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公开(公告)号：WO2011142637A2
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/KR2011/003584
申请日：2011-05-16
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04
Abstract: 본 발명은 그라핀 맴브레인을 이용한 MEMS 마이크로폰과 그 제조방법에 관한 것으로, 그라핀 맴브레인부, 그라핀 맴브레인부에 대향하여 이격 배치되어, 그라핀 맴브레인부와 에어 갭을 형성하는 백 플레이트부를 포함한다. 이로써, 고민감도 및 적은 전압에서 작동할 수 있고, 주파수 영역이 넓어 가청주파수 및 그 이하 및 이상의 주파수 영역에서 음파를 측정할 수 있으며, 구조가 간단하고 대량 생산이 가능하게 된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用石墨烯薄膜的MEMS麦克风及其制造方法。 MEMS麦克风包括：石墨烯膜单元; 以及与石墨烯膜单元相对且间隔开的背板单元，以在后板单元和石墨烯膜单元之间形成气隙。 因此，本发明的MEMS麦克风在高灵敏度和低电压下工作，并且具有宽的频域，因此可以测量声频域中的声波，并且在低于或高于 音频域。 本发明的MEMS麦克风具有简单的结构，可以批量生产。
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公开(公告)号：WO2018070635A1
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：PCT/KR2017/006323
申请日：2017-06-16
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 본 발명의 일 실시예로써, 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자 및 이러한 소자를 제조하기 위한 방법이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자는 기판 및 기판 상에 형성된 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠(helmholz) 코일을 포함하고, 기판 상에서 나선형으로 형성된 헬름홀츠 코일에 인가된 전류에 의하여 기판과 평행한 방향으로 자기장이 발생될 수 있다.
Abstract translation: 作为本发明的一个实施例，可以提供具有三维线圈结构的磁场产生元件和用于制造这种装置的方法。 根据本发明实施例的具有三维线圈结构的磁场产生元件包括基板和在基板上形成的具有预定线宽的螺旋形亥姆霍兹线圈，并且设置有亥姆霍兹线圈 由于产生的电流，可以在平行于基板的方向上产生磁场。
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公开(公告)号：WO2011142633A2
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/KR2011/003569
申请日：2011-05-13
CPC classification number: H04S3/002
Abstract: 본 발명의 일실시예에 따른 음장 가시화 기술의 제품화를 위한 단일칩은, 음성신호를 수신하는 마이크로폰; 상기 음성신호가 발생되는 영역의 이미지를 센싱하는 이미지센서; 및 상기 마이크로폰 및 이미지센서로부터 각종 데이터를 전달받아 소정의 레벨로 증폭하고 디지털 신호로 변환하는 신호처리기를 하나의 칩에 집적하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，用于制造声音可视化产品的单个芯片包括：接收音频信号的麦克风; 感测产生音频信号的区域的图像的图像传感器; 以及从麦克风和图像传感器接收各种数据的信号处理器，将接收到的数据放大到预定水平，并将放大的数据转换成数字信号，其中将麦克风，图像传感器和信号处理器集成到 单芯片
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公开(公告)号：KR1020120012668A
公开(公告)日：2012-02-10
申请号：KR1020100074769
申请日：2010-08-02
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/7035 , G03F7/70075 , G03F7/70275 , G03F7/70383 , G03F7/70791 , G03F9/7088
Abstract: PURPOSE: An in-line exposure system using a virtual irradiation pattern and an exposure method using the same are provided to easily adjust the shape of exposure patterns in a two-dimensional form or a three-dimensional form by controlling line light source irradiated to a transferring target. CONSTITUTION: An in-line exposure system using a virtual irradiation pattern(100) includes a transferring part(110), a photo-sensitizer laminating part(120), an exposure part(130), and a printing part(140). The transferring part transfers a substrate to a pre-set direction. The photo-sensitizer laminating part laminates a photo-sensitizer to the substrate in order to prepare a target to be exposed. The exposure part exposes the target to be exposed by irradiating light. The printing part prints the exposed target. The exposure part includes a light irradiating part and a light controlling part.
Abstract translation: 目的：提供使用虚拟照射图案的在线曝光系统和使用其的曝光方法，以通过控制照射到二维形式的线光源来容易地调整二维形式或三维形式的曝光图案的形状 转移目标。 构成：使用虚拟照射图案（100）的在线曝光系统包括转印部分（110），光敏剂层压部分（120），曝光部分（130）和印刷部分（140）。 转印部件将基板转印到预定方向。 光敏剂层压部分将光敏剂层压到基材上，以制备待曝光的靶。 曝光部分通过照射光使曝光的目标曝光。 打印部分打印曝光的目标。 曝光部分包括光照射部分和光控制部分。
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公开(公告)号：KR101005824B1
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：KR1020100045418
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04S3/002
Abstract: PURPOSE: A single chip for sound visualization is provided to occupy a minimum space by easily inserting the single chip into a small device and to remarkably reduce a mounting area. CONSTITUTION: A single chip(100) for sound visualization comprises a microphone(102), an image sensor(104), and a signal processor(106). The microphone receives a voice signal. The image sensor detects an image of an area where the voice signal is generated. The signal processor receives data from the microphone and the image sensor and amplifies the data. And the signal processor converts the amplified data into a digital signal and accumulates the digital signal to one chip.
Abstract translation: 目的：通过轻松将单芯片插入小型设备并显着减少安装面积，提供了一个用于声音可视化的单芯片，以占用最小的空间。 构成：用于声音可视化的单个芯片（100）包括麦克风（102），图像传感器（104）和信号处理器（106）。 麦克风接收语音信号。 图像传感器检测产生语音信号的区域的图像。 信号处理器从麦克风和图像传感器接收数据并放大数据。 并且信号处理器将放大的数据转换为数字信号并将数字信号累积到一个芯片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101898780B1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：KR1020160132405
申请日：2016-10-12
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01J37/141 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 본발명의일 실시예로써, 입체형코일구조를갖는자기장발생소자및 이러한소자를제조하기위한방법이제공될수 있다. 본발명의일 실시예에따른입체형코일구조를갖는자기장발생소자는기판및 기판상에형성된소정크기의선폭을갖는나선형의입체형헬름홀츠(helmholz) 코일을포함하고, 기판상에서나선형으로형성된헬름홀츠코일에인가된전류에의하여기판과평행한방향으로자기장이발생될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120012667A
公开(公告)日：2012-02-10
申请号：KR1020100074768
申请日：2010-08-02
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R25/48 , A61F11/045 , H04R25/65
Abstract: PURPOSE: An artificial cochlea apparatus is provided to secure an extended sensing frequency range and reduced volume by employing a plurality of base membranes which are arranged in parallel. CONSTITUTION: An artificial cochlea apparatus comprises an upper structure(110), a lower structure(120), and a signal processing unit(130). The upper structure comprises a first substrate(111) which is made of a flat silicon wafer and a contact unit(112) which contacts a nano-wire(127) deformed. The contact unit comprises a protrusion and a coated part. The lower structure comprises a second substrate(121), a transmitting medium(122), a base membrane part(123), a base part(126), and the nano-wire.
Abstract translation: 目的：提供一种人造耳蜗装置，通过采用平行布置的多个基膜来确保扩展的感测频率范围和体积减小。 构成：人造耳蜗装置包括上部结构（110），下部结构（120）和信号处理单元（130）。 上部结构包括由平坦硅晶片制成的第一基板（111）和与纳米线（127）变形的接触单元（112）。 接触单元包括突起和涂覆部分。 下部结构包括第二基板（121），传输介质（122），基膜部分（123），基部部分（126）和纳米线。
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公开(公告)号：KR1020120018921A
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020100081915
申请日：2010-08-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A cochlear implant is provided to be operated without a separate external power supply by forming a frequency separating part with a piezoelectric material. CONSTITUTION: A cochlear implant(100) comprises a housing(110), a transmitting medium(120), a frequency separating part(130), and a signal processing part(140). The housing includes a top housing(111) and a lower housing(112). The lower housing is formed according to the shape of the frequency separating part. The housing is formed to be as slim as possible. The transmitting medium plays a role of transferring an incident acoustic wave to the frequency separating part. The transmitting medium is composed of a predetermined fluid. The transmitting medium is composed of a fluid such as silicon oil.
Abstract translation: 目的：通过与压电材料形成一个频率分离部分，提供一个人工耳蜗植入体，无需单独的外部电源。 构成：耳蜗植入物（100）包括壳体（110），传输介质（120），频率分离部分（130）和信号处理部分（140）。 壳体包括顶部壳体（111）和下部壳体（112）。 下壳体根据分频部的形状形成。 壳体形成为尽可能纤细。 发送介质起着将入射声波传送到频率分离部的作用。 传输介质由预定流体组成。 透射介质由诸如硅油的流体组成。
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公开(公告)号：KR101234747B1
公开(公告)日：2013-02-19
申请号：KR1020100074769
申请日：2010-08-02
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템은 기판을 소정의 방향으로 이송하는 이송부; 노광 대상인 피노광물을 마련하기 위하여 상기 기판에 감광제를 적층하는 감광제 적층부; 상기 감광제가 적층된 상태로 이송되는 피노광물에 광을 조사하는 광조사부, 입력받은 노광패턴을 상기 기판 상에 형성하기 위하여 상기 광조사부를 제어하는 광제어부를 구비하는 노광부; 상기 노광된 피노광물을 인화하는 인화부;를 포함하고, 상기 노광부는 상기 이송되는 피노광물에 선형태의 광을 조사함으로써 2차원 또는 3차원의 노광패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 대면적의 기판에 마스크 없이 패턴을 형성할 수 있는 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템이 제공된다.-
公开(公告)号：KR101058475B1
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：KR1020100045403
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04
Abstract: PURPOSE: An MEMS(Microelectromechanical system) microphone using a graphene membrane and a manufacturing method thereof are provided to simplify an overall structure by removing a structure which stores a separate back-plate electrode and electric charge. CONSTITUTION: A microphone of a graphene base comprises the graphene membrane part(40), a back-plate electrode part(51), a back-plate part, an air hole(43), a clamping part(45) and an oxide film sacrificial layer(46). The back-plate part forms the graphene membrane part and an air gap. The backplate part comprises a wafer(42) and a poly-silicon layer(44) arranged on the wafer. The air hole is formed in order to distribute air. A geometric structure between the back-plate part and the graphene membrane part are changed by a vibration.
Abstract translation: 目的：提供使用石墨烯膜的MEMS（微机电系统）麦克风及其制造方法，以通过去除存储单独的背板电极和电荷的结构来简化总体结构。 构成：石墨烯基体的麦克风包括石墨烯膜部分（40），背板电极部分（51），背板部分，空气孔（43），夹紧部分（45）和氧化膜 牺牲层（46）。 背板部分形成石墨烯膜部分和气隙。 背板部分包括晶片（42）和布置在晶片上的多晶硅层（44）。 形成空气孔以便分配空气。 背板部分和石墨烯膜部分之间的几何结构由振动改变。
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