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公开(公告)号：KR1020130121203A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020120043290
申请日：2012-04-25
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B29C64/135 , B29C64/277 , B29C64/393 , B33Y10/00 , B33Y50/02
Abstract: The present invention relates to an autofocusing method for a two-photon photopolymerization nanofabrication system, which comprises the following: a laser source outputting ultrashort pulse laser beam capable of causing Twophoton Absorption Phenomenon in an autofocusing system for a two-photon photopolymerization nanofabrication system using fluorescence of pre-two-photon absorption region; a Galvano shutter converting a laser beam route extended; a mirror converting the route by reflecting laser beam outputted by the laser source; an object lens for forming focus for reflected light reflected from the mirror; a substrate part including two-photon photopolymerization resin on the sub strate for forming a micro/nano-structure; a stage for transporting the substrate to X, Y and Z axis; a CCD camera extracting fluorescence force created in the resin on the substrate; and a control computer automatically controlling the location of the stage for moving the substrate to a searched location by searching the focus location automatically using fluorescence force extracted by the CCD camera.
Abstract translation: 本发明涉及一种双光子光聚合纳米制造系统的自聚焦方法，该系统包括以下步骤：在双光子光聚合纳米制造系统中使用荧光的自动聚焦系统中输出能够引起二光子吸收现象的超短脉冲激光束的激光源 的前双光子吸收区; Galvano快门转换激光束路径延长; 通过反射由激光源输出的激光束来转换路线的镜子; 用于形成从反射镜反射的反射光的聚焦的物镜; 包括用于形成微/纳米结构的子台上的双光子光聚合树脂的基片部分; 用于将衬底输送到X，Y和Z轴的阶段; 提取在基板上的树脂中产生的荧光力的CCD照相机; 并且控制计算机通过使用由CCD照相机提取的荧光强度自动搜索焦点位置来自动控制用于将基板移动到搜索位置的平台的位置。
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公开(公告)号：KR101038474B1
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090039166
申请日：2009-05-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 자동 초점 조절 기능을 구비한 3차원 미세구조물 제조 시스템이 개시된다. 본 발명의 3차원 미세구조물 제조 시스템은, 펨토초 레이저로부터 전달된 레이저 빔의 경로를 변경하고 가공하는 레이저 빔 가공부, 가공된 레이저 빔을 초점 형성하여 조사하는 대물 렌즈, 유리 기판의 일 면에 위치하며 대물 렌즈를 통해 조사되는 레이저 빔에 의해 이광자 흡수 현상을 일으켜 형광을 발생시키는 광경화성 수지, 유리 기판의 위치를 이동시키는 이동 스테이지, 대물 렌즈로부터 조사되는 레이저 빔을 촬영하는 CCD 카메라 및 이동 스테이지의 초기 위치를 설정하고, 이동 스테이지를 대물 렌즈가 위치한 Z축 방향으로 이동시키면서 CCD 카메라를 통해 촬영된 레이저 빔의 영상으로부터 형광을 검출하여 이동 스테이지의 위치를 자동 조절하는 제어 컴퓨터를 포함한다.
펨토초 레이저, 이광자 흡수 현상, 형광, 자동 초점 조절-
公开(公告)号：KR1020120125580A
公开(公告)日：2012-11-16
申请号：KR1020110042776
申请日：2011-05-06
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82B3/0004 , B82B3/0038 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A manufacturing system of nano and micro structure on optical fiber crossed sections using two-photon photopolymerization is provided to freely manufacture nano and micro sized structure in desired forms. CONSTITUTION: A manufacturing system of nano and micro structure on optical fiber crossed sections using two-photon photopolymerization comprises a femtosecond laser light source(100), a light transmitting unit(200), an optical fiber mount(400), a two-photon photopolymerization resin, a stage(401), a camera(500) and a terminal(600). The light transmitting unit includes ray expanders(300,302), and delivers the expanded light. The ray expander expands the light output from the femtosecond laser light source. The optical fiber mount supports optical fiber(405) in which two dimensional pattern or three-dimensional structure. The two-photon photopolymerization resin contacts with a cover glass in order to generate two-photon photopolymerization from the light transmitting unit. The stage transfers the optical fiber mount. The camera records the optical fiber in which two dimensional pattern or three-dimensional structure is formed. The terminal controls the light transmitting unit, the stage and the camera. [Reference numerals] (100) Femtosecond laser
Abstract translation: 目的：提供使用双光子光聚合的光纤交叉部分上的纳米和微结构的制造系统，以自由制造所需形式的纳米和微尺寸结构。 构成：使用双光子光聚合的光纤交叉部分上的纳米和微结构的制造系统包括飞秒激光光源（100），光发射单元（200），光纤安装座（400），双光子 光聚合树脂，载物台（401），照相机（500）和端子（600）。 光发射单元包括光线扩展器（300,302），并且传送扩展的光。 射线扩展器扩展飞秒激光光源的光输出。 光纤支架支持其中二维图案或三维结构的光纤（405）。 双光子光聚合树脂与盖玻璃接触，以便从光发射单元产生双光子光聚合。 舞台传送光纤座。 相机记录其中形成二维图案或三维结构的光纤。 终端控制光发射单元，舞台和相机。 （附图标记）（100）飞秒激光
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101340386B1
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：KR1020120043290
申请日：2012-04-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 선이광자흡수영역의 형광을 이용한 이광자 광중합 나노제작 시스템용 자동 초점 방법에 관한 것으로, 선이광자흡수영역의 형광을 이용한 이광자 광중합 나노제작 시스템용 자동 초점 시스템에 있어서, 이광자 흡수 현상을 일으킬 수 있는 극초단 펄스 레이저광을 출력하는 레이저 소스, 상기 확장된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 갈바노셔터, 상기 레이저 소스에 의해 출력된 레이저광을 반사하여 경로를 변경하는 미러, 상기 미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하기 위한 대물렌즈, 상기 초점에 의해 제작 공정이 시작되는 기판과, 이광자 광중합을 일으켜 마이크로/나노 구조물을 형성하기 위한 기판 위의 이광자 광중합 레진을 포함하는 기판부, 상기 기판부를 X, Y, Z축으로 이동시키는 스테이지, 상기 기판부의 이광자 광중합 레진에서 발생하는 형광의 세기를 검출하는 CCD 카메라 및 상기 CCD 카메라에서 검출된 형광의 세기를 이용하여 초점의 위치를 자동으로 탐색하고, 상기 기판부의 기판을 탐색된 위치로 이동시키기 위하여 상기 3축 이동 스테이지의 위치를 자동 조절하는 제어컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101286455B1
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020110042776
申请日：2011-05-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트, 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진, 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101020149B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020080042989
申请日：2008-05-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 3차원 미세패턴 형성장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 컴퓨터 재생을 통한 홀로그래픽 리소그래피를 이용하는 공간광변조기와 이광자 흡수 폴리머화를 이용한 미세패턴 형성시 이광자 흡수를 일으킬수 있는 펨토초레이저를 발생하여 2차원의 미세패턴을 적층하여 3차원의 미세패턴을 형성한다. 따라서, 본 발명의 장치는 리소그래피를 이용한 미세패턴을 형성함에 있어 마스크제작 비용을 절감하고 마스크 오차에 따른 패턴형성 조정 피드백에 대한 공정 시간을 감소시켜 빠른 시간내에 정확한 3차원의 미세 패턴을 형성할 수 있는 효과를 제공한다.
펨토초레이저, 이광자, 홀로그램-
公开(公告)号：KR1020100120383A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：KR1020090039166
申请日：2009-05-06
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B23K26/048 , B23K26/032 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0861 , B29C64/135
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional ultrafine structure fabrication system and an auto-focusing control method thereof are provided to automatically adjust the focus of a laser beam by controlling the position of a moving stage in which a photocurable resin is placed. CONSTITUTION: A 3-dimensional ultrafine structure fabrication system(100) comprises a femtosecond laser(110), a laser beam processing unit(120), an objective lens(130), a glass substrate(140), a photocurable resin(150), a moving stage(160), a CCD camera(170), and a control computer(180). The laser beam processing unit processes the laser beam delivered from the femtosecond laser by changing the path. The objective lens focuses the laser beam processed by the laser beam processing unit. The glass substrate is located below the objective lens. The photocurable resin generates fluorescence with the laser beam irradiated through the objective lens. The moving stage transfers the glass substrate in one or more of X-, Y- and Z-axis directions. The CCD camera takes an image of the laser beam irradiated from the objective lens. The control computer sets the initial position of the moving stage and automatically controls the position of the moving state according to the fluorescence detected from the laser beam image obtained by the CCD camera.
Abstract translation: 目的：提供三维超细结构制造系统及其自动聚焦控制方法，通过控制放置光固化树脂的移动台的位置来自动调节激光束的焦点。 构造：三维超细结构制造系统（100）包括飞秒激光（110），激光束处理单元（120），物镜（130），玻璃基板（140），光固化树脂（150） ，移动台（160），CCD相机（170）和控制计算机（180）。 激光束处理单元通过改变路径来处理从飞秒激光器传送的激光束。 物镜聚焦由激光束处理单元处理的激光束。 玻璃基板位于物镜的下方。 光固化树脂通过物镜照射的激光束产生荧光。 移动台在X，Y和Z轴方向中的一个或多个中转移玻璃基板。 CCD相机拍摄从物镜照射的激光束的图像。 控制计算机设置移动台的初始位置，并根据由CCD照相机获得的激光束图像检测到的荧光自动控制移动状态的位置。
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公开(公告)号：KR1020090117092A
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：KR1020080042989
申请日：2008-05-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70283
Abstract: PURPOSE: A micro patterning apparatus of 3-dimension is provided to reduce mask production costs when micro-pattern using lighotraphy is formed, and to reduce process time for pattern formation adjustment feedback according to mask errors. CONSTITUTION: A micro patterning apparatus of 3-dimension comprises a light source generating femtosecond laser(31) capable of causing two photon absorption; a laser beam control module(32) for controlling the femtosecond laser; a laser beam expander(33) for expanding the laser light outputted by the laser beam control module; a space light modulator(35) permeating hologram phase to the expanded laser light by applying a light-modulating; a back mirror(36) which outputs by reflecting the transmitted modulated light; a high aperture microscope lens(37) for forming the focus of reflection light reflected from the back mirror; a glass substrate(39) in which an image is formed by the focus; a two-photon absorbing polymer resin(40) for forming micro-pattern on the glass substrates; a stage(38) which moves the glass substrates in an Z-axis; and a control computer(34).
Abstract translation: 目的：提供一种三维微图案装置，以便在形成微图案时减少掩模生产成本，并根据掩模误差减少图案形成调整反馈的处理时间。 构成：三维微图案装置包括能产生双光子吸收的产生飞秒激光的光源（31）; 用于控制飞秒激光的激光束控制模块（32）; 用于扩大由激光束控制模块输出的激光的激光束扩展器（33）; 空间光调制器（35），通过施加光调制而将全息相渗透到所述扩大的激光; 后反射镜（36），其通过反射所传输的调制光而输出; 用于形成从后视镜反射的反射光的焦点的高孔径显微镜（37）; 通过焦点形成图像的玻璃基板（39）; 用于在玻璃基板上形成微图案的双光子吸收聚合物树脂（40） 使玻璃基板沿Z轴移动的台架（38） 和控制计算机（34）。
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