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公开(公告)号：WO2015030271A1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：PCT/KR2013/007700
申请日：2013-08-28
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
Abstract: 본 발명은 투과전자현미경(TEM : Transmission Electron Microscope)을 이용하여 나노구조체의 다목적 3차원 이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피 등)을 위한 고니오메터(goniometer; x, y, z, α)와 double-tilting holder(β)를 동시에 구동할 수 있는 정밀제어장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 전자현미경내에서 시료의 방위를 자동으로 조정하여 나노구조체의 3차원 이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피 등)을 신속하고 간편하게 획득할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够同时驱动测角仪（x，y，z，α）的精密控制装置和用于多用途三维成像（原子结构，电子衍射，电子断层摄影和 类似物）通过使用透射电子显微镜（TEM）的纳米结构。 根据本发明，通过自动调整TEM内的样品的取向，可以快速方便地获得纳米结构的三维成像（原子结构，电子衍射，电子断层摄影等）。
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公开(公告)号：KR101664379B1
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：KR1020157018858
申请日：2013-08-28
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
Abstract: 본발명은투과전자현미경(TEM : Transmission Electron Microscope)을이용하여나노구조체의다목적 3차원이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피등)을위한고니오메터(goniometer; x, y, z, α)와 double-tilting holder(β)를동시에구동할수 있는정밀제어장치에관한것으로, 본발명에의하면전자현미경내에서시료의방위를자동으로조정하여나노구조체의 3차원이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피등)을신속하고간편하게획득할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150104574A
公开(公告)日：2015-09-15
申请号：KR1020157018858
申请日：2013-08-28
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
Abstract: 본 발명은 투과전자현미경(TEM : Transmission Electron Microscope)을 이용하여 나노구조체의 다목적 3차원 이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피 등)을 위한 고니오메터(goniometer; x, y, z, α)와 double-tilting holder(β)를 동시에 구동할 수 있는 정밀제어장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 전자현미경내에서 시료의 방위를 자동으로 조정하여 나노구조체의 3차원 이미징(원자구조, 전자회절, 전자토모그래피 등)을 신속하고 간편하게 획득할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101939497B1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：KR1020170127738
申请日：2017-09-29
Applicant: 한국기초과학지원연구원
IPC: H01J37/26
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