미세유체 시스템을 이용한 낮은 이력현상을 가지는 고민감도 압력센서 제조방법

    公开(公告)号:KR102234735B1

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:KR1020180093557

    申请日:2018-08-10

    Abstract: 본발명은미세유체시스템을이용하여마이셀구조의크기를조절하는것으로, 다공성압력센서의기공크기조절이가능할뿐만아니라전도성고분자를표면에합성하는것으로높은내구성과고민감도를가질수 있는압력센서의제조방법에관한것이다. 본발명은 (a) 비극성용매및 선형고분자를혼합하는단계; (b) 하나의채널에상기 (a)단계의혼합용액과극성용매를공급하여마이셀구조를형성하는단계; (c) 상기채널에서유출되는마이셀구조를가열하여선형고분자를중합시키고, 용매를증발시켜다공성구조를수득하는단계; 및 (d) 상기 (c) 단계에서제조된다공성구조의표면에전도성고분자를증착하는단계를포함하는낮은이력현상을가지는고민감도압력센서제조방법을제공한다.

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