公开(公告)号：KR1020160121718A

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：KR1020150050860

申请日：2015-04-10

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: G02B21/00 ,  G02B7/28 ,  G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은산업현장에서사용되는영상촬영검사장치에서다중카메라를이용하여자동초점을신속하게맞출수 있도록하는다중카메라를이용한자동초점장치및 그방법에관한것으로, 상기다중카메라를이용한자동초점장치는, 검사대상체를안착시키는스테이지를초점조절을위해이동시키는스테이지구동부; 인접된카메라들이초점에대하여일정거리간격의오프셋을가지도록배치되어검사대상체를촬영하는두 개이상의카메라를포함하는카메라부; 상기스테이지를이송시키는각각의스텝별로상기두 개이상의카메라부에서촬영된영상으로부터각각의초점값을검출하는초점값검출부; 및상기스텝별로이전의스텝에서최대초점값을가지는카메라의현재스텝에서의초점값이감소하는경우상기카메라의이전최대초점값과현재의초점값의사이의위치를초점으로자동검출하는초점검출부를포함하는제어부;를포함하여구성되어, 영상촬영검사장치의자동초점을신속하고정확하게맞출수 있도록하며, 정확도와자동초점맞춤시간의필요에따라자동초점을맞추는시간과정확도를조절할수 있도록하는효과를제공한다.

公开(公告)号：KR101234602B1

公开(公告)日：2013-02-22

申请号：KR1020110044458

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: G01N21/47 ,  H01L21/67 ,  G01N21/88

Abstract: 본 발명은 시편 검사 장치를 제공한다. 상기 시편 검사 장치는 스테이지와; 상기 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동 스테이지와; 상기 이동 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 시편이 고정되는 시편 고정 테이블과; 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 및 경도 조절이 가능하고 상기 시편으로 레이저 광을 조사하는 광원 유닛; 및 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 조절이 가능하고, 시편에서 산란되는 산란광을 취득하는 영상 취득 유닛을 포함한다.

公开(公告)号：KR1020120126570A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：KR1020110044458

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: G01N21/47 ,  H01L21/67 ,  G01N21/88

Abstract: PURPOSE: A device for inspecting a specimen based on a laser scattering is provided to variously vary an irradiation angle of laser lights being irradiated to a specimen and to measure scattering lights being scattered by the specimen at various angles. CONSTITUTION: A device for inspecting a specimen based on a laser scattering comprises a stage(100), a moving stage(200), a specimen fixing table(300), a light source unit, and an image acquisition unit(400). The moving stage is arranged on the state and movable to all directions. The specimen fixing table is arranged on the moving stage and swivel-movable to all directions. The light source unit is arranged on the stage and irradiates laser lights to the specimen. The image acquisition unit is arranged on the stage and acquires scattering lights being scattered by the specimen.

Abstract translation: 目的：提供一种基于激光散射来检查样本的装置，用于各种改变照射到样本的激光的照射角度，并测量样品以各种角度散射的散射光。 构成：用于基于激光散射检查样本的装置包括台（100），移动台（200），样本固定台（300），光源单元和图像获取单元（400）。 移动台布置在状态上并可向各个方向移动。 样品固定台布置在移动台上，可旋转移动到各个方向。 光源单元布置在舞台上，并将激光照射到样本上。 图像获取单元布置在平台上并且获取由样本散射的散射光。

公开(公告)号：KR101182212B1

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：KR1020110044457

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범 ,  김종준

IPC: F21V14/02 ,  F21V17/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  F21Y101/02

CPC classification number: F21V14/02 ,  F21V17/02 ,  F21Y2101/00 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8845

Abstract: PURPOSE: A lighting device for surface inspection is provided to easily detect various defects of a wafer surface by varying a light spectrum and an angle for emitting the light to the wafer surface. CONSTITUTION: A case(100) is the shape of a square box. An exposure hole(120), which exposes a light spectrum to the outside, is formed on the bottom of the case. Two guide holes(310,311) are formed along the circumference of a constant radius. A plurality of bolt coupling holes(h1) is formed on the circumference between two guide holes. A lighting unit(200) is composed of a main lighting(210) and a subsidiary lighting(220).

Abstract translation: 目的：提供用于表面检查的照明装置，通过改变向光盘表面发射光的光谱和角度来容易地检测晶片表面的各种缺陷。 构成：一个箱子（100）是一个方形盒子的形状。 在壳体的底部形成有将光谱曝光到外部的曝光孔（120）。 沿着恒定半径的圆周形成两个引导孔（310,311）。 在两个导孔之间的圆周上形成有多个螺栓连接孔（h1）。 照明单元（200）由主照明（210）和辅助照明（220）组成。

公开(公告)号：KR1020160121716A

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：KR1020150050853

申请日：2015-04-10

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: G01N21/88

Abstract: 본발명은다양한조명방식을하나의조명장치에서구현하는하이브리드조명을수행하여다양한조명방식에의한표면검사를하나의장치에서일괄수행할수 있도록하는하이브리드조명기반표면검사장치에관한것으로, 상기하이브리드조명기반표면검사장치는, 스테이지부에장착된피검사체에대하여동축조명을수행하는동축조명부, 상기피검사체를중심으로회동가능하게장착되어상기피검사체에경사조명을수행하는경사조명부, 피검사체의촬영부와대향하는반대측면을조사하는후방조명부또는상부에돔개구부가형성된돔의내부에서피검사체에돔조명을수행하는돔조명부중 하나이상을포함하는조명부; 상기피검사체를중심으로회전가능하게장착되어상기조명부에의해조사된하이브리드조명에의한하이브리드조명표면검사를위해상기피검사체를촬영하는촬영부; 및상기피검사체에대한하이브리드조명표면검사를제어하는표면검사장치제어부;를포함하여구성되어, 하나의표면검사장치를이용하여피검사체(10)의표면에대한명시야조명검사, 암시야조명검사, 경사전방조명검사, 방향성전방조명검사, 돔조명검사, 동축조명검사, 후방조명검사, 확산전방조명검사, 구조조명검사등의표면검사를수행할수 있도록구성된다.

公开(公告)号：KR101564287B1

公开(公告)日：2015-10-29

申请号：KR1020140147348

申请日：2014-10-28

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12

Abstract: 본발명은광원을웨이퍼에조사하여웨이퍼의표면결함을검출할수 있도록하는웨이퍼검사장치및 웨이퍼검사방법에관한것으로, 상기웨이퍼검사장치는, 빛을생성하여조사하는광원부; 상기광원부에의해조사되는빛을검사대상웨이퍼로조사하도록반사시키는반사부; 및상기웨이퍼의면 중상기빛이조사된면의반대면을촬영하는촬상부;를포함하여구성되어, 웨이퍼상의결함유무, 결함위치, 결함의규격또는결함의형태중 하나이상을정확하게검출할수 있도록하는효과를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过向晶片照射光来检测晶片的表面缺陷的晶片检查装置和晶片检查方法。 晶片检查装置包括：用于产生和照射光的光源单元; 反射单元，用于将由光源单元照射的光反射到检查目标晶片上; 以及拍摄单元，用于拍摄与照射光的晶片的表面相对的表面。 晶片检查装置精确地检测晶片上的缺陷存在，缺陷位置，缺陷标准或缺陷类型中的至少一个。

公开(公告)号：KR100945575B1

公开(公告)日：2010-03-08

申请号：KR1020070049536

申请日：2007-05-22

Applicant: 한국교통대학교산학협력단 ,  기가비스주식회사

Inventor： 김경범 ,  김종준

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/88

Abstract: 본 발명은 각도 조절이 가능한 상하부의 조명계 및 카메라, XY 방향 이동 및 회전이 가능한 글래스 기판 지그수단 등을 포함하는 새로운 형태의 글래스 표면 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 글래스 기판의 360°회전 및 XY 방향 이동을 가능하게 하고, 상하부에 설치한 조명계 및 카메라의 각도조절을 가능하게 하는 등 총 6축으로 동작하면서 글래스 기판의 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있고, 글래스 기판의 위-아래 표면 재질 및 표면 조도에 따라 투과되는 빛을 분석하고 글래스 내부 성분을 검사할 수 있는 글래스의 표면 검사장치를 제공한다.
광학 글래스 기판, 머신비전, 레이저, 카메라

公开(公告)号：KR101694390B1

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020150050860

申请日：2015-04-10

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: G02B21/00 ,  G02B7/28 ,  G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은산업현장에서사용되는영상촬영검사장치에서다중카메라를이용하여자동초점을신속하게맞출수 있도록하는다중카메라를이용한자동초점장치및 그방법에관한것으로, 상기다중카메라를이용한자동초점장치는, 검사대상체를안착시키는스테이지를초점조절을위해이동시키는스테이지구동부; 인접된카메라들이초점에대하여일정거리간격의오프셋을가지도록배치되어검사대상체를촬영하는두 개이상의카메라를포함하는카메라부; 상기스테이지를이송시키는각각의스텝별로상기두 개이상의카메라부에서촬영된영상으로부터각각의초점값을검출하는초점값검출부; 및상기스텝별로이전의스텝에서최대초점값을가지는카메라의현재스텝에서의초점값이감소하는경우상기카메라의이전최대초점값과현재의초점값의사이의위치를초점으로자동검출하는초점검출부를포함하는제어부;를포함하여구성되어, 영상촬영검사장치의자동초점을신속하고정확하게맞출수 있도록하며, 정확도와자동초점맞춤시간의필요에따라자동초점을맞추는시간과정확도를조절할수 있도록하는효과를제공한다.

公开(公告)号：KR101602733B1

公开(公告)日：2016-03-11

申请号：KR1020140147352

申请日：2014-10-28

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12

Abstract: 본발명은빛을웨이퍼에조사하여웨이퍼를투과하는빛을검출하는것에의해웨이퍼의표면또는내부결함을검출할수 있도록하는웨이퍼검사장치및 웨이퍼검사방법에관한것으로, 상기웨이퍼검사장치는, 웨이퍼면에수직으로빛을조사하는수직광원부; 상기수직광원부의측부에배치되어상기웨이퍼의면에대하여경사각을가지도록빛을조사하는하나이상의경사광원부; 및상기웨이퍼의빛 조사면의배면을촬영하여상기웨이퍼를투과한상기수직광원부의빛과상기경사광원부의빛을포함하는수직광웨이퍼이미지, 경사광웨이퍼이미지또는수직및 경사광웨이퍼이미지중 하나이상을포함하는웨이퍼영상이미지를생성하는촬상부;를포함하여구성되어, 웨이퍼를투과하는빛의대비를높여웨이퍼의표면또는내부결함을용이하게검출할수 있도록하는효과를제공한다.

Abstract translation: 晶片测试装置和晶片测试方法技术领域本发明涉及一种晶片测试装置和晶片测试方法，该方法能够通过将光照射到晶片来检测穿透晶片的光来检测晶片的表面缺陷或内部缺陷。 晶片测试装置包括：垂直光源部分，用于垂直地将光照射到晶片表面; 至少一个倾斜光源部分，用于通过布置在所述垂直光源部分的一侧来照射具有与所述晶片的表面成倾斜角度的光; 以及拍摄部件，用于生成包括垂直光晶片图像，倾斜光晶片图像和垂直光源部分的光和倾斜光源的光的垂直和倾斜光晶片图像中的至少一个的晶片图像 通过拍摄晶片的光照射平面的后表面而穿过晶片的部分。 晶片测试装置提供通过增加穿透晶片的光的对比度来容易地检测晶片的表面或内部缺陷的效果。

公开(公告)号：KR101575895B1

公开(公告)日：2015-12-08

申请号：KR1020140147361

申请日：2014-10-28

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범

IPC: H01L21/66 ,  H01L31/18 ,  G01N21/01

CPC classification number: H01L22/12 ,  H01L21/67288

Abstract: 본발명은빛을웨이퍼에조사하여웨이퍼를투과하는빛을검출하는것에의해웨이퍼의표면또는내부결함을검출할수 있도록하는웨이퍼검사장치및 웨이퍼검사방법에관한것으로, 상기웨이퍼검사장치는, 웨이퍼면에수직으로빛을조사하는수직광원부; 상기수직광원부의측부에배치되어상기웨이퍼의면에대하여경사각을가지도록빛을조사하는하나이상의경사광원부; 상기웨이퍼의빛 조사면의반대면의위치에서상기웨이퍼를투과한빛을촬영영역으로수렴시키도록돔형반사경으로형성되는돔형반사경부; 및상기웨이퍼의빛 조사면의배면을촬영하여상기웨이퍼를투과한상기수직광원부의빛과상기경사광원부의빛을포함하는수직광웨이퍼이미지, 경사광웨이퍼이미지또는수직및 경사광웨이퍼이미지중 하나이상을포함하는웨이퍼영상이미지를생성하는촬상부;를포함하여구성되어, 웨이퍼를투과하는빛의대비를높여웨이퍼의표면또는내부결함을용이하게검출할수 있도록하는효과를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过向晶片照射光以检测穿透晶片的光来检测晶片的表面缺陷或内部缺陷的晶片测试装置以及晶片测试方法。 晶片测试装置包括：垂直光源部分，用于垂直地在晶片的表面上照射光; 一个或多个倾斜光源部分布置在垂直光源部分的横向侧上，并且照射光以使晶片的表面具有倾斜角; 圆顶型反射镜部分，其形成有圆顶型反射镜，以便将穿透晶片的光聚焦到与晶片的光照射平面相对的位置处的拍摄区域; 以及拍摄部，其生成垂直光晶片图像，倾斜光晶片图像或垂直光晶片图像和倾斜光晶片图像之一，其包括垂直光源部分的光和倾斜光源部分的光 通过拍摄晶片的光照射平面的后平面来穿透晶片。 晶片测试装置提供通过增加穿透晶片的光的对比度来检测晶片的表面缺陷或内部缺陷的效果。