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公开(公告)号：KR102212422B1
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：KR1020190027613
申请日：2019-03-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20 , H01L23/00 , H01L21/768 , H01L29/16
Abstract: 본발명의일 실시예에따른광 유도전사방법은전사기판위에희생층을형성하는단계, 상기희생층위에전사층을형성하는단계, 상기전사기판의배면에광을조사하여상기전사층을상기전사기판과마주하는대향기판에전사시키는단계를포함하고, 상기희생층은그래핀을포함한다.
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