公开(公告)号：KR1019940009373A

公开(公告)日：1994-05-20

申请号：KR1019920018961

申请日：1992-10-15

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 노광수 ,  허남회 ,  원동훈

IPC: C30B25/04

Abstract: 질소 또는 아르곤 분위기 하에서 리튬 이소프로폭사이드와 니오븀 이소프로폭사이드를 1:1의 몰비로 섞어 메탄올에 녹이고, 70에서 5시간 동안 교반하면서 환류시켜 코팅 용액을 얻고, 이 용액을 사파이어 기판 위에 덜어뜨린 후 회전시켜 기판 위에 이 용액의 막을 고르게 입히고, 이 코팅된 기판을 200℃에서 건조시킨 다음 코팅과 건조를 반복하여 다중 박막을 얻고, 이 다중 박막을 400℃ 이상의 온도에서 30분 동안 최종 열처리함으로써, 사파이어 기판과 결정학적 배향이 유사한 면만 에피텍시얼(epitaxial)하게 성장된 유사 단결정 리튬 니오붐 산화물 박막의 제조 방법이 개시된다.

公开(公告)号：KR100098220B1

公开(公告)日：1996-04-12

申请号：KR1019920018961

申请日：1992-10-15

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 노광수 ,  허남회 ,  원동훈

IPC: C30B25/04

公开(公告)号：KR1019950013006B1

公开(公告)日：1995-10-24

申请号：KR1019920018961

申请日：1992-10-15

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 노광수 ,  허남회 ,  원동훈

IPC: C30B25/04

Abstract: The epitaxial lithium niobate thin film is prepared by (A) mixing lithium isopropoxide [Li(OCH2(CH3)2 and niobium isopropoxide in molar ratio of 1:1 under nitrogen or argon atmosphere, (B) making a coating solution by resolving the mixture in methanol solution, (C) spin-coating the obtained solution on a sapphire substrate uniformly, (D) drying the coated substrate, and (E) repeating the coating and the drying processes to make a multi-layered thin film. The formed multi-layered thin film is used for an elastic wave device or a optical waveguide device.

Abstract translation: 外延铌酸锂薄膜是通过（A）在氮或氩气氛下以1:1摩尔比混合异丙醇锂[Li（OCH 2（CH 3）2）和异丙氧化铌来制备的，（B）通过分解混合物制备涂布溶液 在甲醇溶液中，（C）均匀地将得到的溶液旋涂在蓝宝石基材上，（D）干燥涂布的基材，（E）重复涂布和干燥处理以制成多层薄膜， 层状薄膜用于弹性波器件或光波导器件。