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公开(公告)号：KR102222772B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190122140A
申请日：2019-10-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C14/20 , C23C14/3442 , B82B3/0009 , B01J23/8926 , B01J23/8966 , B01J35/02 , B01J37/0215 , B82B1/005 , C23C14/221 , C23C14/5833 , C23C14/5873 , G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 이차 스퍼터링 현상을 이용하여 고분자 패턴이 형성된 기판에 다성분 물질의 필름을 증착한 다음, 2회의 이온식각공정을 통해 규칙적인 배열을 가지며, 다양한 조성의 조합이 가능한 다성분계 나노패턴을 제작할 수 있으며, 규칙적으로 배열된 다성분계 나노구조체를 필요로 하는 트랜지스터, 유기광전자소자, 촉매, 가스 센서 등의 응용 분야에 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2016129782A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/KR2015/012377
申请日：2015-11-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/1343
CPC classification number: G02F1/1343
Abstract: 본 발명은 매크로 프리패턴이 형성된 기판을 에칭하여 프리패턴의 측면에 전도성 물질을 증착한 다음, 매크로 프리패턴을 제거하여 생성되는 투명전극의 제조방법과 상기 투명전극을 이용하는 수직 배향형 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 제조방법으로 제조된 수직배향형 액정표시소자는 검은색이 거의 완벽히 구현되며, 배향막 없이 간단한 물리적 방법만으로 액정의 수직배향이 가능하여 고성능의 디스플레이 제조에 유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造透明电极的方法，该方法是通过蚀刻形成有宏观预制图案的基板而产生的，在预图案的侧面上沉积导电材料，然后去除宏预制图案 以及使用该透明电极的垂直取向液晶显示装置的制造方法。 使用本发明的制造方法制造的垂直排列的液晶显示装置几乎完美地实现黑色，并且只能通过简单的物理方法使液晶垂直取向而不用取向膜，因此可用于生产 的高性能显示器。
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公开(公告)号：WO2016125996A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/012376
申请日：2015-11-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 매크로 프리패턴이 형성된 기판을 에칭하여 매크로 프리패턴의 측면에 편광물질을 증착한 다음, 매크로 프리패턴을 제거하여 수득하는 매크로 프리패턴을 이용한 편광 패널의 제조방법에 관한 것으로서, 대면적에 수십 나노미터 두께의 전도성 격벽을 매크로 프리패턴을 이용하여 이온 식각 공정을 통해 형성함으로써, 기존의 편광 패널에서 문제가 되었던 투명도를 획기적으로 개선할 수 있고, 편광도를 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 설계안과 같은 고정밀의 편광 패널을 손쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过使用宏观预制图来制造偏振片的方法，该偏振片是通过蚀刻具有宏观预制图案的基底而获得的，以便将偏振材料沉积在宏观预制片的侧表面上 模式，并通过删除宏预模式。 通过使用宏观预图案，通过离子蚀刻工艺在大面积上形成厚度为几十纳米的导电屏障，可以显着地减轻常规偏光板的有问题的透明度并且可以提高极化度 。 此外，本发明可以容易地制造设计图中的高精度偏光板等高精度偏光板。
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公开(公告)号：KR102176525B1
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：KR20180135893
申请日：2018-11-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은희생층을이용한계층적주름구조체의제조방법및 이로부터제조된계층적주름구조체에관한것으로서, 희생층(sacrificial layer)을이용하여희생층코팅, 주름생성및 희생층제거단계를반복수행하여계층적주름구조체를제조함으로써다양한물질의사용이가능하고주름의계층개수및 크기를조절할수 있으며, 높은표면적을요구하는촉매, 초소수성및 옴니포빅표면분야및 가스센서분야에도적용가능한계층적주름구조체를제조할수 있다.
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公开(公告)号：KR102222772B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190122140
申请日：2019-10-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은이차스퍼터링현상을이용하여고분자패턴이형성된기판에다성분물질의필름을증착한다음, 2회의이온식각공정을통해규칙적인배열을가지며, 다양한조성의조합이가능한다성분계나노패턴을제작할수 있으며, 규칙적으로배열된다성분계나노구조체를필요로하는트랜지스터, 유기광전자소자, 촉매, 가스센서등의응용분야에적용할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160099451A
公开(公告)日：2016-08-22
申请号：KR1020150125410
申请日：2015-09-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/1343 , G02F1/1337
Abstract: 본발명은매크로프리패턴을이용한투명전극및 수직배향형액정표시소자의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는매크로프리패턴이형성된기판을에칭하여프리패턴의측면에전도성물질을증착한다음, 매크로프리패턴을제거하여생성되는투명전극의제조방법과상기투명전극을이용하는수직배향형액정표시소자의제조방법에관한것이다. 본발명에따른제조방법으로제조된수직배향형액정표시소자는검은색이거의완벽히구현되며, 배향막없이간단한물리적방법만으로액정의수직배향이가능하여고성능의디스플레이제조에유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过使用宏观预图案来制造透明电极的方法和垂直取向的液晶显示装置，更具体地说，涉及一种通过蚀刻具有宏观预处理的基板来制造透明电极的方法， 图案形成在其上，在宏预制图案的侧表面上沉积导电材料，以及去除宏预制图案，以及通过使用透明电极制造垂直取向的液晶显示装置的方法。 通过本发明的制造方法制造的垂直取向液晶显示装置几乎可以完美地实现黑色，并且仅通过简单的物理方法垂直取向不具有取向层的液晶，从而可用于制造高 性能显示。
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公开(公告)号：KR1020160093517A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：KR1020150120479
申请日：2015-08-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은상세하게는매크로프리패턴이형성된패널기판에격벽물질을증착하거나패널기판에격벽물질을도포한다음매크로프리패턴을형성한후에에칭을통하여격벽물질을매크로프리패턴의측면에재증착하여제조하는매크로프리패턴을이용한보안패널의제조방법에관한것으로, 기존보안필름과대비하여투과도가높고사용자친화적이며가공이용이하여경제성이높고, 터치스크린패널이나편광패널과융합한다기능패널을제공할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明特别涉及通过使用宏预制图案来制造安全面板的方法，其包括以下步骤：在其上形成有宏预成型图案的面板基板上沉积分隔壁材料或施加分隔壁 材料到面板基板; 形成宏预制图; 并且通过蚀刻将分隔壁材料重新沉积在宏预制图案的一侧上以制造安全面板。 本发明涉及通过使用宏预制图来制造安全面板的方法，其能够通过简单的处理特征提供具有高透射率，用户友好特征和高经济效率的多功能面板，与 现有的安全膜，并且与触摸屏面板或偏振面板组合。
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公开(公告)号：KR1020160091807A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：KR1020150120478
申请日：2015-08-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G06F3/041
Abstract: 본발명은매크로프리패턴이형성된패널기판에패널물질을증착하거나패널기판에패널물질을도포한다음매크로프리패턴을형성한후에에칭을통하여패널물질을매크로프리패턴의측면에재증착하는매크로프리패턴을이용한터치스크린패널의제조방법에관한것으로, 시인성문제를해결하기위한추가적인오버코팅공정등의추가적인공정비용없고, 고가의장비없이나노수준의구조를만들며, 시인성과휘도성능이크게향상되어저항값이낮고, 유연성을가지면서투명도가높은전극을제공할수 있으며, 베젤회선의추가증착없이, 터치스크린패널과베젤회선을한번에제조할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备触摸屏面板的方法，该触摸屏面板使用宏预成型图案，该预先图案通过在将面板材料沉积在面板上之后通过蚀刻而重新沉积在作为面板材料的宏观预图案侧 在其上形成宏预制图案的基板或者在面板基板上涂覆面板材料之后形成宏观预制图案。 为了解决可见性问题，没有额外的过度涂层工艺的额外工艺成本。 可以在没有昂贵装置的情况下制造纳米级的结构。 可视性和亮度性能大大提高，因此可以提供具有低电阻值，柔性和高透明度的电极。 另外，没有额外的边框线条的沉积，可以一次准备触摸屏面板和边框线。
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公开(公告)号：KR1020160096006A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020150125411
申请日：2015-09-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본발명은매크로프리패턴을이용한편광패널의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는매크로프리패턴이형성된기판을에칭하여매크로프리패턴의측면에편광물질을증착한다음, 매크로프리패턴을제거하여수득하는매크로프리패턴을이용한편광패널의제조방법에관한것이다. 본발명은대면적에수십나노미터두께의전도성격벽을매크로프리패턴을이용하여이온식각공정을통해형성함으로써, 기존의편광패널에서문제가되었던투명도를획기적으로개선할수 있고, 편광도를높일수 있는효과가있다. 또한, 본발명은설계안과같은고정밀의편광패널을손쉽게제조할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用宏观预图案制造偏振片的方法，其特征在于包括以下步骤：蚀刻形成有宏观预制图案的基片，并将光学材料沉积在宏预制图的侧面上; 并且去除宏预取模以获得衬底。 本发明通过使用宏观预图案的离子蚀刻工艺在大尺寸区域上形成厚度为几十纳米的导电隔板，从而大大提高了传统偏光板中的问题和提高偏振度的透明度。 此外，本发明可以如其中提出的设计那样以高精度容易地制造偏振片。
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10.发明公开
公开(公告)号：KR1020160087666A
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR1020150006921
申请日：2015-01-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/13378
Abstract: 본발명은패턴의구조적변화를이용한선경사각의조절을통한빠른응답속도를가지는액정디스플레이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판바닥에전사된프리-패턴(pre-pattern)을비대칭으로식각한다음, 이온밀링을이용하여비대칭으로식각된프리-패턴의일측면에패턴을형성하는것을특징으로하는경사각이조절된패턴의제조방법과경사각이조절된패턴을이용하여빠른응답속도를가지는액정디스플레이를제조하는방법에관한것이다. 본발명에따른패턴의구조적변화를이용한선경사각의조절을통한빠른응답속도를가지는액정디스플레이의제조방법은고가의이온빔이나폴리아미드의조성을변경하는등의화학적방법을사용하지않고액정의선경사각이조절가능하며, 상기방법으로제조된디스플레이의응답속도가빨라지므로, 경제적이고고효율을가지는액정디스플레이의제조에유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用图案的结构变化来调整预倾斜角度而具有快速响应速度的液晶显示器的制造方法，更具体地说，涉及一种制造倾斜角为 并且通过使用调整倾斜角的图案来制造具有快速响应速度的液晶显示器的方法，其中转印在基板底部的预图案被不对称蚀刻并且图案形成在一侧 的不对称蚀刻的预图案通过使用离子铣削。 通过使用根据本发明的图案的结构变化通过调节预倾角来制造具有快速响应速度的液晶显示器的方法对于制造经济高效的液晶显示器是有用的，因为预倾斜 角度可以调节而不使用昂贵的离子束或化学方法如改变聚酰胺的组成，并且通过该方法制造的显示器的响应速度是快速的。
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