公开(公告)号：KR1020080099431A

公开(公告)日：2008-11-13

申请号：KR1020070044961

申请日：2007-05-09

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 홍덕화 ,  정중기 ,  조형석

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B11/25 ,  G06T7/521 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/148

Abstract: A shape measuring apparatus and method of a partially-specular object can broaden the measurement range to a partially-specular object while maintaining the advantage of the active optical measurement method. A shape measuring apparatus(100) of a partially-specular object comprises a light emitting unit(110), a light-receiving unit(120), and a control unit. The light emitting unit irradiates the light to the surface of a partially-specular object. The light-receiving unit measures topology data of the partially-specular object through the light reflected from the surface of the partially-specular object. The light-receiving unit comprises a spatial light modulator(122) controlling the attenuation ratio of the pixel which corresponds to the spot photo-saturated in a camera(125). The control unit(130) detects the pixels in which the light saturation occurs and controls the attenuation ratio of the pixels of the spatial light modulator which correspond to the pixels. Therefore, the final image data in which the light saturation and blooming do not occurs.

Abstract translation: 部分镜面物体的形状测量装置和方法可以将测量范围扩大到部分镜面物体，同时保持有源光学测量方法的优点。 部分镜面物体的形状测量装置（100）包括发光单元（110），光接收单元（120）和控制单元。 发光单元将光照射到部分镜面物体的表面。 光接收单元通过从部分镜面物体的表面反射的光来测量部分镜面物体的拓扑数据。 光接收单元包括空间光调制器（122），其控制与相机（125）中光饱和点相对应的像素的衰减比。 控制单元（130）检测发生光饱和的像素，并控制与像素对应的空间光调制器的像素的衰减比。 因此，不发生光饱和和光晕的最终图像数据。

公开(公告)号：KR100887184B1

公开(公告)日：2009-03-10

申请号：KR1020070044961

申请日：2007-05-09

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 홍덕화 ,  정중기 ,  조형석

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B11/25 ,  G06T7/521 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/148

Abstract: 이 발명은 부분 경면(Partially Specular) 물체의 표면에 빛을 조사하는 발광수단과; 부분 경면 물체의 표면에서 반사되는 빛을 통해 부분 경면 물체의 형상 정보를 측정하되, 카메라에서 광포화되는 지점과 대응하는 픽셀의 감쇄율을 조절하는 공간 광변조기(Spatial Light Modulator)를 구비하는 수광수단; 및 광포화가 일어난 픽셀들을 찾아내고 그에 대응하는 공간 광변조기의 픽셀들의 감쇄율을 제어함으로써, 광포화와 블루밍(Blooming)이 나타나지 않은 최종적인 영상 정보를 구하도록 하는 제어수단을 포함한다. 이 발명은 공간 광변조기를 통해 경면 반사 성분(Specular Lobe)의 투과율을 낮춤으로써, 부분 경면 특성을 가진 물체에 대한 광포화와 블루밍이 발생되는 것을 방지해 최종적으로 부분 경면 물체에서도 광계측이 가능하다. 따라서 이 발명은 무접촉, 빠른 계측, 높은 정밀도의 능동 광계측 방법의 장점을 유지한 상태로 그 측정범위를 부분 경면 물체까지 넓힐 수 있다.

Abstract translation: 本发明可以通过降低通过空间光调制器的镜面波的透射率来防止产生具有部分镜面特性的物体的光饱和度和光晕，从而对部分镜面物体进行光学测量。 因此，本发明可以在保持非接触，快速测量和高精度的有源光学测量方法的优点的状态下，将测量范围扩大到部分镜面物体。