公开(公告)号：KR102229731B1

公开(公告)日：2021-03-22

申请号：KR1020180086410A

申请日：2018-07-25

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  최낙원 ,  신효근 ,  최웅선 ,  윤준보 ,  윤건욱

IPC: G01N21/64 ,  F21V8/00 ,  G02B21/36

CPC classification number: G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G02B21/362 ,  G02B6/0068 ,  G01N2201/0221

Abstract: 다중 형광 이미징 시스템은, 상면은 다수의 구형 돌기를 포함하고, 저면은 평평한 평면으로 이루어진 도광판, 상기 도광판보다 좁은 면적을 갖고, 상기 도광판의 저면 아래에 간격을 가지고 이격되어 부착되는 이미지 센서, 및 상기 도광판의 측면부의 적어도 일부에 배치되는 복수 개의 광원을 포함하고, 상기 도광판의 상면에 도포되는 형광 시료는 구형 돌기를 통해 상기 복수 개의 광원으로부터 상기 도광판 내로 조사되는 빛을 전달받는다.

公开(公告)号：KR1020040006923A

公开(公告)日：2004-01-24

申请号：KR1020020041515

申请日：2002-07-16

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  윤광석 ,  윤의식

IPC: G02F1/015

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  Y10S359/904

Abstract: PURPOSE: A micromirror driver driven by electromagnetic force and a method for manufacturing the same are provided to drive a micromirror centering on two axes by electromagnetic force generated by using an electromagnetic field, thereby obtaining large force and large revolving angle. CONSTITUTION: If a current is applied to the first to fourth leading wires(510,520,530,540), electromagnetic force generated by the current flowing in the first leading wire and the second leading wire is in an opposite direction of electromagnetic force generated by the current flowing in the third leading wire and the fourth leading wire, thereby a micromirror(300) revolves centering on first and second torsion bars. If a current is applied to fifth and sixth leading wires(610,620), electromagnetic force generated by the current flowing in the fifth leading wire is in an opposite direction of electromagnetic force generated by the current flowing in the sixth leading wire, thereby the micromirror revolves centering on third and fourth torsion bars.

Abstract translation: 目的：提供一种由电磁力驱动的微镜驱动器及其制造方法，以通过使用电磁场产生的电磁力驱动以两轴为中心的微镜，从而获得较大的力和大的旋转角度。 构成：如果向第一至第四引线（510,520,530,540）施加电流，则由在第一引线和第二引线中流动的电流产生的电磁力与由电流流过的电流产生的电磁力的方向相反 第三导线和第四导线，由此微反射镜（300）以第一和第二扭杆为中心旋转。 如果对第五和第六导线（610,620）施加电流，则由在第五导线中流动的电流产生的电磁力与由第六导线中流动的电流产生的电磁力的方向相反，因此微反射镜 以第三和第四扭杆为中心。

公开(公告)号：KR100439700B1

公开(公告)日：2004-07-12

申请号：KR1020020041515

申请日：2002-07-16

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  윤광석 ,  윤의식

IPC: G02F1/015

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  Y10S359/904

Abstract: Disclosed is a micromirror actuator having a two-axis freedom and actuated by an electromagnetic force and fabrication method thereof. The micromirror actuator includes a substrate, a frame configured to be connected with the substrate, a micromirror configured to be connected with the frame, first and second torsion bars connecting the substrate with the frame, third and fourth torsion bars connecting the frame with the micromirror, four interdigitated cantilevers configured to be connected to the substrate, four connecting bars connecting the four interdigitated cantilevers with the frame, interconnection lines formed on the four interdigitated cantilevers and the micromirror, and first and second magnets installed outside the substrate. Since the micromirror actuator of the present invention can be actuated around two axes by electromagnetic force generated by electromagnetic field applied from outside, it is possible to obtain large force and large rotational angle. In addition, the micromirror actuator has a mechanically robust structure endurable against external impact, and is operable at a low voltage of 5V or loss. Further, it is possible to obtain a flat mirror surface sine the upper silicon layer of the SOI substrate is used as the mirror surface.

Abstract translation: 公开了一种具有两轴自由度并由电磁力驱动的微镜致动器及其制造方法。 微镜致动器包括基板，构造成与基板连接的框架，构造为与框架连接的微镜，将基板与框架连接的第一和第二扭杆，将框架与微镜连接的第三和第四扭杆 ，配置为连接到基板的四个叉指悬臂，将四个叉指悬臂与框架连接的四根连接杆，形成在四叉指悬臂和微镜上的互连线以及安装在基板外部的第一和第二磁体。 由于本发明的微镜致动器可以通过由外部施加的电磁场产生的电磁力围绕两个轴致动，所以可以获得大的力和大的旋转角度。 另外，微镜致动器具有耐受外部冲击的机械坚固结构，并且可在5V或低损耗电压下工作。 此外，可以使用SOI衬底的上硅层作为镜面来获得平坦的镜面表面。

公开(公告)号：KR100530010B1

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：KR1020030080198

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  윤의식

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H50/005 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2050/007

Abstract: 본 발명에 따른 토글방식의 SPDT 마이크로 스위치는, 자장발생수단에 의해서 발생하는 자장을 이용해서 생긴 전자기력으로 구동하고, 정전기력으로 스위칭 상태를 유지하면서, 입력포트가 항상 두개의 출력포트 중의 어느 하나에 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력을 이용해서 스위칭을 하기 때문에 신뢰성 있는 동작이 가능하고, 기계적으로도 강한 구조를 가질 수 있으며, 높은 전력신호를 다룰 수 있다. 또한, 초기 변위를 크게 할 수 있어서 오프 시에 큰 절연(isolation)값을 얻을 수 있다. 스위칭 순간 후에는 전자기력을 이용하지 않고 두 전극 사이가 가까워진 상태에서의 정전기력을 이용해서 온 상태를 유지하기 때문에, 상대적으로 낮은 전압으로 구동이 가능하고, 스위칭 순간에만 전자기력 발생을 위한 전류를 인가하기 때문에 전력소모가 적다. 토글(toggle) 방식으로 하나의 스위치만으로 SPDT를 구현하고, 또 이러한 스위치가 MEMS 제작기법에 의해 하나의 기판 상에 집적되기 때문에 전체적인 소자의 크기가 매우 작다.

公开(公告)号：KR100411328B1

公开(公告)日：2003-12-18

申请号：KR1020010082553

申请日：2001-12-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이형규 ,  조일주 ,  윤준보 ,  윤의식

IPC: G02B5/20

Abstract: PURPOSE: A variable optical filter is provided to vary the wavelength under a low voltage by using the Lorenz force applied to a conductive wire within the magnetic field. CONSTITUTION: A variable optical filter includes a substrate(101), the first reflective body(110), the second reflective body(130), a support body(121), a spring(122), a conductive wire(123), a current supply portion, and a magnetic field supply portion. The first reflective body is formed on the substrate. The second reflective body is formed in parallel to the first reflective body. The support body is used for supporting the second reflective body. The spring is used for connecting the support body with the first reflective body. The conductive wire is formed on the support body and the spring. The current supply portion supplies the current to the conductive wire. The magnetic field supply portion applied the magnetic field to the conductive wire. An effective optical path of an interval between the first reflective body and the second reflective body corresponds to 1/4 of wavelength of an incident ray to a filter.

Abstract translation: 目的：提供一种可变光学滤波器，通过使用施加于磁场内导线的洛伦兹力，在低电压下改变波长。 一种可变光学滤波器，包括基板（101），第一反射体（110），第二反射体（130），支撑体（121），弹簧（122），导线（123）， 电流供应部分和磁场供应部分。 第一反射体形成在基板上。 第二反射体与第一反射体平行地形成。 支撑体用于支撑第二反射体。 弹簧用于将支撑体与第一反射体连接。 导线形成在支撑体和弹簧上。 电流供应部分向导线提供电流。 磁场供应部分向导线施加磁场。 第一反射体和第二反射体之间的间隔的有效光路对应于入射到滤波器的光线波长的1/4。

公开(公告)号：KR1020050046178A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：KR1020030080198

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  윤의식

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H50/005 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2050/007

Abstract: 본 발명에 따른 토글방식의 SPDT 마이크로 스위치는, 자장발생수단에 의해서 발생하는 자장을 이용해서 생긴 전자기력으로 구동하고, 정전기력으로 스위칭 상태를 유지하면서, 입력포트가 항상 두개의 출력포트 중의 어느 하나에 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력을 이용해서 스위칭을 하기 때문에 신뢰성 있는 동작이 가능하고, 기계적으로도 강한 구조를 가질 수 있으며, 높은 전력신호를 다룰 수 있다. 또한, 초기 변위를 크게 할 수 있어서 오프 시에 큰 절연(isolation)값을 얻을 수 있다. 스위칭 순간 후에는 전자기력을 이용하지 않고 두 전극 사이가 가까워진 상태에서의 정전기력을 이용해서 온 상태를 유지하기 때문에, 상대적으로 낮은 전압으로 구동이 가능하고, 스위칭 순간에만 전자기력 발생을 위한 전류를 인가하기 때문에 전력소모가 적다. 토글(toggle) 방식으로 하나의 스위치만으로 SPDT를 구현하고, 또 이러한 스위치가 MEMS 제작기법에 의해 하나의 기판 상에 집적되기 때문에 전체적인 소자의 크기가 매우 작다.

公开(公告)号：KR100319028B1

公开(公告)日：2002-01-05

申请号：KR1019990023367

申请日：1999-06-21

Applicant: 한국과학기술원 ,  에이치엔에스하이텍 (주)

Inventor： 조일주 ,  박은철 ,  조세형 ,  홍성철 ,  윤의식

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G01Q70/16 ,  G01N23/225

Abstract: 본발명은표면주사현미경에사용되는탐침및 그제조방법에관한것이다. 본발명은 격자방향을갖는실리콘을이용하여제작된캔틸레버, 상기캔틸레버를지지하는몸체, 상기캔틸레버의일단에형성된침으로구성되어있으며, 상기몸체의소정영역및 상기캔틸레버에붕소가확산되어있는것을특징으로한다. 그리고, 본발명은실리콘기판위에제 1 마스크층을형성하고, 제 1 마스크층을이용하여실리콘기판을소정깊이로식각하여상기침을형성한다음, 제 1 마스크층을제거하고, 몸체및 캔틸레버가형성되어질영역을제외한실리콘기판위에제 2 마스크층을형성한다. 그런다음, 제 2 마스크층을이용하여몸체의소정영역및 캔틸레버가형성되어질영역에붕소를확산시켜붕소확산층을형성하고, 제 2 마스크층를제거한후, 붕소확산층위에제 3 마스크층을형성하고, 제 3 마스크층을이용하여노출된실리콘기판의소정영역을식각하여몸체및 상기캔틸레버를형성한다.

公开(公告)号：KR1020010003182A

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019990023367

申请日：1999-06-21

Applicant: 한국과학기술원 ,  에이치엔에스하이텍 (주)

Inventor： 조일주 ,  박은철 ,  조세형 ,  홍성철 ,  윤의식

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G01Q70/16 ,  G01N23/225

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a cantilever of an SPM(scanning probe microscope) with a B-diffusion layer on a silicon substrate is provided to manufacture various functions of cantilevers for an SPM with a low-cost material and simple photolithography. CONSTITUTION: To manufacture a cantilever, a specific wafer is formed. A silicon dioxide film(502) is grown on the wafer and then patterned to make a silicon tip. The other portion without the silicon dioxide film is processed by dry etching with freon gas. The silicon dioxide film is grown to be used as a mask for forming a B-diffusion layer and patterned again for selective B diffusion. The B is diffused to form the B-diffusion layer simply on the portion without the silicon dioxide film. The silicon dioxide film is grown to be used as a mask for anisotropic etching for a cantilever. The dioxide film is patterned again for selective etching. On anisotropic etching with a silicon etching solution, the B-diffusion layer and silicon surface(503) function as etching stop layers. Therefore, the cantilever made by the B-diffusion layer is formed.

Abstract translation: 目的：提供一种在硅衬底上制造具有B扩散层的SPM（扫描探针显微镜）的悬臂的方法，以便以低成本材料和简单的光刻制造用于SPM的悬臂的各种功能。 构成：为了制造悬臂，形成特定的晶片。 在晶片上生长二氧化硅膜（502），然后将其图案化以制成硅尖端。 没有二氧化硅膜的另一部分用氟里昂气体干蚀刻加工。 生长二氧化硅膜以用作形成B扩散层的掩模，并再次构图用于选择性B扩散。 B被扩散以便在没有二氧化硅膜的部分上简单地形成B扩散层。 生长二氧化硅膜用作用于悬臂的各向异性蚀刻的掩模。 再次对二氧化硅膜进行图案化以进行选择性蚀刻。 在用硅蚀刻溶液进行各向异性蚀刻时，B扩散层和硅表面（503）用作蚀刻停止层。 因此，形成由B扩散层制成的悬臂。

公开(公告)号：KR102229731B1

公开(公告)日：2021-03-22

申请号：KR1020180086410

申请日：2018-07-25

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  최낙원 ,  신효근 ,  최웅선 ,  윤준보 ,  윤건욱

IPC: G01N21/64 ,  F21V8/00 ,  G02B21/36

Abstract: 다중형광이미징시스템은, 상면은다수의구형돌기를포함하고, 저면은평평한평면으로이루어진도광판, 상기도광판보다좁은면적을갖고, 상기도광판의저면아래에간격을가지고이격되어부착되는이미지센서, 및상기도광판의측면부의적어도일부에배치되는복수개의광원을포함하고, 상기도광판의상면에도포되는형광시료는구형돌기를통해상기복수개의광원으로부터상기도광판내로조사되는빛을전달받는다.

公开(公告)号：KR100530007B1

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：KR1020030078061

申请日：2003-11-05

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조일주 ,  윤의식

IPC: H01H59/00

Abstract: 본 발명에 따른 마이크로 스위치는 전자기력과 정전기력으로 구동을 하고 스위칭 상태는 정전기력을 이용해서 유지한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력으로 구동하기 때문에 기계적으로 단단한 구조의 스위치를 사용할 수 있고 정전기력만을 이용한 구동방식과 달리 스위치를 오프(off) 시킬 때에도 전자기력을 이용하여 반대방향으로 힘을 가할 수 있기 때문에 높은 전력을 가지는 신호를 안정적으로 오프 (off) 시킬 수 있다. 또한, 스위칭 상태는 정전기력만을 이용해서 유지하기 때문에 전력소모는 스위칭하는 순간에만 발생하므로 저전력 동작이 가능하고, 정전기력은 스위치의 상태유지에만 쓰이므로 저전압 동작이 가능하다.