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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210025936A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020190105998A
申请日：2019-08-28
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/285 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/67 , H01L21/78
CPC classification number: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/285 , H01L21/30604 , H01L21/3065 , H01L21/31111 , H01L21/32134 , H01L21/67028 , H01L21/78
Abstract: 본 발명의 목적은 타겟으로부터 미세한 파티클들을 분리 세정하는 메가소닉 세정 모듈에 사용되어, 메가소닉이 인가된 세정액을 타겟에 직접 분사하는 실리콘 웨이퍼 노즐을 제조하는 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 웨이퍼 노즐 제조방법은, 실리콘 웨이퍼의 양면 중 제1면에 알루미늄층을 형성하는 제1단계, 상기 실리콘 웨이퍼의 다른 제2면에 포토레지스트를 도포하고, 노광 및 현상하여 포토레지스트층을 패터닝 하는 제2단계, 상기 포토레지스트층 패턴을 따라 상기 실리콘 웨이퍼에 메가소닉이 인가된 세정액을 분사하는 분사홀들을 형성하는 제3단계, 상기 알루미늄층과 상기 포토레지스트층을 제거하는 제4단계, 및 상기 실리콘 웨이퍼를 컷팅하여 실리콘 스택을 형성하는 제5단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR20210025881A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020190105829A
申请日：2019-08-28
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 모듈과 청소 모듈을 구비한 태양광 패널 청소 장치로서, 상기 이송 모듈은 태양광 패널의 상부 프레임에 이동 가능하게 장착되어 상부 프레임을 따라 횡방향으로 이동하도록 구성되고, 상기 청소 모듈은 상기 이송 모듈에 와이어로 연결되고 태양광 패널의 표면에서 이동하며 표면을 청소하도록 구성되며, 상기 청소 모듈은, 모듈 본체; 상기 모듈 본체에 이송 모듈을 향하는 전방과 이 전방의 반대 방향인 후방에 각각 탈착 가능하게 배치되는 전방 청소수단 및 후방 청소수단; 상기 모듈 본체의 상부에 배치되며 와이어의 일단이 감겨 있는 와인더; 및 상기 와인더를 회전시키는 와인더 구동수단;을 포함하며, 상기 와인더 구동수단에 의해 와이어를 언와인딩 또는 리와인딩함으로써 청소 모듈이 전방 또는 후방으로 이동하도록 구성된 태양광 패널 청소 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：WO2020180118A1
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：PCT/KR2020/003088
申请日：2020-03-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 다주파 생성모듈 및 이를 이용한 초음파 세정장치에서, 상기 다주파 생성모듈은 진동 전달 플레이트 및 초음파 생성부를 포함한다. 상기 진동 전달 플레이트는 세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치된다. 상기 초음파 생성부는 상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생시키는 복수의 초음파 모듈들을 포함한다. 상기 초음파 모듈들 중 어느 하나 이상의 초음파 모듈을 통해 상기 진동전달 플레이트로 전달된 초음파는 상기 세정대상물의 표면에 경사지게 입사된다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR20180045142A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR20160138900
申请日：2016-10-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B08B7/02 , B08B7/04 , H01L21/02 , H01L21/463 , H01L21/67
CPC classification number: B08B7/028 , B08B7/04 , H01L21/02052 , H01L21/463 , H01L21/6704
Abstract: 본발명은, 초음파세정장치내부에서피세정물에대응하는세정액을직접제조하여사용할수 있을뿐만아니라, 세정액의생성과방출에필요한그 구성이간소화되어간단한구조로피세정물을세정할수 있는, 초음파세정장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101827296B1
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：KR1020160121627
申请日：2016-09-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/449 , B08B7/02 , B08B11/04 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/449 , B08B7/028 , B08B11/04 , H01L21/02052 , H01L21/67051
Abstract: 본발명은대면적초음파세정장치에관한것으로서, 진동소자가결합된진동부를세정액을이용해냉각시킬수 있도록하고열교환된세정액은기판으로분사되도록하여세정액이열교환및 초음파전달체의역할을할 수있도록함으로써, 진동소자에서발생되는열을효과적으로방열하여진동소자가냉각될수 있어진동소자에서발생되는초음파를안정시켜세정효과를향상시킬수 있는대면적초음파세정장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明通过允许所以sikilsu利用了该热交换器的清洗液的振动元件相结合部分的清洗液振动冷却作用是清洗液是热，以确保所述衬底的注入，和超声波发送涉及一种大规模超声波清洗装置，振动 以消散由该装置产生的热有效地冷却要为其稳定由振动元件产生的超声波能提高清洗效果区域涉及一种超声波清洗装置的振动元件。
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公开(公告)号：KR1020150145281A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：KR1020140073996
申请日：2014-06-18
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H01L21/6704 , B08B3/12
Abstract: 본발명은메가소닉웨이브가이드및 이를포함한초음파세정장치에관한것으로서, 웨이브가이드의초음파발산면에오목한형태의그루브를형성하여발산되는파장의위상이중첩되고이에따라발산되는음압을균일하게할 수있어, 피세정물의균일한세정이가능하고피세정물에형성된미세패턴을손상시키지않을수 있는메가소닉웨이브가이드및 이를포함한초음파세정장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种超声波波导和包括该超声波波导的超声波清洗装置，更具体地说，涉及一种使能够清洁物体被均匀地清洁并防止对形成在物体上的微图案的损害的超声波波导 通过在波导体的超声波扩散面上形成凹形状的凹槽，并且在包括该扩散波长的超声波清洗装置的同时，通过在扩散波长的相位重叠并且扩散声压相应地均匀地被清洁。
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