公开(公告)号：WO2023080587A1

公开(公告)日：2023-05-11

申请号：PCT/KR2022/016880

申请日：2022-11-01

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 오흥선 ,  손성빈 ,  박주찬 ,  이선훈 ,  정준욱 ,  박용준

IPC: G01R31/3183 ,  G06N20/00 ,  H01G4/30

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 딥러닝 기반의 MLCC 적층 얼라인먼트 검사 시스템은 반도체 MLCC 칩으로부터 적층 구조가 촬영된 이미지 데이터의 검사가 필요한 핵심영역을 딥러닝 기반의 적어도 하나의 핵심영역 검출 모델을 활용하여 검출하고, 검출된 핵심영역에서 세그멘테이션(segmentation)하고, 세그멘테이션 결과를 이용하여 기준 마진율 범위에 따라 불량 여부를 판단하여 정상/불량 데이터를 생성하여 불량 검출이 이루어지도록 하는 통합형 불량검출부; 상기 통합형 불량검출부의 핵심영역 검출, 세그멘테이션, 불량검출에 대한 결과별로 시각화를 수행하고, 시각화된 단계별 분석 데이터의 검사자 분석을 통하여 해당 데이터의 수정 여부를 결정할 수 있도록 제공하는 결과분석부; 및 상기 정상/불량 데이터, 단계별 분석 데이터를 저장하는 데이터 스토리지를 포함한다.