 수 있다 또한, 상기 발생한 전기를 동일 소자 영역에 구비된 커패시터로 정류시킬 수 있으므로, 그 효과가 우수한다.

Abstract translation: 提供柔性压电元件制造方法和由此制造的柔性压电元件。