公开(公告)号：KR101742669B1

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：KR1020160028171

申请日：2016-03-09

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김신현 ,  김주현 ,  심태섭 ,  제광휘

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/028 ,  H01L21/033 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은고분자단량체층을기판상에형성하는단계; 및산소공급막을포함하는포토마스크를통해광을상기고분자단량체층에조사하는단계;를포함하되, 상기광을고분자단량체층에조사하는단계는상기단량체층에산소농도구배를형성시켜시간의존적으로단량체를중합하여구조체를성장시키는것을특징으로하는고분자마이크로구조체의제조방법법을제공한다. 본발명에따른고분자구조체의제조방법은동적환경제어를통하여 3D 마이크로구조체를일관되고재현성있게제조할수 있으며, 구조체의성장경로, 성장속도및 형상을제어하여수요자가원하는형상이나모양을제공할수 있다. 또한, 본발명에따른고분자구조체의제조방법은원하는기판상에고분자구조체를성장시킬수 있어공정을간소화시킬수 있다.

公开(公告)号：KR102136328B1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：KR1020180056774

申请日：2018-05-17

Applicant: 사회복지법인 삼성생명공익재단 ,  한국과학기술원

Inventor： 박웅양 ,  문희성 ,  김신현 ,  제광휘

IPC: C12Q1/6869 ,  C12Q1/6806 ,  B01L3/00