公开(公告)号：KR102223358B1

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020190165259A

申请日：2019-12-12

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 김석준 ,  박호준 ,  이준호

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/58 ,  H01B1/06

CPC classification number: C23C14/0623 ,  C23C14/34 ,  C23C14/5806 ,  H01B1/06

Abstract: 본 발명은 소정 크기의 기공을 가진 다공성 텔루르화전이금속(MTe
x ) 박막으로, 상기 M은 니켈, 팔라듐, 구리, 백금, 로듐, 코발트, 망간, 스칸듐, 티타늄, 바나듐, 크롬, 니오븀, 몰리브덴, 철 및 텅스텐에서 선택되는 어느 하나의 전이금속인 다공성 텔루르화전이금속 박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR102223358B1

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020190165259

申请日：2019-12-12

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 김석준 ,  박호준 ,  이준호

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/58 ,  C23C14/34 ,  H01B1/06

Abstract: 본발명은소정크기의기공을가진다공성텔루르화전이금속(MTex) 박막으로, 상기 M은니켈, 팔라듐, 구리, 백금, 로듐, 코발트, 망간, 스칸듐, 티타늄, 바나듐, 크롬, 니오븀, 몰리브덴, 철및 텅스텐에서선택되는어느하나의전이금속인다공성텔루르화전이금속박막및 이의제조방법에관한것이다.