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公开(公告)号:KR102234735B1
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:KR1020180093557
申请日:2018-08-10
IPC: H01L41/45 , H01L41/193 , G01L1/18
Abstract: 본발명은미세유체시스템을이용하여마이셀구조의크기를조절하는것으로, 다공성압력센서의기공크기조절이가능할뿐만아니라전도성고분자를표면에합성하는것으로높은내구성과고민감도를가질수 있는압력센서의제조방법에관한것이다. 본발명은 (a) 비극성용매및 선형고분자를혼합하는단계; (b) 하나의채널에상기 (a)단계의혼합용액과극성용매를공급하여마이셀구조를형성하는단계; (c) 상기채널에서유출되는마이셀구조를가열하여선형고분자를중합시키고, 용매를증발시켜다공성구조를수득하는단계; 및 (d) 상기 (c) 단계에서제조된다공성구조의표면에전도성고분자를증착하는단계를포함하는낮은이력현상을가지는고민감도압력센서제조방법을제공한다.
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公开(公告)号:KR102243388B1
公开(公告)日:2021-04-22
申请号:KR1020180154665
申请日:2018-12-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은다양한채널디자인을가진미세유체칩을용액전단프린팅의블레이드로사용함으로써, 유체의흐름을미세유체채널내에서조절함과동시에이를기판에전사할수 있는마이크로유체소자기반의고성능유기전자재료프린팅장치및 이를이용한유기전자재료프린팅방법에관한것이다. 본발명은용액전단법(Solution Shearing)에사용되는유기전자재료프린팅장치에있어서, 전단판(Shearing plate)의내부에미세채널이형성되어유체를공급하는것을특징으로하는유기전자재료프린팅장치를제공한다.
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公开(公告)号:KR102079298B1
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:KR1020180029242
申请日:2018-03-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/047 , H01L41/193 , H01L41/187 , H01L41/083 , H01L41/29 , H01L41/27 , H01L41/317
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