플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터

    公开(公告)号:WO2012047071A9

    公开(公告)日:2012-04-12

    申请号:PCT/KR2011/007473

    申请日:2011-10-10

    Abstract: 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법은 희생 기판상에 압전물질층을 포함하는 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 고온에서 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 희생 기판을 제거하여 상기 기판으로부터 단위 압전소자들을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 단위 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 나노제너레이터는 기판의 구부러짐에 따라 전력이 생산되므로, 인체의 움직임 등에 따라 지속적인 전력생산이 가능하다는 장점이 있다.

    플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터
    2.
    发明授权
    플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 有权
    柔性纳米发生器及其制造的柔性纳米发生器的制造方法

    公开(公告)号:KR101169544B1

    公开(公告)日:2013-12-20

    申请号:KR1020100120111

    申请日:2010-11-30

    Inventor: 이건재 박귀일

    Abstract: 플렉서블나노제너레이터제조방법및 이에의하여제조된플렉서블나노제너레이터가제공된다. 본발명에따른플렉서블나노제너레이터제조방법은탄소나노구조체및 압전입자를경화성물질에혼합하는단계; 및탄소나노구조체및 압전입자가혼합된경화성물질을경화시켜, 플렉서블나노제너레이터를제조하는단계를포함하는것을특징으로하며, 본발명에따른플렉서블나노제너레이터제조방법및 이에따라제조된플렉서블나노제너레이터는기판의구부러짐에따라전력이생산되므로, 인체의움직임등에따라지속적인전력생산이가능하다는장점이있다. 따라서, 고효율의생체적합성의나노제너레이터가본 발명에의하여제조가능하다.

    생체용 나노제너레이터 및 그 제조방법
    3.
    发明公开
    생체용 나노제너레이터 및 그 제조방법 有权
    生物纳米生物制剂及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130020057A

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:KR1020110082437

    申请日:2011-08-18

    CPC classification number: H02N2/18 A61N1/36 H01L41/1136 H01L41/12 Y10S977/837

    Abstract: PURPOSE: A bio-nano generator and a method for manufacturing the same are provided to generate high efficiency current by using a piezoelectric material and a flexible plastic substrate. CONSTITUTION: A BTO(BaTiO3) thin film is formed on both sides of a flexible substrate. The flexible substrate and the BTO thin film are formed in a sealing member(401). A metal line(801) transmits the current generated from the BTO thin film to the outside. The metal line is connected to a nano generator. The movement of internal organs generates a current.

    Abstract translation: 目的:提供生物纳米发生器及其制造方法,以通过使用压电材料和柔性塑料基板产生高效电流。 构成:在柔性基板的两侧形成BTO(BaTiO 3)薄膜。 柔性基板和BTO薄膜形成在密封部件(401)中。 金属线(801)将从BTO薄膜产生的电流传输到外部。 金属线连接到纳米发生器。 内脏的运动产生一种现象。

    플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자
    4.
    发明授权
    플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자 有权
    用于制造由其制造的柔性装置和柔性装置的方法

    公开(公告)号:KR101098560B1

    公开(公告)日:2011-12-26

    申请号:KR1020090087458

    申请日:2009-09-16

    Abstract: 본발명에따른플렉서블소자제조방법은상기방법은복수의소스, 드레인영역을포함하는실리콘기판상에절연막을적층하는단계; 상기절연막을선택적으로식각하여, 상기실리콘기판을노출시킴으로써상기소스, 드레인영역을포함하는소자형성영역을정의하는단계; 상기절연막을통하여노출된실리콘기판을비등방식각하는단계; 및상기실리콘기판으로부터상기비등방식각된소자형성영역을 PDMS에의하여플렉서블기판으로전사시키는단계를포함하며, 여기에서상기소자형성영역상의절연막너비를달리함으로써, 상기소자형성영역을상기플렉서블기판에선택적으로전사시키며, 요철모양, 즉일정한단차가있는 PDMS를별도로제조, 사용한종래기술과달리평탄한 PDMS를사용하여선택적전사를함으로써기존기술의단점, 예를들면 PDMS의새깅효과, 원하지않는반도체소자의전사, 낮은정렬도등을효과적으로극복할수 있다.

    플렉서블 센서 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 센서
    5.
    发明授权
    플렉서블 센서 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 센서 有权
    制造柔性传感器的方法,由其制造的柔性传感器

    公开(公告)号:KR101073633B1

    公开(公告)日:2011-10-14

    申请号:KR1020090061087

    申请日:2009-07-06

    Abstract: 본발명에따른플렉서블센서제조방법은실리콘기판상에소스, 드레인영역을형성하고, 상기소스, 드레인영역을포함하는소자형성영역을플렉서블기판에전사시키는단계; 상기소자형성영역상에소스, 게이트, 드레인전극을형성하는단계; 상기게이트전극으로부터연장되며, 상기게이트전극보다높은높이의게이트전극패드를형성하는단계; 및상기게이트전극패드에압전소자를형성하는단계를포함하며, 본발명에따른압력및 온도센서는플렉서블기판상에구현되므로, 압전소자제조공정에따른기판의한계를효과적으로극복하였다. 또한, 고성능반도체소자를하나이상제조한후, 이를플렉서블기판에전사시키는방식에의하여센서를제조하므로, 경제성이우수하다. 더나아가, 하나이상의센서를플렉서블기판상에경제적으로제조할수 있는본 발명은센서의검출영역을크게넓힐수 있으며, 또한본 발명에따른플렉서블센서는실제압력이인가되는게이트전극패드를다른전극보다높게구성함으로써, 압력인가에따른작동오류를효과적으로저감시킬수 있다.

    플렉서블 이차전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 이차전지
    6.
    发明公开
    플렉서블 이차전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 이차전지 失效
    柔性二次电池的制造方法,由其制造的柔性二次电池

    公开(公告)号:KR1020110038212A

    公开(公告)日:2011-04-14

    申请号:KR1020090095406

    申请日:2009-10-08

    Inventor: 이건재 박귀일

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a flexible secondary cell is provided to improve properties of a secondary battery, to avoid restrictions of processes caused by a flexible printed circuit board, and to improve secondary battery characteristics according to high temperature processing. CONSTITUTION: A method for manufacturing a flexible secondary cell comprises the steps of: laminating a secondary battery device including an electrode material on a sacrificial substrate; crystallizing the electrode material by treating the device at a high temperature; etching the sacrificial substrate of the lower part of the secondary battery device and separating the secondary battery device from the sacrificial substrate; and transferring the separated secondary battery device to a flexible printed circuit board using a transfer layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造柔性二次电池的方法以改善二次电池的性能,以避免由柔性印刷电路板引起的工艺的限制,并根据高温处理改善二次电池特性。 构成:制造柔性二次电池的方法包括以下步骤:在牺牲基板上层叠包括电极材料的二次电池装置; 通过在高温下处理该装置使电极材料结晶; 蚀刻二次电池器件的下部的牺牲衬底并将二次电池器件与牺牲衬底分离; 并使用转印层将分离的二次电池装置转移到柔性印刷电路板。

    플렉서블 센서 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 센서
    7.
    发明公开
    플렉서블 센서 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 센서 有权
    制造柔性传感器的方法,由其制造的柔性传感器

    公开(公告)号:KR1020110003692A

    公开(公告)日:2011-01-13

    申请号:KR1020090061087

    申请日:2009-07-06

    CPC classification number: H01L29/66477 G01L1/16 H01L41/047

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a flexible sensor and the flexible sensor manufactured by the same are provided to effectively reduce operational errors according to the application of pressure by forming a gate electrode or a drain electrode pad at a position higher than the position of other electrode. CONSTITUTION: A source region and a drain region are formed on a silicon substrate(100). An element forming region including the source region and the drain region is transferred on a flexible board(170). A source electrode, a gate electrode, and a drain electrode are formed on the element forming region. A gate electrode pad is formed. The height of the gate electrode pad is higher than that of the gate electrode. A piezoelectric element is formed in the gate electrode pad.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造柔性传感器的方法和由其制造的柔性传感器,以通过在比其他电极的位置高的位置处形成栅电极或漏电极焊盘来有效地降低根据压力施加的操作误差 。 构成:在硅衬底(100)上形成源极区和漏极区。 包括源极区域和漏极区域的元件形成区域被传送到柔性板(170)上。 源极电极,栅电极和漏电极形成在元件形成区域上。 形成栅极电极焊盘。 栅电极焊盘的高度高于栅电极的高度。 在栅电极焊盘上形成压电元件。

    플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터
    8.
    发明公开
    플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 有权
    制造柔性纳米光子和柔性纳米光栅的方法

    公开(公告)号:KR1020150095399A

    公开(公告)日:2015-08-21

    申请号:KR1020140016655

    申请日:2014-02-13

    CPC classification number: H01L35/34 H01L35/04 H01L35/22

    Abstract: 투명 희생 기판 전면에 압전물질층을 적층하는 단계; 상기 압전물질층을 플렉서블 기판에 접합시키는 단계; 상기 투명 희생 기판 후면방향으로 레이저 빔을 조사하여, 상기 압전물질층을 상기 투명 희생 기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 압전물질층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법이 제공된다.

    Abstract translation: 本发明提供能够产生足够水平的电力的柔性纳米发电机及其制造方法。 提供一种柔性纳米发生器的制造方法,其特征在于包括以下步骤:在透明牺牲基板的正面上堆叠压电元件层; 将压电元件层接合到柔性基板上; 将激光束照射到所述透明牺牲基板的后表面,以及将所述压电元件层与所述透明牺牲基板分离; 并在分离的压电元件层上形成电极。

    플라스틱 나노제너레이터 및 그 제조방법
    10.
    发明公开
    플라스틱 나노제너레이터 및 그 제조방법 有权
    柔性纳米粒子及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130008699A

    公开(公告)日:2013-01-23

    申请号:KR1020110069203

    申请日:2011-07-13

    Inventor: 이건재 박귀일

    CPC classification number: H02N2/18 H01L41/053 H02J7/00 H02N2/22

    Abstract: PURPOSE: A plastic nanogenerator and a manufacturing method thereof are provided to generate current at high efficiency according to the bending of a plastic substrate by coupling a piezoelectric element and the flexible plastic substrate. CONSTITUTION: A plastic nanogenerator is arranged in both sides of a plastic substrate and comprises first and second piezoelectric elements. The first and second piezoelectric elements are made of a piezoelectric material layer and a metal layer, respectively. A nano self-generator is used in an automatic heart defibrillator and permanently supplies electricity. [Reference numerals] (AA) Automatic heart defibrillator; (BB) Rectifier; (CC) High-efficiency nano self-generator

    Abstract translation: 目的:提供一种塑料纳米发生器及其制造方法,其通过将压电元件与柔性塑料基板连接而根据塑料基板的弯曲而高效率地产生电流。 构成:塑料纳米发生器布置在塑料基板的两侧,并包括第一和第二压电元件。 第一和第二压电元件分别由压电材料层和金属层制成。 纳米自发电机用于自动心脏除颤器,并永久供电。 (附图标记)(AA)自动心脏除颤器; (BB)整流器; (CC)高效纳米自发电机

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