公开(公告)号：KR101944160B1

公开(公告)日：2019-04-18

申请号：KR1020160157136

申请日：2016-11-24

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 최순목 ,  김병근 ,  김나경

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/02 ,  H01L35/16 ,  H01L35/18

公开(公告)号：KR101934162B1

公开(公告)日：2019-01-02

申请号：KR1020160140840

申请日：2016-10-27

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 최순목 ,  김병근 ,  김나경

IPC: C30B25/10 ,  C30B25/16 ,  C30B25/18 ,  C30B29/36 ,  C30B29/60 ,  C01B31/36

公开(公告)号：KR20180046406A

公开(公告)日：2018-05-09

申请号：KR20160140840

申请日：2016-10-27

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 최순목 ,  김병근 ,  김나경

IPC: C30B25/10 ,  C30B25/16 ,  C30B25/18 ,  C30B29/36 ,  C30B29/60

Abstract: 본발명은 a) 탄소또는탄소화합물기재상에실리콘박막을형성하는단계; 및 b) 상기실리콘박막이형성된기재를열처리하여, 탄화규소나노와이어를제조하는단계로이루어진탄화규소나노와이어제조방법에관한것이다.