公开(公告)号：WO2011118983A2

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：PCT/KR2011/002004

申请日：2011-03-23

Applicant: 한국기계연구원 ,  장성환 ,  제태진 ,  조성학 ,  황경현 ,  김재구 ,  유영은

Inventor： 장성환 ,  제태진 ,  조성학 ,  황경현 ,  김재구 ,  유영은

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/54 ,  G03F1/38 ,  G03F1/50 ,  G03F7/70283 ,  G03F7/70566

Abstract: 본 발명은 리소그래피 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 리소그래피 장치는 입사광을 단일의 편광방향을 갖는 제1편광으로 변환하는 편광필터; 상기 편광필터와 이격되게 배치되고, 상기 입사하는 제1편광의 투과율을 조절하여 제2편광으로 변환하기 위하여 소정 방향의 편광축을 가지는 편광패턴과, 상기 제1편광을 차단하는 차광패턴이 형성되는 포토 마스크;를 포함하며, 상기 포토 마스크에서 투과율이 조절된 광을 조사함으로써 상기 포토 레지스트를 패터닝하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 재현성 있는 패터닝을 구현할 수 있는 리소그래피 장치가 제공된다.

Abstract translation: 光刻设备技术领域本发明涉及一种光刻设备。 根据本发明的光刻设备包括将入射光转换成具有单一偏振方向的第一偏振光的偏振滤光器; 以及与所述偏振滤光器间隔开并且具有形成在其上的偏振图案和屏蔽图案的光掩模，其中所述偏振图案具有沿预定方向形成的偏振轴，以调节所述第一偏振光的透射率，并且 将第一偏振光转换成第二偏振光，并且其中屏蔽图案屏蔽第一偏振光。 本发明的光刻设备通过光掩模照射其透射率的光，以对光致抗蚀剂进行图案化。 因此，本发明的光刻设备能够形成具有重复性的图案。

公开(公告)号：WO2011074777A2

公开(公告)日：2011-06-23

申请号：PCT/KR2010/007659

申请日：2010-11-02

Applicant: 한국기계연구원 ,  전은채 ,  제태진 ,  유영은 ,  윤재성 ,  최두선 ,  조성학

Inventor： 전은채 ,  제태진 ,  유영은 ,  윤재성 ,  최두선 ,  조성학

IPC: F21V5/00 ,  F21Y101/02

CPC classification number: F21K9/00 ,  F21Y2105/10 ,  F21Y2115/10 ,  H01L25/0753 ,  H01L33/505 ,  H01L33/54 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014

Abstract: 본 발명의 일 측면에 따른 LED 조명 장치는 외형을 이루는 하우징, 및 판 형상의 회로 기판과 상기 회로 기판 상에 실장된 복수 개의 LED 소자와 상기 복수 개의 LED들을 덮으며 표면에 광학 패턴이 형성된 광투과성 레진층을 포함하는 LED 패키지를 포함한다.

Abstract translation:

LED照明装置在根据本发明的一个方面是覆盖有形成外壳体，和板状电路板和多个LED元件和所述多个LED安装在电路板 并且在其表面上形成光学图案的透光树脂层

公开(公告)号：WO2018021695A1

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：PCT/KR2017/006602

申请日：2017-06-22

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 안상훈 ,  조성학 ,  최지연 ,  김경한 ,  손현기

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/70

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는, 레이저 빔을 생성하는 광발생기; 상기 레이저 빔에서 분기된 복수의 가공빔이 각각 입사되며 시간차가 존재하는 서로 다른 광경로를 제공하는 복수의 광경로부; 및 상기 복수의 광경로부를 통과한 복수의 가공빔을 가공 대상물에 조사하는 광병합부;를 포함하고, 상기 복수의 광경로부는 각각 서로 다른 길이의 광섬유를 포함하며, 상기 광병합부는 상기 복수의 가공빔을 동일 경로로 통과시킨다.

Abstract translation: 根据本发明实施例的激光加工设备包括：用于产生激光束的光发生器; 多个光路部分，分别接收从激光束分出的多个处理光束并提供其中存在时间差的不同光路; 的，并且包括和包含光纤，用于每个不同的长度的多个光路部分，光合并单元处理所述多个;以及gwangbyeong它通过传递到所述多个光路的对象上照射多个处理光束的接合 将光束通过相同的路径。

公开(公告)号：WO2017200229A1

公开(公告)日：2017-11-23

申请号：PCT/KR2017/004607

申请日：2017-04-28

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  최원석 ,  조성학

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 도전 물질의 패터닝 장치는 액체 금속을 포함하는 도전 물질이 형성된 전사 기판, 상기 전사 기판을 이동시키는 회전부, 상기 도전 물질에 레이저 빔을 조사하는 레이저부, 상기 전사 기판과 이격되어 위치하며 상기 도전 물질을 수용하는 수용 기판이 탑재되는 스테이지, 그리고 상기 전사 기판과 인접하여 위치하며 상기 도전 물질을 냉각시키는 냉각부를 포함한다.

Abstract translation:

在根据本发明的一个实施例的导电性材料的所述图案形成装置被照射激光束到旋转部件，用于移动所述转印基板的导电性材料，形成在转印基板的导电材料含有液态金属 激光单元，所述位置从转印基板间隔开并接收其上基板台被安装用于接收所述导电材料，并位于邻近转印基板，并且包括冷却用于冷却所述导电材料。

公开(公告)号：KR102050765B1

公开(公告)日：2019-12-04

申请号：KR1020170032957

申请日：2017-03-16

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 조성학 ,  안상훈 ,  최원석 ,  김훈영 ,  전진우

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/04 ,  B23K26/03 ,  B23K26/08

公开(公告)号：KR101877452B1

公开(公告)日：2018-08-09

申请号：KR1020160061597

申请日：2016-05-19

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  박철민 ,  최원석 ,  조성학

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/268 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/56 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 본발명의일 실시예에따른도전물질의패터닝장치는액체금속을포함하는도전물질이형성된전사기판, 상기전사기판을회전시키는회전부, 상기도전물질에레이저빔을조사하는레이저부, 상기전사기판과이격되어위치하며상기도전물질을수용하는수용기판이탑재되는스테이지, 그리고상기전사기판과인접하여위치하며상기도전물질을냉각시키는냉각부를포함한다.

公开(公告)号：KR1020160127858A

公开(公告)日：2016-11-07

申请号：KR1020150058667

申请日：2015-04-27

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김재구 ,  김재현 ,  조성학 ,  황경현

IPC: H01L21/762 ,  H01L21/268 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768

Abstract: 본발명은더미기판을이용하여웨이퍼기판에형성된다수의소자를선택적으로박리하고, 박리된소자를유연기판으로선택적으로전사하는선택적박리및 전사장치에관한것으로서, 패터닝유닛과, 경화제분사유닛과, 실장및 경화유닛과, 보호필름도포유닛과, 드릴링유닛과, 전극연결유닛을포함한다. 패터닝유닛은도전성박막이형성된유연기판에레이저빔을조사하여전극라인및 소자가실장될실장위치를형성한다. 경화제분사유닛은레이저빔이조사되면경화되는경화제를실장위치에분사한다. 실장및 경화유닛은더미기판에부착된소자와실장위치를정렬하여소자를실장위치에실장하고, 경화제에레이저빔을조사하여소자를유연기판에고정시킨다. 보호필름도포유닛은소자및 유연기판의상면에보호필름을도포한다. 드릴링유닛은레이저빔을조사하여, 소자의제1전극부와, 전극라인중 제1전극부와전기적으로연결될제1전극라인과, 소자의제2전극부와, 전극라인중 제2전극부와전기적으로연결될제2전극라인상측의보호필름을관통하는관통홀을각각형성한다. 전극연결유닛은관통홀을통해제1전극부와제1전극라인을전기적으로연결하고, 관통홀을통해제2전극부와제2전극라인을전기적으로연결한다.

公开(公告)号：KR1020160035946A

公开(公告)日：2016-04-01

申请号：KR1020140127954

申请日：2014-09-24

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김재구 ,  노승국 ,  박종권 ,  조성학 ,  황경현

IPC: B24B5/02 ,  B24B5/04

CPC classification number: B24B5/02 ,  B24B5/00 ,  B24B5/04

Abstract: 본발명은튜브연마장치및 이에사용되는튜브홀더에관한것이다. 본발명의일 측면에따른튜브연마장치는튜브을틸팅운동시키는틸팅부재, 상기튜브와맞닿아상기튜브를가공하는연삭기, 및상기튜브를지지하는튜브홀더를포함하고, 상기튜브홀더는튜브가삽입되는파지홀이형성되며나사가공된기어부를갖는고정부재와상기기어부와나사결합되고왕복운동하는래크부재를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种管保持器和包括管座的管研磨装置。 根据本发明的一个方面，所述管研磨装置包括：使管倾斜的倾斜构件; 研磨机通过与管接触来处理管; 和管支架支撑管。 管座包括：具有夹持孔的固定构件，其中管被插入，以及作为螺钉处理的齿轮单元; 以及与齿轮单元螺合并且往复运动的齿条构件。 本发明提供了管式研磨装置和管式研磨方法，以容易地处理管子。

公开(公告)号：KR101576016B1

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：KR1020140065015

申请日：2014-05-29

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 조성학 ,  박종권 ,  양민양 ,  이후승 ,  황준식

IPC: B23K26/18 ,  B23K26/362

Abstract: 본발명은레이저를이용하여가공물에나노패턴을형성하는레이저가공장치및 방법에관한것으로, 더욱상세하게는교류전압을이용하여매개물을대전시킨후 레이저에의해가공된매개물을투과하는레이저를이용해가공물을가공하는교류전장원을이용한레이저가공장치및 방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101567522B1

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：KR1020140046657

申请日：2014-04-18

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 조성학 ,  박종권 ,  김재구 ,  황경현 ,  이문구 ,  전용호 ,  이수훈 ,  장승봉

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/70

Abstract: 본발명은레이저가공기의광학계초점조절을위한진동장치에관한것으로, 더욱상세하게는광학계의진동을위해선형스프링구조를적용하여가공방향이외의변위를최소화하고, 가공정밀도를향상시킨레이저가공용 진동장치에관한것이다.