公开(公告)号：WO2017200229A1

公开(公告)日：2017-11-23

申请号：PCT/KR2017/004607

申请日：2017-04-28

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  최원석 ,  조성학

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 물질의 패터닝 장치는 액체 금속을 포함하는 도전 물질이 형성된 전사 기판, 상기 전사 기판을 이동시키는 회전부, 상기 도전 물질에 레이저 빔을 조사하는 레이저부, 상기 전사 기판과 이격되어 위치하며 상기 도전 물질을 수용하는 수용 기판이 탑재되는 스테이지, 그리고 상기 전사 기판과 인접하여 위치하며 상기 도전 물질을 냉각시키는 냉각부를 포함한다.

Abstract translation:

在根据本发明的一个实施例的导电性材料的所述图案形成装置被照射激光束到旋转部件，用于移动所述转印基板的导电性材料，形成在转印基板的导电材料含有液态金属 激光单元，所述位置从转印基板间隔开并接收其上基板台被安装用于接收所述导电材料，并位于邻近转印基板，并且包括冷却用于冷却所述导电材料。

公开(公告)号：KR1020170130852A

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：KR1020160061597

申请日：2016-05-19

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  최원석 ,  조성학

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/268 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/56 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 본발명의일 실시예에따른도전물질의패터닝장치는액체금속을포함하는도전물질이형성된전사기판, 상기전사기판을회전시키는회전부, 상기도전물질에레이저빔을조사하는레이저부, 상기전사기판과이격되어위치하며상기도전물질을수용하는수용기판이탑재되는스테이지, 그리고상기전사기판과인접하여위치하며상기도전물질을냉각시키는냉각부를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的导电材料的图案化装置包括：激光单元，其照射激光束到旋转部分的转印基板，其使所述转印基板的导电性材料，形成在转印基板的导电材料含有液体的金属和 它间隔开，并且该级接收该基板被安装用于接收所述导电材料，并位于相邻于转印基板包括用于冷却所述导电材料的冷却。

公开(公告)号：KR1020150039455A

公开(公告)日：2015-04-10

申请号：KR1020130118070

申请日：2013-10-02

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  정소희 ,  김덕종

IPC: G01N21/00 ,  G01M11/00 ,  G01N3/02

Abstract: 본발명의일 실시예에따른유연소자의광전도성측정장치는유연소자샘플에광을조사하는광원, 상기유연소자샘플에변형을가하는변형인가부재, 상기변형인가부재에의해변형된상기유연소자샘플의광전도성의변화를측정하는광전도성측정기를포함하고, 상기유연소자샘플에상기광이조사되어상기유연소자샘플의광전도성이변화할수 있다. 따라서, 본발명의일 실시예에따른유연소자의광전도성측정장치는변형인가부재에의해변형된유연소자샘플의광전도성의변화를측정하는광전도성측정기를포함함으로써, 유연소자에직접변형을가하지않으면서도신속하게유연소자의광전도성을측정할수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，柔性器件的光电导率测量装置包括：将光源发射到柔性器件样品; 转换许可成员转换柔性设备样本; 以及测量柔性器件样品的光电导率变化的光电导率测量机。 柔性器件样品的光电导性可以改变，因为光被辐射到柔性器件样品。 因此，根据本发明的实施例，柔性装置的光电导率测量装置可以快速测量柔性装置的光电导率，同时不要通过包括测量柔性的光电导率变化的光电导测量机直接转换柔性装置 设备样品由转换许可成员转换。

公开(公告)号：KR100644510B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020050022161

申请日：2005-03-17

Applicant: 한국기계연구원 ,  주식회사 풍산홀딩스 ,  한화테크윈 주식회사

Inventor： 김창주 ,  한승전 ,  황인엽 ,  박철민 ,  김대현 ,  박영욱 ,  권경도

IPC: C22C9/06

Abstract: 본 발명은 열간 가공성과 연화성을 개선시킨 고강도 리드프레임재용 구리(Cu)-니켈(Ni)-망간(Mn)-실리콘(Si)-주석(Sn)-미쉬메탈(Ms)계 합금과 그 제조방법에 관한 것으로, 그 목적은 고강도 리드프레임재에서 다량으로 첨가하는 고가의 니켈 함량을 줄여서 원가절감을 기하고, 고용강화 및 석출강화형 리드프레임재 합금계인 구리-니켈-실리콘-마그네슘 합금에서 합금용해 중에 산화성이 심한 실리콘의 함량을 유지하기 위하여 탈산능은 강하나, 산화성과 발화성이 심한 마그네슘을 배제하고 안전하면서도 탈산능과 주조조직 미세화를 위한 접종효과가 우수한 미쉬메탈을 첨가하여 원가절감, 생산성, 제조상에서 안전성 및 재료의 내구성을 개선한 새로운 고강도 리드프레임재 합금 및 그 제조방법을 제공하는데 있다. 본 발명의 구성은 구리-니켈-망간-실리콘-주석-미쉬메탈계 합금으로서 0.5~5.0 wt%니켈(Ni)과 0.6~5.0 wt%망간(Mn)과 1.1~3.0 wt%실리콘(Si)과 0.05~3.0 wt% 주석(Sn)과 0.001~1.0 wt% 미쉬메탈(Ms)을 첨가하며 나머지는 구리(Cu)로 조성한 합금 및 이를 제조하는 방법을 요지로 한다.
고강도 리드프레임재료, 구리, 니켈, 망간, 실리콘, 주석, 미쉬메탈, 열간 가공성, 연화온도

公开(公告)号：KR1020060100555A

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：KR1020050022161

申请日：2005-03-17

Applicant: 한국기계연구원 ,  주식회사 풍산홀딩스 ,  한화테크윈 주식회사

Inventor： 김창주 ,  한승전 ,  황인엽 ,  박철민 ,  김대현 ,  박영욱 ,  권경도

IPC: C22C9/06

CPC classification number: C22C9/06 ,  C22C1/1036 ,  C22C9/02 ,  C22C9/05 ,  C22C9/10 ,  C22C2202/00 ,  C22F1/08 ,  H01L23/49579

Abstract: 본 발명은 열간 가공성과 연화성을 개선시킨 고강도 리드프레임재용 구리(Cu)-니켈(Ni)-망간(Mn)-실리콘(Si)-주석(Sn)-미쉬메탈(Ms)계 합금과 그 제조방법에 관한 것으로, 그 목적은 고강도 리드프레임재에서 다량으로 첨가하는 고가의 니켈 함량을 줄여서 원가절감을 기하고, 고용강화 및 석출강화형 리드프레임재 합금계인 구리-니켈-실리콘-마그네슘 합금에서 합금용해 중에 산화성이 심한 실리콘의 함량을 유지하기 위하여 탈산능은 강하나, 산화성과 발화성이 심한 마그네슘을 배제하고 안전하면서도 탈산능과 주조조직 미세화를 위한 접종효과가 우수한 미쉬메탈을 첨가하여 원가절감, 생산성, 제조상에서 안전성 및 재료의 내구성을 개선한 새로운 고강도 리드프레임재 합금 및 그 제조방법을 제공하는데 있다. 본 발명의 구성은 구리-니켈-망간-실리콘-주석-미쉬메탈계 합금으로서 0.5~5.0 wt%니켈(Ni)과 0.5~5.0 wt%망간(Mn)과 0.1~3.0 wt%실리콘(Si)과 0.05~3.0 wt% 주석(Sn)과 0.001~1.0 wt% 미쉬메탈(Ms)을 첨가하며 나머지는 구리(Cu)로 조성한 합금 및 이를 제조하는 방법을 요지로 한다.
고강도 리드프레임재료, 구리, 니켈, 망간, 실리콘, 주석, 미쉬메탈, 열간 가공성, 연화온도

公开(公告)号：KR101642132B1

公开(公告)日：2016-07-22

申请号：KR1020150044358

申请日：2015-03-30

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  정소희 ,  우창수 ,  김덕종

IPC: G01R19/00 ,  H01L31/04 ,  G01R1/30

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명의일 실시예에따른광전류영상및 광루미네선스영상의동시측정장치는광원을발생시키는광 발생기, 상기광 발생기에서발생한광원이입사하는반도체소자를지지하며상기반도체소자를이동시키는스캔스테이지, 상기반도체소자에서발생하는광전류를측정하는광전류측정기, 상기반도체소자에서발생한광루미네선스를측정하는광루미네선스측정기, 상기광전류측정기와상기광루미네선스측정기를제어하는제어단말기를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明的实施例涉及同时测量光电流图像和光致发光图像的装置。 根据本发明，该装置包括：产生光源的光发生器; 支持由光发生器生成的光源输入的半导体器件的扫描台，并移动半导体器件; 测量由半导体器件产生的光电流的光电流测量装置; 测量由半导体器件产生的光致发光的光致发光测量装置; 以及控制光电流测量装置和光致发光测量装置的控制端子。 本发明提供了能够有效分析半导体器件的同时测量光电流图像和光致发光图像的装置。

公开(公告)号：KR101877452B1

公开(公告)日：2018-08-09

申请号：KR1020160061597

申请日：2016-05-19

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  최원석 ,  조성학

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/268 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/56 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 본발명의일 실시예에따른도전물질의패터닝장치는액체금속을포함하는도전물질이형성된전사기판, 상기전사기판을회전시키는회전부, 상기도전물질에레이저빔을조사하는레이저부, 상기전사기판과이격되어위치하며상기도전물질을수용하는수용기판이탑재되는스테이지, 그리고상기전사기판과인접하여위치하며상기도전물질을냉각시키는냉각부를포함한다.

公开(公告)号：KR101652037B1

公开(公告)日：2016-08-29

申请号：KR1020130118070

申请日：2013-10-02

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  정소희 ,  김덕종

IPC: G01N21/00 ,  G01M11/00 ,  G01N3/02

Abstract: 본발명의일 실시예에따른유연소자의광전도성측정장치는유연소자샘플에광을조사하는광원, 상기유연소자샘플에변형을가하는변형인가부재, 상기변형인가부재에의해변형된상기유연소자샘플의광전도성의변화를측정하는광전도성측정기를포함하고, 상기유연소자샘플에상기광이조사되어상기유연소자샘플의광전도성이변화할수 있다. 따라서, 본발명의일 실시예에따른유연소자의광전도성측정장치는변형인가부재에의해변형된유연소자샘플의광전도성의변화를측정하는광전도성측정기를포함함으로써, 유연소자에직접변형을가하지않으면서도신속하게유연소자의광전도성을측정할수 있다.