Abstract:
본 발명에 따른 폴리카보네이트 소재의 표면 경도 및 내마모성 향상을 위한 알루미늄-실리콘-질화막 증착 장치는 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착을 위한 진공조, 마그네트론 스퍼터링의 증착원에 장착된 알루미늄과 실리콘 스퍼터링 타켓에 직류 또는 펄스직류 전력을 인가하기 위한 펄스직류 전원장치, 증착원에 장착된 스퍼터링 타겟에 의해 발생되는 플라즈마, 진공조 내부에 인입되어 가스를 플라즈마화 하기 위한 RF 안테나, 진공조 내부에서 증착되는 시료를 장착하기 위한 전도성 시료 장착대, RF 안테나로 전원을 공급하는 RF전원장치, 진공조 내부의 고진공을 유지하기 위한 고진공용 터보 펌프, 진공조의 내부의 진공도를 계측하는 진공 게이지, 및 플라즈마 발생에 이용되는 아르곤(Ar)과 질소(N 2 )가스의 유량을 조절하는 가스유량 조절부를 포함하여, 표면 경도 및 내마모성을 향상시키는 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 폴리카보네이트 소재의 경도가 낮고 마모량이 높으며, 자외선에 의한 열화 및 변색 현상이 발생하는 것을 보완하기 위한 목적으로 고안된 것으로, 폴리카보네이트 표면에 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고 그 위에 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하여 경도를 증가시키고 마모량을 감소시키며, 자외선 차단 특성 향상을 위한 박막 증착 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 즉, 박막 증착을 위한 증착원으로 사용되고 있는 마그네트론 증착원에 알루미늄, 실리콘 스퍼터링 타겟을 장착하고, 공정시 증착 장치 내에 질소 가스와 수소 가스를 인입하여 폴리카보네이트 기판 표면에 자외선 차단 목적의 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고, 그 위에 고경도의 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하는 방법으로써, 온도 차이에 의한 균열을 방지하고, 막을 투명하게 증착하여 차량용 유리를 대체하기 위해 폴리카보네이트에 경도 및 내마모성, 자외선 내후성 향상을 구현하고자 하는 것이다.
Abstract:
A fused peptide type tumor inhibitor having outstanding membrane permeability, a tumor diagnosing agent, and a method for preparing the same are provided. The tumor inhibitor has an amino acid sequence of sequence number 3 (cRGDyK-S-S-CPLHSpT). Here, the tumor inhibitor is preferred to be a fused peptide in which PLHSpT peptide (Pro-Leu-His-Ser-p-Thr, sequence number 1) and cRGDyK peptide (cyclic Arg-Gly-Asp- D-Tyr-Lys, sequence number 2) are connected by disulfide bonds. In addition, the present invention provides the tumor diagnosing agent in which the amino acid sequence of sequence number 3 is combined with a detectable label.
Abstract:
According to the present invention, an apparatus for depositing an aluminum-silicone nitride layer for improving the wear resistance and the surface hardness of a polycarbonate material comprises a vacuum vessel for depositing a thin film by using magnetron sputtering; a pulse direct current power device for applying direct current or pulse direct current power to an aluminum and silicon sputtering target mounted on a deposition source of the magnetron sputtering; plasma generated by the sputtering target mounted on the deposition source; an RF antenna inserted into the inside of the vacuum vessel for making gas plasma; a conductivity sample mounting stand for mounting a sample deposited inside the vacuum vessel; an RF power device for supplying power to the RF antenna; a turbo pump for a high vacuum to maintain a high vacuum inside the vacuum vessel; a vacuum gauge for measuring the degree of a vacuum inside the vacuum vessel; and a gas flux controlling part for controlling the flux of argon (Ar) and nitrogen (N_2) gas used for generation of the plasma. Therefore, the present invention has an effect of improving the wear resistance and the surface hardness.