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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210025936A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020190105998A
申请日：2019-08-28
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/285 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/67 , H01L21/78
CPC classification number: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/285 , H01L21/30604 , H01L21/3065 , H01L21/31111 , H01L21/32134 , H01L21/67028 , H01L21/78
Abstract: 본 발명의 목적은 타겟으로부터 미세한 파티클들을 분리 세정하는 메가소닉 세정 모듈에 사용되어, 메가소닉이 인가된 세정액을 타겟에 직접 분사하는 실리콘 웨이퍼 노즐을 제조하는 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 웨이퍼 노즐 제조방법은, 실리콘 웨이퍼의 양면 중 제1면에 알루미늄층을 형성하는 제1단계, 상기 실리콘 웨이퍼의 다른 제2면에 포토레지스트를 도포하고, 노광 및 현상하여 포토레지스트층을 패터닝 하는 제2단계, 상기 포토레지스트층 패턴을 따라 상기 실리콘 웨이퍼에 메가소닉이 인가된 세정액을 분사하는 분사홀들을 형성하는 제3단계, 상기 알루미늄층과 상기 포토레지스트층을 제거하는 제4단계, 및 상기 실리콘 웨이퍼를 컷팅하여 실리콘 스택을 형성하는 제5단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR102235467B1
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：KR1020190051587A
申请日：2019-05-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: A63B69/38 , A63B69/00 , A63B102/02
CPC classification number: A63B69/38 , A63B69/0097 , A63B2102/02 , A63B2220/805 , A63B2220/833
Abstract: 본 발명은 유효타격 인식 기능을 갖춘 다방향성 테니스 연습장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 유효타격 인식 기능을 갖춘 다방향성 테니스 연습장치는 테니스공을 탄력적으로 튕겨낼 수 있도록 구성되고, 다수 마련되어 사용자의 전방에 서로 다른 각도로 배치되는 탄력부재;와, 상기 탄력부재에 각각 마련되어 테니스공의 타격 여부를 감지하는 감지센서; 및 상기 탄력부재에 각각 마련된 감지센서의 측정값을 통해 사용자가 타격한 테니스공의 인,아웃 여부를 판정하는 판정제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사용자가 타격한 테니스공의 인,아웃 여부를 판정함으로써 사용자의 지속적인 흥미를 유발할 수 있는 유효타격 인식 기능을 갖춘 다방향성 테니스 연습장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR101930076B1
公开(公告)日：2018-12-17
申请号：KR1020170067390
申请日：2017-05-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 스트링 파동을 이용한 세정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 끈과 같은 다양한 스트링을 이용하여 피세정물에 파동을 전달함으로서, 진동자에서 발생하는 진동을 직접 이용할 경우 피세정물이 파손되는 문제점과, 세정영역이 매우 좁던 문제점을 해소한 세정장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR20180045241A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR20160139122
申请日：2016-10-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/463 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/02052 , H01L21/02057 , H01L21/463 , H01L21/67051
Abstract: 본발명은피세정물에서제1와이어및 제2와이어와접촉된부분에도세정액의전달이가능함으로써, 피세정물의세정효율을극대화할수 있는초음파세정장치및 방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101692107B1
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：KR1020140073455
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은중공사를이용한분리용량증가형호흡장치에관한것으로서, 본발명에따른중공사를이용한분리용량증가형호흡장치는구획되어사용자에게공급되는공급가스및 사용자로부터배출되는배출가스를각각임시저장하는가스저장부; 외부로부터물이공급되며, 중공사를이용하여상기물에포함되는공기를여과한후에상기가스저장부에공급하는제1여과부; 상기가스저장부로부터공급되는배출가스와외부로부터공급되는물이혼합된혼합물을공급받아, 중공사를이용하여여과한후에상기가스저장부에공급하는제2여과부; 상기가스저장부로부터공급가스를사용자에게제공하거나, 사용자로부터배출되는배출가스를상기가스저장부로이송하는가스이송부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여,사용자의호흡시에배출되는배출가스를여과에참여시키되배출가스에포함되는이산화탄소의농도를감소시킨상태에서여과되도록함으로써, 전체적인공기여과효율을향상시킬수 있는중공사를이용한분리용량증가형호흡장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用中空纤维具有增加的分离能力的呼吸装置，其包括：气体储存单元，其被分隔并临时存储供应给用户的供应气体和从使用者排出的废气; 第一过滤单元，其中从外部供水，并且使用中空纤维过滤水中的空气，然后储存在气体存储单元中; 第二过滤单元，其中从气体存储单元供应的废气和从外部供应的水的混合物被供应并使用中空纤维进行过滤，然后供给到气体存储单元; 以及气体输送单元，其将来自气体存储单元的供应气体供应给用户或从使用者排出的废气被传送到气体存储单元。 因此，通过以二氧化碳浓度降低的方式过滤从呼吸用户排出的废气，使用中空纤维具有增加的分离能力的呼吸装置可以提高整体的空气过滤效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160033672A
公开(公告)日：2016-03-28
申请号：KR1020160026178
申请日：2016-03-04
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은회전형중공사호흡장치에관한것으로서, 본발명에따른회전형중공사호흡장치는일면이개구되는케이싱; 상기케이싱의일면에회동가능하게장착되며, 삽입공이형성되는회동부; 상기삽입공을통하여상기케이싱내부와연통되며, 상기케이싱의회동에따라회동하고, 물내에포함되는공기를여과하여상기케이싱내부로공급하는중공사모듈;을포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 일단은연결부에연결되고타단은마감된복수개의중공사로마련되는중공사모듈이회동되도록마련됨으로써, 물에대한저항을줄이며물과의접촉면적을넓혀여과효율이우수한회전형중공사호흡장치가제공된다.
Abstract translation: 旋转中空纤维呼吸器技术领域本发明涉及旋转中空纤维呼吸器。 根据本发明，旋转式中空纤维呼吸器包括：一个表面打开的外壳; 旋转单元，安装成旋转到壳体的一个表面并具有插入孔; 以及中空纤维模块，其通过所述插入孔与所述壳体的内部连通，所述中空纤维模块根据所述壳体的旋转而旋转，并且将包含在水中的空气过滤以供应到所述壳体的内部。 一端连接到连接单元，另一端设置成使得能够由此提供为多个成品中空纤维的中空纤维模块。 因此，旋转式中空纤维呼吸器相对于水降低阻力并增加接触面积以具有优异的过滤效率。
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公开(公告)号：KR1020150124005A
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：KR1020140049836
申请日：2014-04-25
Abstract: 본발명의목적은가공대상물의가공상태, 가공정도등을실시간모니터링하여초음파밀링가공을수행할수 있으며, 이에따라밀링가공장치로서도표면평탄화나미세패턴형성등과같은가공이수행가능하도록하는, 초음파밀링용진동자를제공함에있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种超声波铣削振动器，其监视实时处理对象的处理状态和处理程度以进行超声波铣削。 因此，本发明能够使铣削装置使表面变平或形成精细图案。
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公开(公告)号：KR101551271B1
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：KR1020130123001
申请日：2013-10-16
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/304 , H01L21/302
Abstract: 본발명에따른반사파방지를위한초음파세정장치는하면이피세정물에대향하도록구비되고, 냉각유체가유입되는냉각유체유입구와, 냉각유체가배출되는냉각유체배출구가형성되는하우징; 및상기하우징의내부에수납되는제1전달체, 상기제1전달체에상면에설치되며초음파를발생시키는압전소자, 상면이상기하우징의하면에밀착고정되어상기제1전달체의하면과결합되는제2전달체를포함하며, 상기하우징의내부에유입된냉각유체에의해냉각되는진동자;를포함하며, 상기제2전달체는하면에경사진경사면이형성되는것을특징으로한다. 또한, 본발명에따른반사파방지를위한초음파세정시스템은반사파방지를위한초음파세정장치; 및피세정물에세정액을공급하는세정액공급수단;을포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101339091B1
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020120114624
申请日：2012-10-16
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B63C11/184
Abstract: The present invention relates to a device to transfer air for manual artificial gills and, more specifically, to a pump capable of leading fluid into one direction by using check valves and an integrated member. The check valve is formed in an integral type through connection members. The imbalance is not generated in a check valve separation type when the device acts as a pump with manual operation so that the device is very stable and can be continuously driven. The durability is excellent by providing a hand operation range to be comfortably bent with an integral structure and acting as a limiter for the driving of the pump member.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于手动人造鳃的空气传送装置，更具体地说，涉及一种能够通过使用止回阀和一体式构件将流体引向一个方向的泵。 止回阀通过连接构件形成为一体式。 当装置用作具有手动操作的泵时，在止回阀分离类型中不产生不平衡，使得装置非常稳定并且可以被连续驱动。 通过提供手动操作范围以使整体结构舒适地弯曲并作为用于驱动泵构件的限制器的耐久性是优异的。
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公开(公告)号：KR1020110136345A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：KR1020100056277
申请日：2010-06-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B06B1/04 , H01L21/607
Abstract: PURPOSE: A vibrating device for generating ultrasonic waves is provided to maximize cleaning efficiency of a semiconductor substrate by maintaining the uniform sound pressure distribution. CONSTITUTION: A vibrating device for generating ultrasonic waves comprises follows. A plate is formed as polygonal plate(C) that does not have parallel sides. The plate is formed in the polygon having odd numbers of side parts or converted into a regular polygon plate(B) that has parallel sides. A vibration element for generating ultrasonic waves is the regular polygon plate that has parallel sides.
Abstract translation: 目的：提供一种用于产生超声波的振动装置，以通过保持均匀的声压分布来最大化半导体衬底的清洁效率。 构成：以下是用于产生超声波的振动装置。 板形成为不具有平行侧面的多边形板（C）。 该板形成在具有奇数个侧面部分的多边形中，或者被转换成具有平行边的正多边形板（B）。 用于产生超声波的振动元件是具有平行边的正多边形板。
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