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公开(公告)号：KR101814729B1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：KR1020160113789
申请日：2016-09-05
Applicant: (주)파코코리아인더스 , 한국과학기술원
IPC: G01W1/10 , G01W1/02 , G01D21/02 , G01L1/02 , H01L21/02 , H01L21/762 , H01L21/324 , H01L21/66
CPC classification number: Y02A90/14 , G01W1/10 , G01D21/02 , G01L1/02 , G01W1/02 , H01L21/02052 , H01L21/324 , H01L21/7624 , H01L22/12
Abstract: 본발명은기상관측용기압소자및 이를이용한기압측정시스템에있어서, 특히고정밀기압소자를포함한기상관측에적용되는기압계를제공하며, 아울러기압소자에에러상황이발생하면외부로알려서빠른속도로에러상황을대처할수 있도록구성한것을특징으로하는기상관측용기압소자및 이를이용한기압측정시스템에관한것으로, 센서부(센서1, 센서2, ..., 센서n)와, 센서부의데이터를처리하는데이터로거부와, 데이터처리부에서처리된기상정보데이터는광변환기를통해제공받고원격제어신호를광변환기를통해출력하는원격제어부이루어지되; 상기센서부는, 기압을측정하기위한기압소자(100)와, 온도를센싱하기위한온도센서(200)와, 상기기압소자와온도센서의데이터를디지털신호로변환하기위한아날로그디지털컨버터(300)와, 디지탈변환된신호를오차보정하는제어부(400)와, 상기제어부의제어신호에따라디지털신호를데이터로거부로전송하기위한저장및 통신수단(500)과, 각소자에전원을공급하기위한전원부(600)로이루어지고; 상기데이터로거부는, 데이터로거, 터치패널, 광변환기로구성하되, 데이터로거는 CPU, 메모리, 처리프로그램(응용 S/W)으로구성되는것이특징이다.
Abstract translation: 本发明涉及到，特别地，提供了施加到气象观测晴雨表，包括高精度的压力元件，以及压力时错误条件在装置错误条件出现使用该设备和该压力气象迅速通知到外部的ATM系统 在构造成使得可以应付涉及气象压力元件和使用根据同一权利要求，传感器单元（传感器1，传感器2，...和传感器n）的压力测量系统和处理该传感器数据部分中的数据 以及遥控单元，用于通过光学转换器接收由数据处理单元处理的气象信息数据，并通过光学转换器输出遥控信号; 和用于测量传感器构件，压力和温度传感器200，模拟 - 数字转换器300，用于将所述压力元件和所述温度传感器为数字信号，用于感测温度的数据的压力装置100 控制单元400，用于对数字转换后的信号进行纠错;存储和通信单元500，用于响应于控制单元500的控制信号发送数字信号作为数据; 的（600）形成的; 但由数据由数据记录器，触摸面板，光学换能器，数据记录器，其特征在于通过由CPU，存储器，处理程序（应用程序S / W）的拒绝。
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公开(公告)号：KR101085083B1
公开(公告)日：2011-11-21
申请号：KR1020090018469
申请日：2009-03-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N33/483 , G01N27/26
Abstract: 본 발명은 미세소자를 이용한 세포의 전기천공효과 분석장치 및 이를 이용한 세포의 전기천공효과 분석방법에 관한 것으로, 구체적으로 지지판; 상기 지지판 위에 부착되는 외벽부; 상기 지지판과 외벽부로 이루어지는 세포저장부; 상기 세포 저장부 내에서 세포에 전기 펄스를 가하기 위하여 마주보도록 배향되어 지지판에 구비되는 두 개 이상의 미세전극; 상기 미세전극 사이에 이루어지는 전기천공부; 상기 미세전극에 전기 펄스를 공급하는 펄스발생기; 상기 미세전극과 펄스발생기의 연결을 위해 지지판에 구비되는 전극연결부; 및 상기 세포저장부에서 전기천공시 세포를 덮기 위해 하부 공간을 갖는 덮개부를 포함하는 미세소자를 이용한 세포의 전기천공효과 분석장치이다. 본 발명에 따른 세포의 전기천공 효과 분석 장치는 임상용 전기천공기의 형상을 비례적으로 축소하여 제작하여 정확한 결과분석이 가능하고, 값비싼 시약 및 전기의 소모를 기존방식에 비해 수 십배 이상 줄일 수 있고, 한번의 실험으로 다양한 조건의 실험을 수행할 수 있어 시간 및 비용 측면에서 효율적이며, 임상용 전기천공기의 특성분석이나 전극개발, 관련 기초연구 및 전기천공 요법의 임상적용을 위한 조건 설정 등 다양한 목적으로 사용할 수 있다.
전기천공, 전기천공 요법, 미세소자, 랩온어칩, 분석장치-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050118565A
公开(公告)日：2005-12-19
申请号：KR1020040043720
申请日：2004-06-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer)을 이용하여 균일하게 금속 시드를 제거할 수 있는 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른, 기판 상에 형성된 3차원 금속 구조체의 형성 방법은, 상기 기판에 3차원 포토레지스트 몰드를 형성하는 단계; 상기 기판에 제1 금속 시드를 증착하는 단계; 상기 제1 금속 시드 상에 자기 정합 단분자층을 증착하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층이 제거된 부분의 제1 금속 시드를 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 모두 제거하는 단계; 및 상기 포토레지스트 몰드에 제1 금속층을 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
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公开(公告)号：KR1020080015666A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：KR1020060077295
申请日：2006-08-16
IPC: G02F1/136
CPC classification number: H01L21/02672 , H01L21/02532 , H01L27/1277 , H01L27/1281
Abstract: A method for manufacturing a thin film transistor substrate is provided to crystallize an amorphous silicon film with a minimum ion amount required for crystallizing to minimize the amount of nickel contained in the crystallized silicon layer by using a sacrificial layer, thereby improving the quality of the thin film transistor substrate. An amorphous silicon film is formed on an insulating substrate(110). A sacrificial film having an embossed surface is formed on the amorphous silicon film. The amorphous silicon film is crystallized into a polycrystalline silicon layer by contacting a metal plate with the sacrificial film and performing thermal treatment on the amorphous silicon film. The metal plate and the sacrificial film are removed. The polycrystalline silicon film is pattern-etched to form a semiconductor pattern(151). A gate insulating layer(140) is formed to cover the semiconductor pattern. A gate line is formed on the gate insulating layer, wherein a portion of the gate line overlaps the semiconductor pattern. Source and drain regions(153,155) are formed by heavily doping conductive impurities into portions of the semiconductor pattern. An interlayer insulating layer is formed to cover the gate line and the semiconductor pattern. A data line(171) and an output electrode(175) respectively connected to the source and drain regions are formed on the interlayer insulating layer.
Abstract translation: 提供一种制造薄膜晶体管基板的方法，以结晶所需的最小离子量使非晶硅膜结晶，以通过使用牺牲层将结晶硅层中所含的镍的量最小化，从而提高薄膜晶体管的质量 薄膜晶体管衬底。 在绝缘基板（110）上形成非晶硅膜。 在非晶硅膜上形成具有压花表面的牺牲膜。 通过使金属板与牺牲膜接触并对非晶硅膜进行热处理，将非晶硅膜结晶成多晶硅层。 去除金属板和牺牲膜。 对多晶硅膜进行图案蚀刻以形成半导体图案（151）。 形成栅极绝缘层（140）以覆盖半导体图案。 栅极线形成在栅极绝缘层上，其中栅极线的一部分与半导体图案重叠。 源极和漏极区（153,155）通过将导电杂质重掺杂到半导体图案的部分中而形成。 形成层间绝缘层以覆盖栅极线和半导体图案。 分别连接到源区和漏区的数据线（171）和输出电极（175）形成在层间绝缘层上。
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公开(公告)号：KR100561048B1
公开(公告)日：2006-03-17
申请号：KR1020040043720
申请日：2004-06-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer)을 이용하여 균일하게 금속 시드를 제거할 수 있는 3차원 금속 구조체의 형성 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른, 기판 상에 형성된 3차원 금속 구조체의 형성 방법은, 상기 기판에 3차원 포토레지스트 몰드를 형성하는 단계; 상기 기판에 제1 금속 시드를 증착하는 단계; 상기 제1 금속 시드 상에 자기 정합 단분자층을 증착하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층이 제거된 부분의 제1 금속 시드를 제거하는 단계; 상기 자기 정합 단분자층을 모두 제거하는 단계; 및 상기 포토레지스트 몰드에 제1 금속층을 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
자기 정합 단분자층(Self-Assembled Monolayer), 폴리싱(Polishing), 3차원 금속 구조체(3-Dimensional Metal Structures)-
公开(公告)号：KR1020100099900A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090018469
申请日：2009-03-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N33/483 , G01N27/26
Abstract: PURPOSE: An apparatus for analyzing electroporation effect on cells using a micro device and analysis method are provided to accurately analyze the result and to reduce reagent and electricity. CONSTITUTION: An apparatus for analyzing electroporation effect on cells using a micro device comprises: a support board(203); an outer wall part(204) which is attached on the support board; a cell storage unit(205) having the support board and outer wall part; a plurality of micro electrodes(201) formed on the support board for applying electric pulse to cells; an electroporation unit(202) formed between the micro electrodes; an electric connector(207) formed on the support board to connect the micro electrode and pulse generator; and a cover(206) for covering the cells.
Abstract translation: 目的：提供一种使用微型装置分析细胞电穿孔效应的装置和分析方法，以准确分析结果并减少试剂和电量。 构成：使用微型装置分析细胞的电穿孔效应的装置包括：支撑板（203）; 外壁部分（204），其安装在所述支撑板上; 具有支撑板和外壁部的电池存储单元（205） 多个微电极，形成在所述支撑板上，用于向电池施加电脉冲; 形成在所述微电极之间的电穿孔单元（202） 形成在支撑板上的电连接器（207），用于连接微电极和脉冲发生器; 以及用于覆盖所述单元的盖（206）。
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