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公开(公告)号：WO2015182860A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：PCT/KR2015/002719
申请日：2015-03-20
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61B1/051 , A61B1/00091 , A61B1/00094 , A61B1/00096 , A61B1/015 , A61B1/018 , A61B1/0669 , A61B1/07 , A61B5/0075 , A61B5/6847 , A61B2505/05 , A61B2562/0233 , G01J3/28 , G01J3/443 , G01N21/31 , G01N21/39 , G01N21/718 , G01N21/73 , G01N2201/06113 , G02B23/2469 , G02B23/2484 , G02B23/26 , H04N5/2256 , H04N2005/2255
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유도 플라즈마 분광장치는, 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드, 레이저 빔을 대상 시편에 집속시키는 포커싱 렌즈, 상기 포커싱 렌즈를 통과한 레이저 빔의 초점에 위치하는 대상 시편에서 발생되는 제1플라즈마의 전자 밀도 및 전자 에너지를 제어하여 증폭하는 플라즈마 반응부, 상기 플라즈마 반응부에서 증폭된 제2플라즈마를 집속하는 컬렉션 렌즈, 및 상기 컬렉션 렌즈를 통하여 집속되는 제2플라즈마를 분석하는 분광도계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的激光诱导击穿光谱装置包括：用于照射激光束的激光头; 用于将激光束聚焦在被检体上的聚焦透镜; 等离子体反应单元，用于控制和放大从位于已经通过聚焦透镜的激光束的焦点上的被测试样产生的第一等离子体的电子密度和电子能量; 聚焦透镜，用于聚焦在等离子体反应单元处放大的第二等离子体; 以及用于分析通过收集透镜聚焦的第二等离子体的分光光度计。
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公开(公告)号：WO2015156500A1
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：PCT/KR2015/001834
申请日：2015-02-25
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D53/94 , B05B1/24 , B05B5/00 , F01N3/20 , F01N3/2066 , F01N3/26 , F01N3/28 , F01N2240/28 , F01N2610/02 , Y02T10/24
Abstract: 본 발명의 목적은 내부에서 플라즈마를 발생시켜 공급된 액체를 플라즈마 아크에 의한 열과 유동 여기 화학종들에 의해 빠른 속도로 무화 및 열분해하여, 기체와 혼합하여 분사하는 플라즈마 노즐을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 노즐은, 공급되는 기체를 좁아진 토출구로 토출하고 전기적으로 접지되는 제1하우징, 상기 제1하우징의 토출구 주위에 구비되어 분사홀을 통하여 공급되는 액체를 상기 토출구 안으로 분사하는 제2하우징, 및 상기 제1하우징에 내장되어 그 단부와 상기 토출구 사이에 방전갭을 형성하며 구동 전압이 인가되는 구동 전극을 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种从其内部产生等离子体的等离子体喷嘴，以便通过由等离子弧和流动激发的化学物质产生的热量以快速的速度雾化和热解供应的液体，并将雾化和 用气体热解液体并喷雾混合物。 根据本发明的一个实施例的等离子体喷嘴包括：第一壳体，其通过狭窄的出口排出供应的气体并电接地; 第二壳体，设置在第一壳体的出口附近，以将通过喷孔供给的液体喷射到出口中; 以及驱动电极，其嵌入在第一壳体中，以在其一端和出口之间形成放电间隙，并且接收施加到其上的驱动电压。
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公开(公告)号：WO2016167418A1
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/KR2015/008852
申请日：2015-08-25
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D1/00 , B01D53/26 , B01D53/32 , H05H1/34 , Y02A50/2345
Abstract: 본 발명의 목적은 짧은 시간 내에 증발 대상 액체(예를 들면, 요소수 또는 암모니아수)를 증발시키는 플라즈마 증발기를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 증발기는, 플라즈마 아크를 발생시키는 아크 발생부, 상기 아크 발생부에서 좁아진 제1통로로 연결되어 발생된 아크를 집중시켜 아크 밀도를 높이는 고열밀도부, 상기 고열밀도부에서 확장되는 증발공간을 형성하는 증발 공간부, 상기 증발 공간부를 향하여 설치되어 상기 증발공간에서 확장되는 아크를 향하여 증발 대상 액체를 분사하는 분사 노즐, 및 상기 증발 공간부에 좁아지는 제2통로로 연결되어 상기 증발 공간부에서 증발된 증발 대상 액체의 증기를 배출하는 증기 배출부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种在短时间内蒸发待蒸发的液体（例如尿素水溶液或氨水）的等离子体蒸发器。 根据本发明的一个实施例的等离子体蒸发器包括：产生等离子弧的电弧产生单元; 高温热密度单元，其通过窄的第一通道连接到电弧产生单元，并且聚焦所产生的电弧以增加电弧的密度; 蒸发空间单元，形成从高温热密度单元膨胀的蒸发空间; 喷嘴，其被安装成朝向蒸发空间单元并且喷射待蒸发的液体朝向在蒸发空间中膨胀的弧形; 以及蒸汽排出单元，其通过窄的第二通道连接到蒸发空间单元，并且排出蒸发空间单元中蒸发的待蒸发的液体的蒸气。
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公开(公告)号：WO2016036041A1
公开(公告)日：2016-03-10
申请号：PCT/KR2015/008812
申请日：2015-08-24
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: F01N3/2066 , B01D53/9431 , B01D2251/2067 , B01D2259/818 , F01N3/30 , F01N3/36 , F01N2240/28 , F01N2410/00 , F01N2570/14 , F01N2610/02 , Y02A50/2344 , Y02T10/24
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 에스씨알 시스템은, 엔진에 연결되어 배기가스를 유통시키는 배기관, 상기 배기관에 연결되는 제1바이패스 라인에 설치되고 방전 플라즈마에 연료를 공급하여 화염을 형성하는 플라즈마 버너, 상기 플라즈마 버너의 후방에서 상기 제1바이패스 라인에 설치되고 상기 화염으로 가열된 배기가스에 상기 요소수를 분사하여 암모니아를 생성하는 요소수 인젝터 및 상기 요소수 인젝터의 후방에서 상기 배기관에 설치되어 상기 암모니아로 배기가스에 포함된 질소산화물을 환원시키는 에스씨알 촉매를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的等离子体SCR系统包括：排气管，其连接到发动机，用于循环排气; 等离子体燃烧器，其安装在连接到排气管的第一旁路管线上，用于通过向放电等离子体供给燃料来形成火焰; 尿素水溶液注入器，安装在等离子体燃烧器后部的第一旁路管线中，用于通过将尿素水溶液喷射到由火焰加热的排气中产生氨; 以及SCR催化剂，其安装在尿素水溶液喷射器的后部的排气管中，用于还原氨中包含在废气中的氮氧化物。
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公开(公告)号：WO2016204522A1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：PCT/KR2016/006378
申请日：2016-06-15
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D47/06 , B01D53/32 , B01D53/68 , B01D53/78 , B01D53/86 , H01L21/02 , H01L21/67 , H05H1/46 , Y02C20/30 , Y02P70/34 , Y02P70/605
Abstract: 본 기재는 처리기체에 포함된 오염물질을 제거하는 가스 후처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정이나 다양한 화학 산업에서 발생되는 과불화화합물(perfluorinated compounds, PFCs)을 포함하는 난분해성 공정가스(처리기체)를 분해하는 플라즈마-촉매 방식의 스크러버에 관한 것이다. 본 기재의 플라즈마-촉매 방식의 스크러버는, 전기 에너지로 방전기체를 플라즈마 아크의 열 에너지로 변환하고 일측으로 유입되는 처리기체를 상기 열 에너지로 분해하면서 가열하는 플라즈마 반응부, 및 상기 플라즈마 반응부에서 가열된 처리기체를 유입하여 촉매 반응으로 상기 처리기체에 포함된 오염물질을 분해하는 촉매 반응부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于除去待处理气体中所含的污染物的气体后处理装置，更具体地涉及用于分解含有全氟化合物的不可分解处理气体（待处理气体）的等离子体催化剂型洗涤器 （PFCs）在半导体制造过程或各种化学工业中产生。 本发明的等离子体催化剂型洗涤器包括：等离子体反应部件，用于通过电能将放电气体转换成等离子体的热能;以及加热待处理的气体，同时分解待处理的气体 用热能; 以及用于接收待处理气体的催化反应部件，其在等离子体反应部分被加热，并且通过催化反应分解待处理气体中所含的污染物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2016171366A1
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：PCT/KR2015/013472
申请日：2015-12-09
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 목적은 배기가스의 후처리 시스템을 단순하게 하여 제작 비용을 낮추고 설치 공간을 줄이는 배기가스 후처리 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 후처리 장치는, 엔진의 배기가스를 유통시키는 배기관, 상기 배기관에 구비되어 배기가스에 포함된 질소산화물을 제거하는 탄화수소 선택적환원촉매(HC SCR, selective catalytic reduction), 및 상기 엔진과 상기 탄화수소 선택적환원촉매 사이의 상기 배기관에 연결되어 연료를 개질하여 수소 및 탄화수소(HC) 종(species)의 환원제를 생산하거나 연료를 연소시키는 플라즈마 반응기를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种废气后处理装置，其简化了废气后处理系统，从而降低制造成本并减少安装空间。 根据本发明的一个实施例的废气后处理装置包括：排气管，其允许发动机的排气流过; 设置在排气管中的烃选择性催化还原（HC SCR），以除去排气中所含的氮氧化物; 以及连接到发动机和HC SCR之间的排气管的等离子体反应器，以便改变燃料，由此产生氢和HC物质的还原剂或燃烧燃料。
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公开(公告)号：KR101814770B1
公开(公告)日：2018-01-03
申请号：KR1020150155260
申请日：2015-11-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은촉매의길이방향에서온도편차를극복하는플라즈마촉매방식의스크러버를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마촉매방식의스크러버는, 전기에너지로방전기체를플라즈마아크의열 에너지로변환하고일측으로유입되는처리기체를열 에너지로가열하는플라즈마반응부, 및상기플라즈마반응부에서가열된처리기체를유입하여촉매반응으로처리기체에포함된오염물질을분해하는촉매반응부를포함하며, 상기촉매반응부는가열된처리기체가흐르는길이방향으로온도편차를해소하는온도편차제거부를더 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供克服催化剂纵向温度偏差的等离子体催化剂型洗涤器。 根据本发明的实施例的洗涤器的等离子体催化剂体系可用于放电气体转换成电能到等离子体电弧的热能和等离子体反应部以加热由热能流向一个侧的处理气体，并在等离子体反应部 除去流入热处理气体包括催化剂反应以分解包含在处理后的气体向催化剂反应中的污染物温度偏差，消除在纵向方向上流动体的温度偏差，其中在所述呼叫进一步包括催化剂反应部分加热的处理程序 的。
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公开(公告)号：KR1020160122505A
公开(公告)日：2016-10-24
申请号：KR1020150052491
申请日：2015-04-14
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은피독된촉매로부터무기물질을산화제거하는오염촉매의재생수단이포함된일산화탄소및 오염물질제거장치를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른오염촉매의재생수단이포함된일산화탄소및 오염물질제거장치는, CO 및유기물질과무기물질의불순물이포함된공정배출가스를유통시키는관체, 상기관체에연결되어 CO 및상기불순물을산화제거하는촉매를내장하는촉매탑, 상기촉매의후방에서상기촉매탑에일측으로연결되고방향전환밸브를개재하여다른일측으로상기관체에연결되는바이패스관체, 및상기촉매의전방에서상기촉매탑에연결되어수소를공급하는수소발생기를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160122504A
公开(公告)日：2016-10-24
申请号：KR1020150052490
申请日：2015-04-14
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D1/00 , B01D53/26 , B01D53/32 , H05H1/34 , Y02A50/2345
Abstract: 본발명의목적은짧은시간내에증발대상액체(예를들면, 요소수또는암모니아수)를증발시키는플라즈마증발기를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마증발기는, 플라즈마아크를발생시키는아크발생부, 상기아크발생부에서좁아진제1통로로연결되어발생된아크를집중시켜아크밀도를높이는고열밀도부, 상기고열밀도부에서확장되는증발공간을형성하는증발공간부, 상기증발공간부를향하여설치되어상기증발공간에서확장되는아크를향하여증발대상액체를분사하는분사노즐, 및상기증발공간부에좁아지는제2통로로연결되어상기증발공간부에서증발된증발대상액체의증기를배출하는증기배출부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160034093A
公开(公告)日：2016-03-29
申请号：KR1020140125179
申请日：2014-09-19
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H01L21/02 , B01D53/34 , H01L21/205 , H05H1/46
Abstract: 본발명의목적은과불화합물(PFC) 또는고농도의휘발성유기화합물(VOC)을고온에서제거하고동시에파우더의침착을방지하는스크러버를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른스크러버는, 플라즈마아크를발생시켜토출하는플라즈마발생기, 및상기플라즈마발생기의토출측에서토출되는플라즈마아크를향하여과불화합물과파우더를포함하는공정가스또는고농도의휘발성유기화합물(VOC)을포함하는처리기체를공급하여화염을형성하는반응기를포함하며, 상기반응기는상기플라즈마발생기의토출측에확장연결되고일측으로공정가스또는처리기체를유입하는연소실벽체, 상기연소실벽체의외측에배치되어제1가스공급구를통하여공정가스또는처리기체를상기연소실벽체의내부로공급하는공정가스외측챔버, 및상기공정가스내측챔버에대응하여상기연소실벽체의내측에배치되어제2가스공급구로공정가스또는처리기체를상기플라즈마아크에공급하는반응대를포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于在高温下去除全氟化合物（PFC）或高浓度挥发性有机化合物（VOC）的洗涤器，并且同时用于防止粉末 沉积。 根据本发明实施例的洗涤器包括：用于产生和排出等离子体电弧的等离子体发生器; 以及通过向等离子体发生器的排出侧排出的等离子体电弧供给包括全氟化合物和粉末的处理气体或包含高浓度VOC的处理气体的反应器来形成火焰。 反应器包括：燃烧室壁，其膨胀地连接到等离子弧的排放侧，用于通过其一侧引入工艺气体或处理气体; 设置在所述燃烧室壁外部的工艺气体外室，用于通过第一供应入口将工艺气体或处理气体供应到所述燃烧室壁的内部; 以及反应站，其布置在对应于处理气体内部的燃烧室壁内部，用于通过第二气体供应入口将处理气体或处理气体供应到等离子体电弧。
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