公开(公告)号：KR101182212B1

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：KR1020110044457

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국교통대학교산학협력단

Inventor： 김경범 ,  김종준

IPC: F21V14/02 ,  F21V17/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  F21Y101/02

CPC classification number: F21V14/02 ,  F21V17/02 ,  F21Y2101/00 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8845

Abstract: PURPOSE: A lighting device for surface inspection is provided to easily detect various defects of a wafer surface by varying a light spectrum and an angle for emitting the light to the wafer surface. CONSTITUTION: A case(100) is the shape of a square box. An exposure hole(120), which exposes a light spectrum to the outside, is formed on the bottom of the case. Two guide holes(310,311) are formed along the circumference of a constant radius. A plurality of bolt coupling holes(h1) is formed on the circumference between two guide holes. A lighting unit(200) is composed of a main lighting(210) and a subsidiary lighting(220).

Abstract translation: 目的：提供用于表面检查的照明装置，通过改变向光盘表面发射光的光谱和角度来容易地检测晶片表面的各种缺陷。 构成：一个箱子（100）是一个方形盒子的形状。 在壳体的底部形成有将光谱曝光到外部的曝光孔（120）。 沿着恒定半径的圆周形成两个引导孔（310,311）。 在两个导孔之间的圆周上形成有多个螺栓连接孔（h1）。 照明单元（200）由主照明（210）和辅助照明（220）组成。

公开(公告)号：KR100945575B1

公开(公告)日：2010-03-08

申请号：KR1020070049536

申请日：2007-05-22

Applicant: 한국교통대학교산학협력단 ,  기가비스주식회사

Inventor： 김경범 ,  김종준

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/88

Abstract: 본 발명은 각도 조절이 가능한 상하부의 조명계 및 카메라, XY 방향 이동 및 회전이 가능한 글래스 기판 지그수단 등을 포함하는 새로운 형태의 글래스 표면 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 글래스 기판의 360°회전 및 XY 방향 이동을 가능하게 하고, 상하부에 설치한 조명계 및 카메라의 각도조절을 가능하게 하는 등 총 6축으로 동작하면서 글래스 기판의 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있고, 글래스 기판의 위-아래 표면 재질 및 표면 조도에 따라 투과되는 빛을 분석하고 글래스 내부 성분을 검사할 수 있는 글래스의 표면 검사장치를 제공한다.
광학 글래스 기판, 머신비전, 레이저, 카메라

公开(公告)号：KR1020080102728A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：KR1020070049536

申请日：2007-05-22

Applicant: 한국교통대학교산학협력단 ,  기가비스주식회사

Inventor： 김경범 ,  김종준

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/88

Abstract: A glass surface test apparatus can analyze all scattering components according to the surface state of a glass substrate, analyze the transmitted light according to the material and roughness of the upper and lower surfaces of the glass substrate, and inspect the inner component of the glass substrate. A glass surface test apparatus comprises a glass jig apparatus(10) in which a glass substrate is set and which moves the glass substrate through the motor transfer in X-Y direction; an upper vision apparatus(16) inspecting the surface of the glass substrate, capable of adjusting the angle on a vertically arranged upper plate(11), and including a lighting system(12), a camera(13), a lighting system platform(14) and a camera platform(15a); and a lower vision apparatus(18) inspecting the lower surface of the glass substrate and the component refracted and transmitted on the surface of the glass substrate, capable of adjusting the angle on a vertically arranged lower plate(17), and including a camera and a camera platform(15b).

Abstract translation: 玻璃表面试验装置可以根据玻璃基板的表面状态分析所有散射成分，根据玻璃基板的上下表面的材质和粗糙度分析透射光，并检查玻璃基板的内部部件 。 一种玻璃表面检测装置，其特征在于，具备玻璃基板，玻璃基板通过X-Y方向的电动机移动使玻璃基板移动的玻璃夹具装置（10） 检查玻璃基板的表面的能够调节垂直布置的上板（11）上的角度的上视觉设备（16），并且包括照明系统（12），照相机（13），照明系统平台 14）和相机平台（15a）; 和检查玻璃基板的下表面的下视觉装置（18），并且该部件在玻璃基板的表面上被折射和透射，能够调节垂直布置的下板（17）上的角度，并且包括相机和 相机平台（15b）。