公开(公告)号：KR1020100095852A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：KR1020090014865

申请日：2009-02-23

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이학주 ,  나완수 ,  고재훈 ,  김학준 ,  유진건 ,  임형도 ,  심영대

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R31/2887 ,  G01R1/07392 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889 ,  G01R31/308

Abstract: PURPOSE: A probe card fixing device is provided to reduce the measuring time of an electric transfer property by simultaneously executing the measurement of ZIF connectors and probe card tips. CONSTITUTION: A fixing unit(10) clinches a probe card. A first measuring unit probe tip(20) and a second measuring unit probe tip(30) are connected to a measuring unit and are contacted with a ZIF connector and a probe card tip. A first camera(60) displays an interval between the ZIF connector and the first measuring unit probe tip. A second camera(70) displays an interval between the probe card tip and the second measuring unit probe tip.

Abstract translation: 目的：提供探针卡固定装置，通过同时执行ZIF连接器和探针卡尖端的测量来减少电气传输性能的测量时间。 构成：固定单元（10）夹住探针卡。 第一测量单元探针尖端（20）和第二测量单元探针尖端（30）连接到测量单元并与ZIF连接器和探针卡尖接触。 第一相机（60）显示ZIF连接器和第一测量单元探针尖端之间的间隔。 第二相机（70）显示探针卡片尖端和第二测量单元探针尖端之间的间隔。

公开(公告)号：KR101056146B1

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：KR1020090014865

申请日：2009-02-23

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이학주 ,  나완수 ,  고재훈 ,  김학준 ,  유진건 ,  임형도 ,  심영대

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R1/067

Abstract: 본 발명의 일 실시예는 피측정부, 즉 ZIF커넥터 및 프로브카드팁을 양면에 구비한 프로브카드의 전기적 전달특성을 측정할 수 있도록 프로브카드를 고정하는, 프로브카드의 전기적 전달특성 측정을 위한 프로브카드 고정장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브카드의 전기적 전달특성 측정을 위한 프로브카드 고정장치는, 프로브카드를 고정시키는 고정부, 측정부에 연결되어 상기 프로브카드의 양면에 각각 구비되는 ZIF커넥터와 프로브카드팁에 각각 접촉되는 제1, 제2 측정부프로브팁, 제1, 제2 측정부프로브팁조절부, 상기 ZIF커넥터와 상기 제1 측정부프로브팁 사이를 보여주는 제1 카메라, 제1 카메라조절부, 상기 프로브카드팁과 상기 제2 측정부프로브팁 사이를 보여주는 제2 카메라, 및 제2 카메라조절부를 포함한다.
프로브카드, 고주파 특성, 전달특성, 프로브팁, 측정부, 카메라

Abstract translation: 对于所测量的一部分的探针，即，在ZIF连接器测量的电传导特性，以及探针的探针卡的提示，所述探针卡，以便固定的探针卡，该卡的电传导特性来测量设置在两个表面上的本发明的一个实施例 和一个卡固定装置。