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公开(公告)号：KR101794330B1
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020160011312
申请日：2016-01-29
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단
Abstract: 3차원형상데이터를이용한 CD 추출장치및 방법이개시된다. 3차원형상데이터를입력받는 3차원형상데이터입력모듈; 상기 3차원형상데이터입력모듈에서입력받은 3차원형상데이터를 3차원형상의높낮이에따라색상을구별하여디스플레이에출력하는 3차원형상데이터출력모듈; 상기 3차원형상데이터출력모듈에의해출력된 3차원형상데이터에대해사용자에의해지정된영역을부분확대하여상기디스플레이에출력하는 3차원형상데이터부분확대모듈; 상기 3차원형상데이터부분확대모듈에의해부분확대되어출력된 3차원형상데이터에대해 CD(critical dimension)를포함하는 2차원형상데이터를추출하는 2차원형상데이터추출모듈; 상기 2차원형상데이터추출모듈에의해추출된 2차원형상데이터의노이즈(noise)를제거하는 2차원형상데이터노이즈제거모듈; 상기 2차원형상데이터노이즈제거모듈에의해노이즈가제거된 2차원형상데이터에대해수평화(leveling) 작업을수행하는 2차원형상데이터수평화모듈; 상기차원형상데이터수평화모듈에의해수평화작업이수행된 2차원형상데이터에대해 CD를지정하여상기디스플레이에출력하는 2차원형상데이터 CD 추출모듈을구성한다.
Abstract translation: 公开了一种使用三维形状数据的CD提取装置和方法。 接收三维形状数据的三维形状数据输入模块; 一种三维形状数据输出模块，用于根据三维形状的高度将从三维形状数据输入模块输入的三维形状数据输出到显示器， 三维形状数据部分放大模块，用于对由三维形状数据输出模块输出的三维形状数据部分放大由用户指定的区域，并将放大的区域输出到显示器; 二维形状数据提取模块，用于提取包括由三维形状数据部分放大模块部分放大和输出的三维形状数据的临界尺寸（CD）的二维形状数据; 二维形状数据噪声去除模块，用于去除二维形状数据提取模块提取的二维形状数据的噪声; 二维形状数据解耦模块，用于对由二维形状数据噪声去除模块去除了噪声的二维形状数据执行均衡操作; 一个二维形状数据CD提取模块，用于为由维形状数据求解模块进行和平工作的二维形状数据指定一个CD，并将该指定输出到显示器。
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公开(公告)号：KR1020170091204A
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020160011312
申请日：2016-01-29
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단
Abstract: 3차원형상데이터를이용한 CD 추출장치및 방법이개시된다. 3차원형상데이터를입력받는 3차원형상데이터입력모듈; 상기 3차원형상데이터입력모듈에서입력받은 3차원형상데이터를 3차원형상의높낮이에따라색상을구별하여디스플레이에출력하는 3차원형상데이터출력모듈; 상기 3차원형상데이터출력모듈에의해출력된 3차원형상데이터에대해사용자에의해지정된영역을부분확대하여상기디스플레이에출력하는 3차원형상데이터부분확대모듈; 상기 3차원형상데이터부분확대모듈에의해부분확대되어출력된 3차원형상데이터에대해 CD(critical dimension)를포함하는 2차원형상데이터를추출하는 2차원형상데이터추출모듈; 상기 2차원형상데이터추출모듈에의해추출된 2차원형상데이터의노이즈(noise)를제거하는 2차원형상데이터노이즈제거모듈; 상기 2차원형상데이터노이즈제거모듈에의해노이즈가제거된 2차원형상데이터에대해수평화(leveling) 작업을수행하는 2차원형상데이터수평화모듈; 상기차원형상데이터수평화모듈에의해수평화작업이수행된 2차원형상데이터에대해 CD를지정하여상기디스플레이에출력하는 2차원형상데이터 CD 추출모듈을구성한다.
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